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一种集成加热
部件
的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形; ②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指 电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热 部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成 加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感 材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体, 而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传 感器的加热部件具有尺寸小,耗费能量小,制作简单的优点。
华中科技大学
2021-04-11
一种集成加热
部件
的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形;②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体,而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传感器的加热部件具有尺寸小,耗
华中科技大学
2021-04-14
科技
部
财政
部
教育
部
中科院 自然科学基金委关于开展减轻青年科研人员负担专项行动的通知
习近平总书记在中央人才工作会议上指出,要给予青年人才更多的信任、更好的帮助、更有力的支持,支持青年人才挑大梁、当主角。2018年以来,科技部、财政部、教育部、中科院先后印发《贯彻落实习近平总书记在两院院士大会上重要讲话精神开展减轻科研人员负担专项行动方案》(减负行动1.0)和《关于持续开展减轻科研人员负担激发创新活力专项行动的通知》(减负行动2.0),在全国范围内广泛展开行动,在减表、解决报销繁、检查瘦身等方面取得显著成效,受到广大科研单位和科研人员欢迎。
科技部
2022-08-08
科技
部
等七
部
门关于做好科研助理岗位开发和落实工作的通知
为深入贯彻习近平总书记关于高校毕业生就业工作的重要指示批示精神,落实党中央、国务院有关任务部署和《国务院办公厅关于进一步做好高校毕业生等青年就业创业工作的通知》要求,科技部等七部门发布关于做好科研助理岗位开发和落实工作的通知。
科技部成果转化与区域创新司
2022-06-29
科技
部
财政
部
关于印发《企业技术创新能力提升行动方案(2022—2023年)》的通知
到2023年底,一批惠企创新政策落地见效,创新要素加速向企业集聚,各类企业依靠科技创新引领高质量发展取得积极成效,一批骨干企业成为国家战略科技力量,一大批中小企业成为创新重要发源地,形成更加公平公正的创新环境。
科技部成果转化与区域创新司
2022-08-15
科技
部
国际合作司关于举办第三届中国—东盟创新创业大赛的通知
中国科技部与东盟秘书处将共同主办第三届中国—东盟创新创业大赛,现将有关事项通知如下
科技部
2024-12-31
人社
部
:2022年就业工作这样干!
人社部就业促进司司长张莹表示,2021年人社部会同有关部门认真贯彻落实党中央、国务院决策部署,深入实施就业优先政策,保持了就业局势的总体稳定,实现了“十四五”就业工作的良好开局。一是就业目标任务圆满完成。
人力资源和社会保障部
2022-02-22
教育
部
2021年度部门决算
教育部2021年度收入总计53506.952.39万元,支出总计53.506.952.39万元。与2020年相比,收、支总计各增加5,063,322.2万元,增长10.5%。主要原因是事业收入和其他收入等有所增加,相应支出增加。
教育部
2022-07-26
XM-609头
部
水平切面模型
XM-609头部水平切面模型 XM-609头部水平切面模型共17片,每片厚度约1.2cm,产品自头顶至胸上段由头顶至约第七颈椎高度作横切片。 尺寸:自然大,19×17.5×24.5cm 材质:玻璃钢材料
上海欣曼科教设备有限公司
2021-08-23
部
编版教材/教学资源/数学/语文/英语
产品详细介绍 U伴慧学的资源中心,内置丰富结构化教学资源库,匹配不同版本的教材,包含小学、初中、高中9大主学科及其他专题内容,包含自学资源、点睛题和练习题库三大类,可以应用于课前安排预习、课中现场授课、课后布置作业。 阶段:小学、初中、高中 学科:语文、数学、英语、物理、化学、生物、政治、地理、历史、信息技术应用、安全教育 形式:视频、图片、文字 教材版本:包含全国各地主要应用版本,如部编版、人教版、北师大版、浙教版、苏教版等,与当地教学教材高度匹配 结构化资源内容:由浅到深,逐步进阶 1、课前—自学资源: “学材”区别于“教材”,指的是经过精心加工、适合学生自主学习的教学资源。 2、课中—点睛题: 点睛题是U伴慧学平台特有的教学资源,专门用于让教师即时了解学生对核心概念的理解与掌握状况,目的是培养学生的高阶思维能力。 3、课后—探究资料 对知识点的补充、拓展、探究性资料,可以引导学生更深入地思考问题,完善自己的知识,解决问题。 4、练习题库:全过程可应用,知识点的测试题目。
深圳伟东云教育科技有限公司
2021-08-23
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