基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器
本发明的基于硅基悬臂梁T型结间接加热在线式毫米波相位检测器,主要由悬臂梁耦合结构、T型结和间接加热式微波功率传感器构成。悬臂梁耦合结构中,两个悬臂梁在CPW中央信号线上方,结构相同,用于耦合部分待测信号,通过锚区与T型结相连,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度为λ/8。悬臂梁下方的CPW中央信号线上覆盖了一层Si3N4介电层,用于防止电学短路。参考信号通过T型结分成两路信号,分别与两路悬臂梁耦合的信号通过T型结合成,T型结的输出端连接到间接加热式微波功率传感器进行功率检测。最后根据两个间接加热式微波
东南大学
2021-04-14