一种单腔多孔式节流结构的气体轴承

先进制造与自动化

本发明公开了一种单腔多孔式节流结构的气体轴承，其特征在于：在气体轴承上开有中心孔，该中心孔内镶嵌有圆柱体，该圆柱体的直径为 5～10mm，长度为 0.1～2mm，该圆柱体上开有微型孔阵列，微型孔的孔径为 1～100μm，微型孔阵列构成节流器，中心孔的上端开有一个圆柱体腔作为进气腔，中心孔的下端开有一个圆柱体腔作为压力腔，压力腔与进气腔的直径具有相同量级，为 1～10mm，压力腔的深度为 0.01～0.5mm。这种单腔多孔式节流结构的气体轴承具有良好的稳定性和力学性能，能应用于各种超精密运动平台中，实

未应用