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一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置
本发明公开了一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置。其方法是将线偏振红外光束投射到含有深沟槽结构的样件表面,对沟槽结构各界面反射光形成的干涉信号进行滤波等处理得到测量反射光谱;采用基于偏振的等效介质理论构建该深沟槽结构等效光学模型,计算其理论反射光谱;采用人工神经网络结合局部搜索算法的快速参数提取方法,通过理论反射光谱拟合测量反射光谱,快速提取沟槽的宽度和深度,实现深沟槽几何形貌参数的精确在线测量。装置包括红外光源,红外偏振片,干涉仪,平面反射镜和二个离轴抛物镜以及红外探测器。装置可实现场效应管和动态
华中科技大学 2021-04-14
一种超高频雷达天线阵列方向图测量装置
本实用新型提供一种超高频雷达天线阵列方向图测量装置,包括信号发生装置和待测量超高频雷达 系统,信号发生装置由单片机、信号源、GPS 模块、无线串口 1、发射天线、串口天线 1 和电源模块组 成,其中单片机、信号源和发射天线依次连接,单片机、GPS 模块、无线串口 1 和串口天线 1 依次连接。 待测量超高频雷达系统由依次连接的接收天线阵列、超高频接收机、无线串口 2 和串口天线 2
武汉大学 2021-04-14
一种大量程范围的折射率测量装置及方法
本发明公开了一种折射率测量装置,包括:单色角点光源照明 模块,用于产生进行测量的两束光束;参考光路模块,其中一束作为 参考光入射到该参考光路模块中,经全反射后出射带有原始光场信息 的参考信息光;探测模块,其与待测物接触形成介质面,另一束光束 作为探测光入射到探测模块并经介质面反射后出射耦合有待测物质折 射率信息的探测信息光;反射光能量收集模块,分别接收参考信息光 和探测信息光,并转换为电信号;以及图像处理模块,其对两
华中科技大学 2021-04-14
一种用于可调桨叶片的激光测量装置、系统及方法
本发明公开了一种可调桨叶片激光测量装置,包括底座、旋转台、激光位移传感器、横向移动机构和纵向移动机构;底座,用于支撑测量装置其它部件;旋转台,安装于底座上,用于放置和旋转待测可调桨叶片;横向移动机构,用于在水平方向上调节激光位移传感器相对可调桨叶片上测点的位置;纵向移动机构,用于在竖直方向上调节激光位移传感器相对可调桨叶片上测点的位置;激光位移传感器,用于采集可调桨叶片上测点与激光位移传感器之间的距离。本发明提供了一种可调桨叶片激光测量系统及方法。本发明采用激光三角测量原理获取测点的空间坐标,实现可
华中科技大学 2021-04-14
一种纳米结构三维形貌测量方法及装置
本发明公开了一种纳米结构三维形貌测量方法及其装置,可以同时测量纳米结构线宽、深度、侧墙角、线缘粗糙度、线宽粗糙度等三维形貌参数的方法及装置。本发明方法步骤如下:将波长为紫外到近红外波段的光束经分光、起偏、前后相位补偿得到的椭圆偏振光投射到待测;采集待测结构表面反射零级衍射信号,计算得到纳米结构测量穆勒矩阵;将测量穆勒矩阵与理论穆勒矩阵进行匹配,提取得到待测纳米尺寸结构的三维形貌参数值。本发明所提供的纳米结构三维形貌参数测量装置,能为基于图形转移的批量制造方法如光刻和纳米压印等工艺中所涉及的一维和二维
华中科技大学 2021-04-14
基于单边虚拟电感的电容耦合式非接触电导测量装置
本实用新型公开了一种基于单边虚拟电感的电容耦合式非接触电导测量装置,由交流激励源、激励电极、绝缘测量管道、检测电极、单边虚拟电感、电流电压转换电路、信号处理模块依次相连。单边虚拟电感输出端通过电流电压转换电路中的运放虚地。本实用新型利用单边虚拟电感代替实际电感,利用串联谐振原理,用单边虚拟电感的感抗消除传感器中耦合电容的容抗对测量的不利影响。相较浮置虚拟电感,单边虚拟电感虚地,结构紧凑,稳定性高;相较实际电感,单边虚拟电感体积小易集成,电感值可调,降低了对激励源的要求。本实用新型通过测量检测通路的输出电流,经计算得到待测流体等效电导值,为实现非接触测量绝缘管道内部导电流体的电导提供了一种有效方法。
浙江大学 2021-04-13
一种核电站安全壳内衬钢板缺陷测量装置
本实用新型提供核电站安全壳内衬钢板缺陷测量装置,其特征在于:包括支架、导轨、滑块、中心 控制单元、位移传感器和测距仪,导轨安装在支架上,滑块卡在导轨上,位移传感器和测距仪设置在滑 块上,位移传感器和测距仪分别连接中心控制单元。本实用新型提出的核电站安全壳内衬钢板缺陷测量 装置,在体积和重量上比原有的工具减轻了很多,而且使用所得测量结果精度高,数据量丰富,操作简 单,数据录入迅速,结果直观,有效提高了测量的效率以及精度。 
武汉大学 2021-04-13
共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置和方法
本发明属于白光干涉测厚领域,并公开了共焦白光偏振干涉的 多层透明介质厚度测量装置和方法。包括被测物、第三透镜、第二透 镜、第二小孔构成共焦结构,平行白光经第二棱镜后,一束作为测量 光束经第三透镜汇聚到被测表面,另一束作为参考光束经过多次反射 后与从被测表面反射回来的测量光束发生干涉,在第二棱镜和第二透 镜之间设置提高干涉条纹的对比度的可旋转偏振片,实现在第一图像 传感器上形成高对比度干涉条纹。本发明还公开了利用上述装置进行 测量的方法。
华中科技大学 2021-04-14
高级血压测量手臂模型手臂血压测量模型
XM-S7高级血压测量手臂训练模型   XM-S7高级血压测量手臂训练模型的皮肤采用高分子材料、血管采用乳胶材料、手臂骨采用发泡材料制成,肤质仿真度高,皮肤纹理清晰,本产品可单独使用,也可与我公司其他产品配套使用,全套包括血压测量训练仪、手臂模型、血压表、袖带、听诊器、DC5V外接电源适配器及其它附件组成。   一、功能特点: ■ 模型为成人手臂,体表标志明显,解剖位置精确,可以进行动脉血压测量。 ■ 可用真实血压计及听诊器进行血压测量。 ■ 具有KorotkoffGap音。 ■ 压力值采用动态毫米汞柱显示,可精确到1毫米。 ■ 可以根据教学情况调整收缩压、舒张压、脉搏频率数值及音量的大小。 · 收缩压:设定范围30-250mmHg。 · 舒张压:设定范围15-105mmHg。 · 心率:设定范围10-200次/分。 · 脉搏听诊音量:设定范围0-16。 ■ 血压训练器有液晶显示屏显示。 ■ 可反复进行练习。   二、标准配置: ■ 血压测量手臂模型:1条 ■ 听诊器:1副 ■ 血压测量器:1套 ■ 电子显示器:1个 ■ 电源适配器:1个 ■ 防尘布:1块 ■ 说明书:1册 ■ 保修卡合格证:1张
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
0.008度 双轴高精度倾角传感器 超宽测量范围正负180度 MEMS角度传感器 倾斜监测传感器 角位移传感器
技术亮点 ❖ 单轴/双轴测量; ❖ 超宽测量范围:±180°; ❖ 卓越的测量精度,0.01°(全量程); ❖ 工业级可靠性设计; ❖ 符合严苛工业环境应用要求; ❖ 多种标准输出接口,便于系统集成与扩展。   应用范围 该系列产品特别适用于:建筑结构健康监测(古建筑、历史遗迹、危房等)、工业自动化控制系统以及高精度角度测量应用场景需要长期稳定监测的工业现场。   产品介绍 STS标准输出型倾角传感器是瑞惯科技专注于工业自动化控制领域而研发的产品。该产品采用紧凑型工业设计,配备RS485/RS232标准串行通信接口,集成高性能MEMS倾角传感单元和24位高精度差分A/D转换器,结合五阶数字滤波算法,可实现水平面倾斜角与俯仰角的高精度测量。 凭借其优异的测量精度、可靠的工业级性能和灵活的配置方案,STS标准输出型倾角传感器已成为工业测量领域的高性能解决方案。   性能参数 STS 条件 参数 测量范围 - ±10° ±30° ±60° ±90° ±180° 测量轴   - X Y轴 X Y轴 X Y轴 X Y轴 X轴 分辨率1) - 0.001° 精度 最大绝对误差2) 室温 0.01° 0.01° 0.015° 0.02° 0.02° 均方根值误差3) 室温 0.008° 0.008° 0.008° 0.009° 0.009° 零点温度系数4) -40~85℃ ±0.0005°/℃ 灵敏度温度系数5) -40~85℃ ≤0.01%/℃ 上电启动时间   0.5S 响应频率 20Hz 输出信号 TTL / RS232 / RS485可选 通信协议 串口通讯协议 / MODBUS RTU协议 可选 电磁兼容性 依照EN61000和GBT17626 平均无故障工作时间 ≥99000小时/次 绝缘电阻 ≥100兆欧 抗冲击 100g@11ms、三轴向(半正弦波) 抗振动 10grms、10~1000Hz 防水等级 IP67 电缆线 标配2米M12航空插头带PVC屏蔽电缆线,线重≤120g 重量 ≤150g(不含电缆线) 1) 分辨率:在有效量程内可识别的最小角度变化量,反映其对微小倾角波动的监测能力。 2) 最大绝对误差(MAE):全量程范围内,对多个标准角度点进行测量,各测量值与实际角度值偏差绝对值的最大值。该参数表征产品在最不利情况下的测量偏差极限。 3) 均方根误差(RMSE):量程范围内,对固定角度点进行多次重复测量(采样次数≥16次),计算各测量值与实际角度值偏差的均方根值。该参数反映测量结果的重复性与稳定性,是评估系统随机误差的重要指标。 4) 零点温度系数:传感器在零输入状态下,其输出值随温度变化的比率,定义为额定工作温度范围内零点偏移量与常温基准值的比值。   5) 灵敏度温度系数:传感器满量程输出值随温度变化的稳定性指标,表征额定温度范围内灵敏度相对于常温参考值的漂移率。
深圳瑞惯科技有限公司 2025-10-28
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