一种激光诱导液滴靶放电产生等离子体的装置

高端装备制造

本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光

源的装置，包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋

转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态

锡中，利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡，阻拦屏和旋转

圆面屏的阻挡和选通作用，产生周期性的锡液滴，通过电极对，在激

光的作用下产生极紫外光。本装置通过让激光作用在的锡液滴而非作

用在电极上的液态锡膜上，解决了传统旋转放电圆盘电极液体

未应用