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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
《国家科学技术奖异议处理办法》发布
本办法自发布之日起施行,2020年公布的《国家科学技术奖异议处理办法》同时废止。
国家科学技术奖励工作办公室 2025-09-25
实验用四联搅拌机-便携式混凝试验搅拌器
实验用四联搅拌机-便携式混凝试验搅拌器是实验室常用的一种小型电动搅拌器,由于体积小、轻盈、便携,具备室内/户外地两用特质,为便于户外使用,特配置了交/直流两用电源接口,同时也具备多元化运行模式及综合数值计算功能。被誉为户外水处理混凝实验小能手。免费配送搅拌杯、加药试管、便携箱。 适用范围: 通用于高教院校、科研院所、自来水厂、污水处理厂、给/排水、环保、石油、化工、冶金、轻工、药剂、电力、造纸、印染等行业的化验室、实验室。 产品参数: 1、转速范围:10  ~ 1200转/分   2、速度梯度G 值:10  ~ 1000秒 -1 3、时间范围: 0  ~ 99 分59秒 x 10 ± 0.01秒                   4、测温范围: 0  ~   50℃  ± 0.1℃ 5、可设程序数量:25种; 每种自动无级变速10次       产品性能: 1、7寸彩色液晶屏动态显示各种参数,数据更清楚 2、微电脑控制 、程序储存25种,每种程序自动无级变速10次 3、交/直流两用电源自由切换、户外使用更方便 4、中文/英文双系统适用于国内外各类用户 5、主机与搅拌体采用分散设计,外形美观,操作方便,安全性能好 6、数据搅拌轴可同步运行,亦可独立运行 7、自动测温,自动计算GT值 8、手动加药,根据需要可多次手动自行加药 9、配送专用搅拌烧杯、试管、便携箱 10、银白铎烤漆机箱制造,高档大气,外形优雅,美观大方
武汉市梅宇仪器有限公司 2026-03-27
《科学技术活动违规行为调查处理规定》发布!3月20日起施行
这些违规科技活动将被严惩!
科技部 2026-02-11
教创赛专家报告荟萃⑬ | 北京理工大学空天科学与技术学院教授林德福:教学赛研用“五位一体”领军人才培养模式探索与实践
该模式深度融合“教学赛研用”,打造“飞行力学”等思政示范课程,将高端赛事案例融入教学改革,提升课程内涵与育人实效。
高等教育博览会 2025-09-28
中南大学拟用科技成果进行作价出资与湘潭电化产投控股集团有限公司等主体共同成立湖南新能源材料研究院(筹)所涉及中南大学持有2项发明专利的市场价值
湖南湘评资产评估事务所(有限合伙) 2025-10-29
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