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加工第三代半导体晶片光电化学机械抛光技术
第三代半导体氮化镓和碳化硅因其禁带宽、稳定性好等优点,已广泛应用于电子和光电子等领域。各种氮化镓和碳化硅基器件是5G技术中的关键器件。将半导体晶片制成器件,其中的一个关键加工步骤是晶片表面的抛光。然而,氮化镓和碳化硅的化学性质极其惰性,半导体工业目前常用的化学机械抛光方法无法对其实现高效加工。对此,我们从原理上创新发展了一种光电化学机械抛光技术,不仅可快速加工各种化学惰性半导体晶片(如:加工氮化镓的材料去除速率可达1.2 μm/h,比目前的化学机械抛光的高约10倍),而且可加工出原子台阶结构的平滑表面。设备简单,技术具有完全的自主知识产权。
厦门大学 2021-04-10
机械产品(汽车整车及零部件)性能预测及数字化设计技术
机械产品性能预测技术是在虚拟样机技术基础上,结合产品的特点和要求,在产品的设计阶段就对产品的性能进行预测。汽车动力学仿真研究所现有成熟的产品性能预测技术有:1.刚度,强度及承载能力预测;2.疲劳性能预测;3.固有频率,模态及动态响应分析; 4.撞击性能预测;5.温度场,热应力场分析;6.汽车整车性能分析;7.建模造型技术。
南京工业大学 2021-04-13
Si基微机械悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测器
本发明的Si基微机械悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测器,结构包括悬臂梁耦合结构、功率合成/分配器、间接加热式微波功率传感器和开关。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,用于耦合部分待测信号,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的间接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号
东南大学 2021-04-14
Si基微机械悬臂梁耦合直接加热式毫米波信号检测器
本发明的Si基微机械悬臂梁耦合直接加热式毫米波信号检测器,结构由悬臂梁耦合结构、功率合成/分配器、直接加热式微波功率传感器和开关构成。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的直接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的
东南大学 2021-04-14
面向工程实际的复杂机械装备全数字化设计及工程装备开 发
虚拟设计与仿真、信息技术与机械工程的结合,是 21 世纪工程领域的重要发展方向 与战略制高点。机械工业发展水平的最重要标志是机型的自主开发、设计与制造能力。 实际工程应用对仿真环境提出的挑战,虚拟设计和仿真对计算机性能的要求十分苛刻。 一个典型的机械产品的装配有成千上万个零件装配,一个机械性能的仿真更需要进行几 十个工况每次若干小时的大量计算和接近实时的渲染。通过产品结构动态特性等全方位 的分析仿真,可实现面向实际产品原理、结构和性能的设计、分析、模拟和评测。运用 新技术,配合国家重大工程建设,完成了重大机械设备和施工装备的开发。如节段施工 架桥机;900t 运梁车、提梁机机电液一体化整机开发;大型开闭式屋顶建筑机械及控制 成套技术等。 技术指标 帮助提高创新产品研发的研发能力。提供大型机电液一体化机械装备全套技 术或开发 
同济大学 2021-04-13
水建学院何建强教授团队在气候变化模型模拟研究中取得新进展
近日,水建学院何建强教授团队在《AgriculturalandForestMeteorology》发表题为“Identifying sources of uncertainty in wheat production projections with consideration of crop climatic suitability under future climate”的研究论文。水建学院博士研究生蒋腾聪为论文第一作者,何建强教授、中国农业科学院农业资源与农业区划研究所何英彬研究员为共同通讯作者。
西北农林科技大学 2022-07-11
西北农林科技大学水保所在半干旱区深层土壤微生物变化方面取得进展
退耕还林是修复退化生态系统的有效方法,但往往会消耗深层土壤水分,造成深层土壤干化,这一现象在干旱半干旱区更为明显。目前,尚不清楚造林引起的深层土壤干化如何影响土壤微生物群落和功能,限制了对旱地恢复生态系统可持续性的认识。
西北农林科技大学 2022-10-13
一种基于聚谷氨酸的核壳结构水凝胶微胶囊菌剂及其制备方法
本发明公开了一种基于聚谷氨酸的核壳结构水凝胶微胶囊菌剂,包括内核和外壳;所述内核是由微生物、阴离子多糖和γ‑聚谷氨酸在钙离子交联作用下制成的凝胶内核;所述外壳是在壳聚糖、阴离子多糖和γ‑聚谷氨酸之间的静电作用下形成的壳聚糖外壳。本发明的微胶囊菌剂具有较高的包埋率以及菌剂缓释效果,微胶囊内层类生物膜结构的水凝胶内核可以诱导菌剂形成生物膜结构,“核壳”的致密结构还可以缓解氧化胁迫对菌剂的损害从而进一步提高菌剂储藏活性。本发明的微胶囊菌剂应用于水稻根部时可通过提高水稻可溶性蛋白与可溶性糖含量进一步促进水稻生长及缓解盐胁迫对水稻的损害,并显著提高菌剂在水稻根部的定殖效率。
南京工业大学 2021-01-12
超声、微波辅助水热合成氧化锌基的纳米复合颗粒用于气敏传感器的应用
使用超声、微波辅助水热合成的方法制备出不同相貌的ZnO、Cr ZnO、CoO ZnO等纳米复合颗粒,通过复合和掺杂改性,分别构建p-n结和形成催化活性位点,提高气敏性能。
上海理工大学 2021-01-12
机械化学结合水洗的飞灰高效低成本无害处置方法和系统
本发明涉及飞灰无害化处置,旨在提供一种机械化学结合水洗的飞灰高效低成本无害处置方法和系统。该系统包括给料仓、水平滚筒式球磨机、搅拌釜和板框压滤机;给料仓的底部接于水平滚筒式球磨机的进料口,水平滚筒式球磨机的密闭筒体中放置不锈钢磨球;出料管道两端分别接水平滚筒式球磨机底部和搅拌釜上部;搅拌釜上接进水管道,底部接至板框压滤机。本发明可同时高效实现飞灰的重金属固化、二噁英降解和氯脱除,处置后飞灰彻底无害化且具备资源化利用条件;处置后飞灰的重金属固化率在70%以上;无外加添加剂,处置成本低廉;工艺流程简单,反应条件温和,过程环保,无有害副产物产生;设备投入和运行成本低廉,处置效果显著,工艺流程实现简单。
浙江大学 2021-04-11
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