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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
消振式振动深松机
本实用新型涉及耕整底土用机械,尤其是一种消振式振动深松机。包括机架和入土铲,其中,还包括随机浮动机构、动力逆转机构和角度调整机构,随机浮动机构、动力逆转机构和角度调整机构均设置在机架上,入土铲与随机浮动机构连接;所述机架包括水平设置的上横梁和下横梁,上横梁位于下横梁的正上方,所述角度调整机构包括调整轴和调整盘,调整轴的两端分别与机架铰接,调整轴沿平行于下横梁设置,调整盘固定在机架的一侧,调整盘呈弧形,调整盘上间隔设置数个调整孔,调整轴靠近调整盘的一端固定有调整板,调整板与调整孔之间通过螺栓固定连接。其结构简单,机械性能稳定,可调整入土角度,并且保证了入土角度一致性,松土效果好。
青岛农业大学 2021-04-13
深、浅感觉传导XM-654A
XM-654A深、浅感觉传导   XM-654A深、浅感觉传导显示深、浅管感觉及传导。 尺寸:放大,30×30×48cm 材质:塑料
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
XM-654A深、浅感觉传导
XM-654A深、浅感觉传导   XM-654A深、浅感觉传导显示深、浅管感觉及传导。 尺寸:放大,30×30×48cm 材质:塑料
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
无公害快速碳氮共渗
本研究成果从热力学分析入手,了解多种材料在高温下分解情况,对多种渗剂的共渗活性进行试验比较,确定了一种新的渗剂及有关工艺参数。本新工艺渗速快(在相同条件下比煤油加氨气快1/3);组织状态好(基本上不产生黑色组织)产品变形小、无公害、操作简便,适用于井式炉、转炉、多用炉等常规设备;渗剂成本低与煤油氨气法相当。
西安交通大学 2021-01-12
高压共轨喷油技术(技术)
成果简介:北京理工大学在高压共轨喷油技术方面注重创新,立足研制具有独立自主知识产权的产品,其中喷油器就有五项发明专利,高压油泵有1项发明专利,3项实用新型专利。与兰州信德液压气动公司联合开发成功了三种高压油泵,与北京嘉顺磨具公司联合开发成功了电液比例控制进油节流调压阀。已开发成功三种高压油泵其中一种的技术参数:最高工作压力:160MPa;理论排量:1.1mL/r;容积效率:87%>>78%的BOSCH的同类泵(CP3.3);已经过1000小时的寿命考核试验;已在北京公交车上替代BOSC
北京理工大学 2021-04-14
共注成型过程数值模拟系统
研究内容 :本研究根据共注成型过程的特点,首次在综合考虑粘性包 围和界面不稳定及其相互作用影响基础上, 建立了多因素相互作用的全三 维非稳态非等温共注成型充模流动的理论模型及其相适应的稳定快速收 敛的数值算法。该算法采用罚函数法,以及速度场分析、温度场分析和流 体体积分数分析相分离等方法来降低对计算机的 CPU 和存储能力的需求。 而通过 SUPG 法、罚函数法等实现有限元数值分析的稳定性。并基于罚函
南昌大学 2021-04-14
电控柴油共轨实训台
产品详细介绍组成结构:电喷汽油发动机成、发动机控制单元、组合仪表、蓄电池、电源开关、燃油箱、手动油门装置、诊断座、燃油压力表、真空压力表、智能化故障设置和考核系统、移动机架等。功能特点:1.真实可运行的电喷汽油发动机,充分展示电喷汽油发动机的组成结构和工作过程。2.实训台面板上绘有彩色喷绘电路图,学员可直观对照电路图和发动机实物,认识和分析控制系统的工作原理。3.实训台面板上安装有检测端子,可直接在面板上检测各传感器、执行器、发动机控制单元管脚的电信号,如电阻、电压、电流、频率、波形信号等。4.实训台面板上安装有汽车仪表、燃油压力表、真空压力表,可实时显示发动机转速、喷油压力、进气歧管压力等参数变化。5.实训台安装有诊断座,可连接专用或通用型汽车解码器,对发动机电控系统进行读取故障码、清除故障码、读取数据流等发动机自诊断功能。6.配有智能化故障设置和考核系统。
济南嘉润教学设备有限公司 2021-08-23
高性能防腐耐磨非晶粉末与热喷涂非晶涂层
非晶合金(又称金属玻璃)是一种结构/功能一体化新型金属材料,被誉为继钢铁、塑料之后的第三次材料工业革命性材料。非晶合金因其特殊的原子结构(长程无序)而拥有一系列独特的性能,如非晶合金是地球上最强和最耐腐蚀的金属材料;非晶合金具有高耐磨性能以及优异催化降解性能等。非晶合金及其衍生产品(粉末、涂层、催化剂)在海洋工业、石油化工、3D打印、水处理等行业具有非常广泛的应用前景。利用所团队研发的非晶合金粉末,可通过堆焊、激光、热喷涂等技术制备不同高性能非晶涂层,能赋予零部件防腐蚀、耐磨损、抗疲劳、抗冲击、防腐蚀等优异性能,极大延长使用寿命。
华中科技大学 2021-04-10
纳米石材微晶玉石
纳米石材微晶玉石微晶玉石又称微晶玻璃、晶化石、玉晶石。它是以传统原材料为基础,加入特殊化工原料,经熔窑熔制、水淬、晶化窑烧结、磨抛切割,而形成的一种高档人造纳米级石材。微晶玉石是一种新型绿色环保材料。它具有板面平整洁净、色调均匀一致、纹理清晰雅致、光泽柔和晶莹、色彩绚丽璀璨、不吸水防污染、耐酸碱抗风化、绿色环保、无放射性毒害等优良特质。01 玉石型微晶玻璃02 花岗岩型微晶玻璃板03 大理石型微晶玻璃板04 玉石型微晶玻璃板05 玉石工艺屏风06 玉石棋盘07 防腐耐磨板08 泡沫微晶玻璃09 微晶玻璃阀门、管道10 家庭装饰用玉石板材特点不含有对人体有害的有机物。原材料来源广泛,成本低廉。可加工切削,用于装饰材料、礼品定制、管路及构件等应用。具有广阔的市场前景和巨大的经济效益和社会效益。
清华大学 2021-04-13
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