本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，通过其获得具有稳定温度的浸液，以用于浸没式光刻工艺中，其特征在于，该温控系统包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路，温控后的浸液通过该浸液管路出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及热交换器（6），所述浸液管路和工艺冷却液回路同时流经该热交换（6），利用该热交换器（6）完成工艺冷却液和浸液的热交换，获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置采用内部回流结构与热交换器

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。 

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出；用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部回流结构与多级热交换器相结合，

本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温

中央空调 VRV 温控器，除具有节能效率高、环境热污染低、便于维护管理 等优点外，最大优势在于大量节省铜材资源和综合布线的人力资源。传统、常 规中央空调温控器对外连接线 9 根（AC-L、AC-N、高速驱动 H、中速驱动 M、 低速驱动 L、阀开 On、阀关 Off，共 7 根交流 AC220V 电源及控制线，2 根 DC 37 通信线），该专利产品仅为 2 线制 DC5V 的直流载波通信、供电模式，由于操 控面板上没有 AC220，所以也具备较高的用电安全性和防止不法用户的偷电行 为。 我们研发的中央空调 VRV 智能网络温控器是目前国内外性价比最高的一款 产品，采用该发明专利技术，成本降低 6 倍，功能优于国内外系列的 10 倍，且 工程项目安装方便，可节省大量人力、物力、线材的费用。

可消除机床加工热变形的影响、控制机床主要发热部件的温升、提高加工精度、延长机床使用寿命；也可用于通信基站及新能源基站精密设备的冷却，进行独立控温，具有很强的节能意义。我团队研发的高精度工业装备智能温控系统使用“温差热电堆”测量技术，利用油温反向控制压缩机电源频率，通过变频技术提高控温精度，温控精度可达 0.05oC，节能在 20%左右。研制了多回路的制冷系统，通过神经网络设计理念，通过嵌入式控制系统的设计，对不同回路的热量进行耦合控制。目前已实现系列化生产，无故障运行时间 10000 小时以上。

以人性化自助服务为设计理念，面向高校师生提供7X24小时服务，以在线业务系统为支撑具有多种登录认证机制、自助信息查询、自助打印成绩单及证明文件、校园卡或微信自助缴费、微信验证信息真伪、短信智能预警、终端远程管理、参数动态设置等功能，可实现多校区、多部门自助服务一体化管理，推动学校治理理念转变，使学校更多地从"管理"师生向”服务"师生转变，改善工作作风和治理方法，提高学校管理效益和社会效益。 ■线下智能服务终端自助打印输出能力一赋能一取材料场景 ●应用一：成绩单/证明文件材料自助打印 自助打印终端集查询、缴费、打印功能于一体，提供“一站式”服务，可为高校师生提供成绩单、在读证明、学籍证明等各种证明文件的“7*24小时不打烊”自助打印，不受时间、空间限制，提升学校校务管理行政效能。 ●应用二：固定资产标签自助打印 系统对接学校现有资产管理系统，为师生提供稳定、可靠、便捷、7*24小时的固定(无形)资产和低值耐用品等资产的入账单、资产标、申请单、签自助打印服务;资产标签含有唯一二维码，可以通过扫码查看设备基本信息，方便入库。 ●应用三：证件一体化自助办理 系统对接人事系统，实现按照学校、学院(系)、专业、学生等(公司、部门、个人)配置证件卡模板;模板能够实现卡面的不同以及字段位置的不同，卡面上字段能够从系统直接带出，师生(员工)直接能够在自助服务终端免费(付款)打印证件卡。 ■线下智能服务终端自助打印输出能力一赋能一交材料场景 ●应用一：智慧财务报账 智慧财务报账终端告别手动报账的繁琐与不便，开启“人机协作，智慧报账”的全新报账模式。实现智能设备与业务系统深度融合，改变传统报账交单方式，克服时间和空间上的局限性，向广大师生提供全方位、全天候的财务服务，方便快捷，实现报账管理的信息化、智能化。 ●应用二：学生证自助补办 学生证自助补办终端为提供便捷、高效的补办服务。通过身份验证、费用支付、学生证打印、学生证回收盖章、学生证领取等功能，学生可快速完成补办申请。操作简单、安全可靠，支持24小时使用，适用于学生证遗失、损坏或信息变更等场景，极大提升了补办效率，节省排队时间。 ■线下智能服务终端自助打印输出能力一赋能一强身份认证场景 学籍电子注册身份验证基于图像或视频输入进行检测，与注册库比对，实现1:N的人脸比对，或与证件比对，实现1:1的人脸比对。适用于人脸登录、VIP人脸识别、人脸通关等无需刷卡验证的场景。 ■线下智能服务终端自助打印输出能力一赋能一咨询问答场景 学校管理员可通过“问答知识库FAQ管理”，整理录入师生办事过程遇到的常见问题，师生可直接在自助服务终端上通过语音进行咨询问答的服务;师生在操作过程中，系统自动通过语音方式提醒用户操作每一个步骤，完成操作后，可通过语音方式提醒学生注销退出系统、取卡等事项。  

通过在学校本地部署集成密码支撑平台，统筹规划建设学校一体化密码应用支撑平台，对学校各业务系统提供标准的、统一的接口服务，通过接口集成，实现密码技术在学校各类业务的应用，实现“一次建设，全校通用”，摒除分块化建设的数据不同步，内容不互任，接口不统一，设备无法共享、兼容、复用等的弊端。同时，通过建设统一化、功能完备化、资源整合化、资金利用最大化、管理集中化、扩展灵活化的可信校园一体化密码应用支撑平台，落实学校密码服务基础设施，实现密码算法在学校重要信息系统中的应用。 ▶专用密码设备及数字证书 ▶支持多通道CA数字证书 采用国密算法和国际加密算法相结合的双重数字签名，保证文件的可信度和不可篡改性，与纸质成绩单相比，具有简单、安全、便捷的特点。

本系统适用于高铁轨道板、轨枕、RPC 盖板、管桩和其它混凝土构件生产蒸汽养护过程的自动化控制，系统由工控计算机、温度控制器、温度传感器、电动调节阀组成，为一个高性能的蒸汽养护监控系统，使用者可根据各自的需求方便地设定工艺曲线，该系统能单独或同时对几十个养护房进行温度检测和控制，软件采用计算机汉字图形菜单形式，有实时温度超差报警等功能，系统功能完备、可靠性高，应用前景广阔。 创新要点： 采用智能温控仪和计算机组建分布式监控系统，系统稳定性好，并能满足远程监控的需要。 效益分析： 广泛用于铁路建设、混凝土构件、新型建材等领域，市场前景广阔。 推广情况： 已在武广高铁、京沪高铁、哈大高铁建设中得到应用，主要应用单位：中铁四局、中铁 12 局、中铁 2 局、中交 1 公局。 授权专利： 轨道板蒸汽养护自动温控系统 201020520927.5 活性粉末混凝土盖板蒸汽养护温控系统 20102 0520926.0 蒸汽养护自动化温控系统 201120469658.9

产品详细介绍  德国Huber：各种水浴、油浴恒温控温系统   Huber已有40多年生产冷冻设备的经验，主要生产经济型Polystat 系列、程控全自动冷循环油浴CC系列、大功率Tango和Unistat tango 系列、智能型冷却循环制冷器系列、啤酒专用水浴、矫正水浴、浸入 式制冷器等。     Huber的大功率tango和Unistat tango以其技术的独特创新，广泛 应用于制药、化工、石化行业的反应釜、全自动合成仪、萃取及冷藏 装置的控温，因此被人们誉为“Tango factory”。Tango已成为控温技 术的市场领导者。