用于浸没式光刻的浸液温控装置

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。 

华中科技大学 2021-04-11

用于浸没式光刻的浸液温控装置

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，

华中科技大学 2021-04-14

一种用于浸没式光刻的浸液温控系统

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，通过其获得具有稳定温度的浸液，以用于浸没式光刻工艺中，其特征在于，该温控系统包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路，温控后的浸液通过该浸液管路出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及热交换器（6），所述浸液管路和工艺冷却液回路同时流经该热交换（6），利用该热交换器（6）完成工艺冷却液和浸液的热交换，获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置采用内部回流结构与热交换器

华中科技大学 2021-04-14

精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法

本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温

华中科技大学 2021-04-14

huber温控设备

产品详细介绍  德国Huber：各种水浴、油浴恒温控温系统   Huber已有40多年生产冷冻设备的经验，主要生产经济型Polystat 系列、程控全自动冷循环油浴CC系列、大功率Tango和Unistat tango 系列、智能型冷却循环制冷器系列、啤酒专用水浴、矫正水浴、浸入 式制冷器等。     Huber的大功率tango和Unistat tango以其技术的独特创新，广泛 应用于制药、化工、石化行业的反应釜、全自动合成仪、萃取及冷藏 装置的控温，因此被人们誉为“Tango factory”。Tango已成为控温技 术的市场领导者。    

北京赛美思仪器设备有限公司 2021-08-23

中央空调 VRV 温控系统

中央空调 VRV 温控器，除具有节能效率高、环境热污染低、便于维护管理 等优点外，最大优势在于大量节省铜材资源和综合布线的人力资源。传统、常 规中央空调温控器对外连接线 9 根（AC-L、AC-N、高速驱动 H、中速驱动 M、 低速驱动 L、阀开 On、阀关 Off，共 7 根交流 AC220V 电源及控制线，2 根 DC 37 通信线），该专利产品仅为 2 线制 DC5V 的直流载波通信、供电模式，由于操 控面板上没有 AC220，所以也具备较高的用电安全性和防止不法用户的偷电行 为。 我们研发的中央空调 VRV 智能网络温控器是目前国内外性价比最高的一款 产品，采用该发明专利技术，成本降低 6 倍，功能优于国内外系列的 10 倍，且 工程项目安装方便，可节省大量人力、物力、线材的费用。

山东大学 2021-04-13

实验室低温控温仪器单回路低温温控系统20-623K

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北京锦正茂科技有限公司 2022-03-28

高精度工业装备智能温控系统：

可消除机床加工热变形的影响、控制机床主要发热部件的温升、提高加工精度、延长机床使用寿命；也可用于通信基站及新能源基站精密设备的冷却，进行独立控温，具有很强的节能意义。我团队研发的高精度工业装备智能温控系统使用“温差热电堆”测量技术，利用油温反向控制压缩机电源频率，通过变频技术提高控温精度，温控精度可达 0.05oC，节能在 20%左右。研制了多回路的制冷系统，通过神经网络设计理念，通过嵌入式控制系统的设计，对不同回路的热量进行耦合控制。目前已实现系列化生产，无故障运行时间 10000 小时以上。

上海理工大学 2021-01-12

一种温控雾化浴眼仪

【发 明人】马宏跃；段金廒；丁安伟；潘苏华；王珏；周婧；张启春；范林乾；李尧【技术领域】本实用新型设计了一种眼部医疗保健器，尤其涉及一种控温药物雾化浴眼仪。【摘    要】本实用新型公开了一种温控雾化浴眼仪，它包括依次连通的主机、支架和喷头：主机包括由输气管路依次相连的雾化室、冷凝室和加热室；雾化室设有加料盖和加药斗，可将物料送入储液槽中；储液槽底部设有导能片；涡轮风机和雾化室相通，可将雾化室内的雾化气体送入输气管路；冷凝室通过外加冰水，可将输气管路置于冰水浴中；加热室将输气管路缠绕在高温加热片上；输气管路通过出气口将气体从主机传输到支架中，再通过支架传送到喷头中，由喷头气栅喷出气体。本实用新型结合了药物雾化治疗和传统热蒸汽熏眼的医疗方式，集蒸汽加热、药物雾化治疗及其清凉降温功能于一身，在药物治疗同时，促进眼部血液循环，立刻缓解疲劳的作用，标本兼顾。

南京中医药大学 2021-04-13

混凝土蒸汽养护自动化温控系统

本系统适用于高铁轨道板、轨枕、RPC 盖板、管桩和其它混凝土构件生产蒸 汽养护过程的自动化控制，系统由工控计算机、温度控制器、温度传感器、电动 调节阀组成，为一个高性能的蒸汽养护监控系统，使用者可根据各自的需求方便 地设定工艺曲线，该系统能单独或同时对几十个养护房进行温度检测和控制，软 件采用计算机汉字图形菜单形式，有实时温度超差报警等功能，系统功能完备、 可靠性高，应用前景广阔。 2、创新要点 采用智能温控仪和计算机组建分布式监控系统，系统稳定性好，并能满足远 程监控的需要。343 3、效益分析 广泛用于铁路建设、混凝土构件、新型建材等领域，市场前景广阔。 4、推广情况 已在武广高铁、京沪高铁、哈大高铁建设中得到应用，主要应用单位： 中铁四局、中铁 12 局、中铁 2 局、中交 1 公局。 授权专利： 轨道板蒸汽养护自动温控系统 201020520927.5 活性粉末混凝土盖板蒸汽养护温控系统 20102 0520926.0 蒸汽养护自动化温控系统 201120469658.9

江南大学 2021-04-13