1. 项目背景（1）随着经济的不断发展以及国家对环境保护问题的日益重视，污水排放要求越来越严格，而传统的处理方法不能满足日趋严格的排放要求，膜技术几乎能将所有的微生物截流在

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。 

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，

1 成果简介本系统采用了一种多翅片降膜蒸发方式，通过高效降膜蒸发、膜态冷凝等强化传热传质技术，有效提高了单位体积装置淡水产率。其产淡水效率比目前市场上其他蒸发式产品更高， 70℃时单位体积产淡水率即可达到 135kg/(m3·h)，温度更高时产淡水率将进一步提高。在产淡水量相同的情况下，本系统的结构更紧凑、反应更迅速。系统样机见图 1。 本系统采用多种创新性设计，降低了系统能耗，更加节能环保。本系统可利用的热源形式和温度范围更广，热源温度在 50℃左右时系统即可产出淡水，可利用蒸汽、热水、太阳能、地热水和废热气等热源，应用前景广阔。 本系统采用一体化设计，使结构更为紧凑，外界环境一定震动时仍能正常工作，方便搬运、携带，可靠性好。图 1 多翅片降膜蒸发紧凑式海水淡化系统样机 图 2 多翅片降膜蒸发紧凑式海水淡化系统淡水产量随热源温度变化曲线2 应用说明此系统可充分利用低品位热能，如地热、工业废热、交通工具废气余热等低温热源（ 50~100℃），适用范围较广。大规模的海水淡化设备可以与大型火电厂、化工厂等相结合。小规模的海水淡化设备可以利用太阳能加热设备等，淡化后的水可直接饮用。3 效益分析此系统设计上的创新与优化使得投资成本大为降低。运营成本非常低，每天仅需 2 度电。目前市场上常见的反渗透膜式海水淡化设备的单位产淡水量所需成本是此系统的 10~30 倍，预计此系统一年半即可收回成本。

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，通过其获得具有稳定温度的浸液，以用于浸没式光刻工艺中，其特征在于，该温控系统包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路，温控后的浸液通过该浸液管路出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及热交换器（6），所述浸液管路和工艺冷却液回路同时流经该热交换（6），利用该热交换器（6）完成工艺冷却液和浸液的热交换，获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置采用内部回流结构与热交换器

目概况    现有的普通自行车，皆依靠双脚作圆周运动使之前进的。这类驱动装置，脚蹬沿脚拐回转一周所走过的距离为s=2兀R（R为脚拐半径），而所作的功则为w≈FR（F为沿圆周切线方向的蹬力）。可见，人在驱车过程中，大部分力都没有被利用，而只有少部分力（不足1/4）作有用功。    本新型自行车是提供一种增加有用功、减少无用功，充分利用人体各方面能量，具有低座平蹬式的，实现高效高速的目的。与现有普通自行车相比：速度相同时省力；用力相同时增速。 本项目具有国内领先水平，拥有自主知识产权。 主要特点 本新型自行车利用所述低位车座带靠背结构、平蹬式驱动装置制作的自行车，包括左摇杆、车架、右摇杆、脚蹬、右杆链、车座、靠背、右链轮、链条、飞轮、驱动轮、滑轮、外罩。外罩固定在整体车架上，纵剖面内车架由连杆构成L型，上端为摇杆转动转轴中心，摇杆下端装有脚蹬，并固接驱动链条——左杆链与右杆链，且通过滑轮连为一体。左右链轮内分别装有超越离合器，使其只能单向回转。在驱动轮上安装低位车座与靠背，前插下端与车轮相连，上端与车把固接，便于操纵。 技术指标    1、采用低位车座带靠背结构：    现在的自行车座位在脚蹬的上方，驾驶者向下踏动脚蹬时，所施加的力一般不会超过自身的重量，但当骑赛车时，需把腰弯下，用脚向下蹬踏，就能用上更大的力气，根据这一原理，本新型自行车的车座装在与脚蹬基本等高的平面上，让人像半躺着一样接近水平方向去蹬踩脚蹬，同时，背靠弧形靠背，这样在脚蹬上不需多用力，就能把时速提高1倍以上。    2、采用水平蹬踩式驱动装置 现有普通自行车的驱动是人的双脚蹬踩脚蹬作回转运动使车前进的，有用功仅占总功的不足1/4;本新型自行车采用水平蹬踩式驱动装置，其关键技术在子将脚蹬的圆周运动改变为近于水平直线运动，这种运动方式的实现是通过链轮、链条间的传动方式实现的。当左脚蹬前移至最前点时，右脚蹬向后运动到最后点，变换脚踩方向，即右脚向前蹬踩，右链轮正转，带动整个装置向前运动，而左链轮离合器与驱动轮分离，左脚蹬相应的向后运动，直到终点，完成一个循环动作。如此反复，则可实现装置的连续向前运动。场前景骑行的舒适性与疲劳性一直是困扰人们骑乘普通自行车的一大难题，本新型自行车是在现有普通自行车基础上，以人机工学与机械学等学科理论为依据，对其进行全方位综合研究，通过设置低位特殊车座及靠背结构，使驾驶者上身自然挺直，双手自然扶把，不但不再前倾且略有后倾，如同驾驶太子摩托一般，全身重心向后下，利用背部力量，协调左右脚在最佳施力角度作向前的平蹬摆动运动，通过链绳传动装置来驱动自行车前进。自行车一一这个人们最熟悉的代步工具、休闲、健身产品，由于本新型自行车的诞生， 让其使用变得更省力、更快捷、更健康、更安全、更美感、更舒适、更高效、更轻松、视野更开阔、坐姿更优美。本新型自行车是国内外自行车业界的最新产品，其特点将很快为人们所了解、所接受、所追捧，进而在全国乃至全球掀起一个奉新型车风行之热。      

项目概况 现有的普通自行车，皆依靠双脚作圆周运动使之前进的。这类驱动装置，脚蹬沿脚拐回 转一周所走过的距离为 s=2πR（R 为脚拐半径），而所作的功则为 w≈FR（F 为沿圆周切线方 向的蹬力）。可见，人在驱车过程中，大部分力都没有被利用，而只有少部分力（不足 1/4） 作有用功。 本新型自行车是提供一种增加有用功、减少无用功，充分利用人体各方面能量，具有低 座平蹬式的，实现高效高速的目的。与现有普通自行车相比：速度相同时省力；用力相同时12 增速。 本项目具有国内领先水平，拥有自主知识产权。 主要特点 本新型自行车利用所述低位车座带靠背结构、平蹬式驱动装置制作的自行车，包括左摇 杆、车架、右摇杆、脚蹬、右杆链、车座、靠背、右链轮、链条、飞轮、驱动轮、滑轮、外 罩。外罩固定在整体车架上，纵剖面内车架由连杆构成 L 型，上端为摇杆转动转轴中心，摇 杆下端装有脚蹬，并固接驱动链条——左杆链与右杆链，且通过滑轮连为一体。左右链轮内 分别装有超越离合器，使其只能单向回转。在驱动轮上安装低位车座与靠背，前插下端与车 轮相连，上端与车把固接，便于操纵。 技术指标 1、采用低位车座带靠背结构： 现在的自行车座位在脚蹬的上方，驾驶者向下踏动脚蹬时，所施加的力一般不会超过自 身的重量，但当骑赛车时，需把腰弯下，用脚向下蹬踏，就能用上更大的力气，根据这一原 理，本新型自行车的车座装在与脚蹬基本等高的平面上，让人像半躺着一样接近水平方向去 蹬踩脚蹬，同时，背靠弧形靠背，这样在脚蹬上不需多用力，就能把时速提高 1 倍以上。 2、采用水平蹬踩式驱动装置 现有普通自行车的驱动是人的双脚蹬踩脚蹬作回转运动使车前进的，有用功仅占总功的 不足 1/4；本新型自行车采用水平蹬踩式驱动装置，其关键技术在于将脚蹬的圆周运动改变 为近于水平直线运动，这种运动方式的实现是通过链轮、链条间的传动方式实现的。当左脚 蹬前移至最前点时，右脚蹬向后运动到最后点，变换脚踩方向，即右脚向前蹬踩，右链轮正 转，带动整个装置向前运动，而左链轮离合器与驱动轮分离，左脚蹬相应的向后运动，直到 终点，完成一个循环动作。如此反复，则可实现装置的连续向前运动。 市场前景 骑行的舒适性与疲劳性一直是困扰人们骑乘普通自行车的一大难题，本新型自行车是在 现有普通自行车基础上，以人机工学与机械学等学科理论为依据，对其进行全方位综合研究， 通过设置低位特殊车座及靠背结构，使驾驶者上身自然挺直，双手自然扶把，不但不再前倾 且略有后倾，如同驾驶太子摩托一般，全身重心 向后下，利用背部力量，协调左右脚在最佳施力 角度作向前的平蹬摆式运动，通过链绳传动装置 来驱动自行车前进。 自行车——这个人们最熟悉的代步工具、休 闲、健身产品，由于本新型自行车的诞生，让其 使用变得更省力、更快捷、更健康、更安全、更 美感、更舒适、更高效、更轻松、视野更开阔、 坐姿更优美。本新型自行车是国内外自行车业界 的最新产品，其特点将很快为人们所了解、所接 受、所追捧，进而在全国乃至全球掀起一个本新 型车风行之热。 

1.微电脑控制,中文界面,液晶显示,触摸键操作,简洁、直观、方便。全程电脑自动控制，开机自动加热并恒温。2.分摊片、烤片、烘片三个功能区。3.温度控制：0-99　℃预设，恒温精度±１℃

本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温

本实用新型的目的是克服上述装置的不足，提供一种能够创造良好的微观混合条件、使反应及反应-沉淀和结晶等过程有效地进行，保证物料有足够的停留时间、能适应各种反应体系要求，可以间歇、也可以连续操作，并能提供反应所需换热等条件的反应技术装备。 除具备传统搅拌反应釜的一切功能外，本反应器还具有极佳的微观混合性质和全混流—无混合流串联循环的特殊流动结构，适合于在分子尺度上进行的液相或以液体为连续相的过程，特别是化学反应—沉淀法制取超细粉体；撞击流面附近产生波动现象还有利于促进动力学，消除微观混合不良对过程速度的限制。在沉淀法制白炭黑、纳米TiO2、纳米铜粉等所有制备工艺实验中，该反应器都显示出优越性能—制得产品比传统搅拌反应釜产品更细、分布更窄；该反应器中结晶成长速度比比传统装置中更快。是搅拌反应釜理想的更新换代产品。已完成不同规格工业反应器的机械设计。