CVD 法制备石墨烯，主要是利用碳源在一定温度或外场下发生化学分解并在基底表面沉积来实现。CVD 反应系统主要由三部分构成：气体输送系统，反应腔体和排气系统。CVD反应过程主要由升温、基底热处理、石墨烯生长和冷却四部分构成。气体输入系统一般由气体流量计控制，反应腔是碳源前驱体发生化学反应并在反应基底沉积得到石墨烯的区域，排气系统用于将反应后的气体排出。其中碳源前驱体可以是气态烃类（如甲烷、乙烯、乙炔等），液态碳源（如乙醇、苯、甲苯等），或固态碳源（如聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、无定形碳等）。反应基底一般分为两大类：铜、镍、铂等金属基底和氧化硅、氮化硅、玻璃等非金属基底。外界条件控制主要包括温度、压强、气体的流速和种类、等离子化、加热方式等。

等离子体增强化学气相沉积（PCVD）技术是在一定温度和气压的真空炉内通入工作气体，产生辉光放电，激活沉积反应，从而在基材表面形成耐磨损、抗氧化的陶瓷涂层。本项目为PCVD工业生产型设备及模具强化成套技术，1999年1月通过了国家教育部组织的技术鉴定，认为该项目在设备总体结构的优化设计、逆变式脉冲直流等离子体技术、脉冲直流PCVD法制备高性能TiN陶瓷涂层和

PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）—等离子体化学气相沉积，在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子，提供化学气相沉积过程所需的激活能，相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1）自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号；2）可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境，且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3）专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构，可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构，可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4）该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计，符合产品要求。

项目简介 本成果基于金属有机化学气相沉积（MOCVD）GaN 生长的化学反应动力学原理和传热 传质原理，设计了一种新的 GaN 生长的 MOCVD 工艺，以及相应的新的 MOCVD 反应器。新 工艺可以大大减少气相寄生反应、提高衬底上方的温度和浓度均匀性，加大生长窗口。 改进了传统的 MOCVD 工艺窗口窄，对温度和浓度过于敏感等缺点，属国际首创。围绕该 成果已申请多项发明专利。 性能指标

微波等离子体化学气相沉积法合成金刚石技术是代表化学气相沉积（CVD）合成金刚石技术国际先进水平和发展方向的高新技术，本技术的主要成果包括以下几方面内容： 高效能微波等离子体化学气相沉积金刚石装备的设计与制造； 钯管提纯氢气装置设计与制造； 微波等离子化学气相沉积（CVD）合成金刚石技术及产品； 金刚石后续加工技术及应用。

产品详细介绍GC-9217Ⅱ型智能网络化气相色谱仪主要技术指标：●操作显示：192*64点阵汉化液晶●温控区域：6路●温控范围：室温以上8℃～450℃，增量： 1℃， 精度：±0.1℃●程序升温阶数：8阶●程升速率：0.1～39℃/min（普通型）；0.1～80℃/min（高速型）●外部事件：4路；辅助控制输出4路●进样器种类：填充柱进样、毛细管进样、六通阀气体进样、自动顶空进样任选●检测器数目：3个（最多）；FID、TCD、ECD、FPD和NPD任选●启动进样：手动、自动任选●通信接口：以太网：IEEE802.3 GC-9217Ⅱ型智能网络化气相色谱仪检测器技术指标智能网络化气相色谱仪氢火焰离子化检测器（FID）●检测限：Mt≤3×10-12g/s （正十六烷）；●噪音：≤5×10-14A●漂移：≤1×10-13A/30min●线性范围： ≥106●最高使用温度：≤450℃智能网络化气相色谱仪热导检测器（TCD）●灵敏度：S≥4000mV?ml/mg（正十六烷）（放大1、2、4、8倍任选）●噪声：≤10μV●基线漂移：≤30μv/30min智能网络化气相色谱仪电子捕获检测器（ECD）●检测限：≤1×10-14g/s●线性范围：104●放射源：63Ni 

产品详细介绍GC-9217Ⅰ型智能网络化气相色谱仪主要技术指标：●操作显示：192*64点阵汉化液晶●温控区域：6路●温控范围：室温以上8℃～400℃，增量： 1℃， 精度：±0.1℃●程序升温阶数：8阶●程升速率：0.1～39℃/min（普通型）；0.1～80℃/min（高速型）●外部事件：4路●进样器种类：填充柱进样器、毛细管进样器任选     ●检测器数目：1个；FID、TCD，可选                            ●启动进样：手动、自动任选●通信接口：以太网：IEEE802.3GC9217I检测器技术指标   氢火焰离子化检测器（FID）●检测限：Mt≤3×10-12g/s （正十六烷）；●噪音：≤5×10-14A●漂移：≤1×10-13A/30min●线性范围： ≥106●最高使用温度：≤450℃热导检测器（TCD）●灵敏度：S≥4000mV?ml/mg(正十六烷)（放大1、2、4、8倍任选）●噪声：≤10μV●基线漂移：≤30μv/30min

该仪器符合GB/T 20104-2006《煤自燃倾向性色谱吸氧鉴定法》。 产品介绍及应用领域： 气相色谱仪是一种多组分混合物的分离、分析工具，它主要利用物质的物理性质对混合物进行分离，测定混合物的各个组分，并对混合物中的各个组分进行定性、定量分析。 最早色谱法被应用于分离植物的叶绿素。将植物的石油醚抽取液倒入一根装有粉状碳酸钙吸附剂的玻璃   柱管内，再加入纯的石油醚，任其自由流下，结果在柱管中出现了不同颜色的谱带，因而有了“色谱”之名。 后来这种方法逐渐被应用于无色物质的分离。在色谱分析中用的“色谱 ”名称并没有颜色特殊含意，但是“色谱”这个名称还是保留了下来，沿用到现在。 由于该分析方法有分离效能高、分析速度快、样品用量少等特点，因此目前已广泛地应用于石油化工、生物化学、医药卫生、卫生检疫、食品检验、环境保护、食品工业、医疗临床等部门。气相色谱法在这些领域中解决了工业生产的中间体和工业产品的质量检验、科学研究、公害检测、生产控制等等问题。 工作原理： 气相色谱仪是以气体作为流动相（载气）。当样品被送入进样器后由载气携带进入填充色谱柱或毛细管色  谱柱。由于样品中各个组份在色谱柱中的流动相（气相）和固定相（液相或固相）之间分配或吸附系数的差  异。在载气的冲洗下，各个组份在两相间作反复多次分配，使各个组份在色谱柱中得到分离，然后由接在色  谱柱后的检测器根据组份的物理化学特性，将各个组份按顺序检测出来。再由二次仪表（如记录仪式、积  分仪、色谱工作站等）将各个组份的检测结果以图形方式记录下来，积分仪或色谱工作站还可以直接打印包  括各个组份检测结果数据的分析报告。 煤自燃倾向性测定气相色谱仪就是根据上述原理制造的分析仪器。    技术参数： 温控指标 柱箱 温度控制范围：室温上（6～399）℃ 温度控制精度：在200℃以内精度为±0.1℃；在（200～399）℃以内精度为±0.2℃ 程序升温范围：室温上（6～399）℃ 程升阶数：三阶 程升速率：（0.1～39.9）℃/min（注：原文此处表述可能存在格式问题，推测应为0.1～39.9℃/min，并可能附带不同温度段的速率说明，如室温上（6～200）℃为0.1～20℃/min，≥200℃时速率范围未明确，建议以仪器实际参数为准） 进样器 温度控制范围：室温上（6～399）℃ 检测器 氢火焰离子化检测器（FID）温度控制范围：室温上（6～399）℃ 热导池检测器（TCD）温度控制范围：室温上（6～399）℃ 检测器技术指标 氢火焰离子化检测器（FID） 检测限：DFID≤5×10⁻¹¹g/s（正十六烷） 基线噪声：≤1×10⁻¹³A 基线漂移：≤2×10⁻¹²A/30min 热导池检测器（TCD） 灵敏度：STCD≥2000mV·mL/mg（苯甲苯） 基线噪声：≤0.050mV 基线漂移：≤0.15mV/30min   注：（用户自备：氮气和氧气，纯度要求均为99. 99%以上）

武汉大学采购金属有机化学气相沉积设备项目 招标项目的潜在投标人应在阳光招采电子招标投标交易平台（网址：http://www.yangguangzhaocai.com/）获取招标文件，并于2022年06月10日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

电感耦合等离子体化学气相沉积招标项目的潜在投标人应在北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼1601室获取招标文件，并于2022年07月11日14点00分（北京时间）前递交投标文件。