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2021-08-23
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2021-08-23
一种激光诱导
液
滴靶放电产生等离子体的
装置
本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光 源的装置,包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋 转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态 锡中,利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡,阻拦屏和旋转 圆面屏的阻挡和选通作用,产生周期性的锡液滴,通过电极对,在激 光的作用下产生极紫外光。本装置通过让激光作用在的锡液滴而非作 用在电极上的液态锡膜上,解决了传统旋转放电圆盘电极液体
华中科技大学
2021-04-14
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