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Si基微机械悬臂梁耦合直接加热式毫米
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东南大学
2021-04-14
硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米
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基于硅基悬臂梁T型结直接加热式毫米
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2021-04-14
硅基悬臂梁耦合T型结间接加热式毫米
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东南大学
2021-04-14
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