一种单腔多孔式节流结构的气体轴承
本发明公开了一种单腔多孔式节流结构的气体轴承,其特征在于:在气体轴承上开有中心孔,该中心孔内镶嵌有圆柱体,该圆柱体的直径为 5~10mm,长度为 0.1~2mm,该圆柱体上开有微型孔阵列,微型孔的孔径为 1~100μm,微型孔阵列构成节流器,中心孔的上端开有一个圆柱体腔作为进气腔,中心孔的下端开有一个圆柱体腔作为压力腔,压力腔与进气腔的直径具有相同量级,为 1~10mm,压力腔的深度为 0.01~0.5mm。这种单腔多孔式节流结构的气体轴承具有良好的稳定性和力学性能,能应用于各种超精密运动平台中,实
华中科技大学
2021-04-14