硅基悬臂梁耦合间接加热式未知频率毫米波相位检测器
本发明的硅基悬臂梁耦合间接加热式未知频率毫米波相位检测器,结构由悬臂梁耦合结构、功率分配/合成器、间接加热式微波功率传感器和开关构成。悬臂梁耦合结构上下左右对称,包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在中心频率35GHz处为λ/4。为实现未知频率毫米波相位的检测,首先进行频率检测,频率检测通过利用间接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率35GHz处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路相位差为90度的耦合信号分别同两路等分后的参考信
东南大学
2021-04-14