|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
超精密温度控制装置
针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项
电子科技大学
2021-04-14
一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度 调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装 置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水 温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分 和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置 于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控 制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度 传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时 对冷却水
华中科技大学
2021-01-12
一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时对冷却水流量伺服阀的驱动
华中科技大学
2021-04-14
一种科研温室温度控制装置
本实用新型涉及一种科研温室温度控制装置，包括压缩机，与该压缩机连接的鼓风装置以及设置在鼓风装置开口处的热转换器，压缩机内设有温度控制系统，热转换器的出口处设有出风口，该出风口与出风装置连接，出风装置为设置在温室上方两侧的多个排气管，在该排气管上设有若干排气孔，排气孔交错地设置在排气管上。该科研温室温度控制装置排出的气流非常均匀，使得温室内全方位的温度控制在一个稳定的范围内，而且温度控制系统设有对应的控制单元，温度调节单元以及控制无刷电机转速的电机控制单元，实现了温室内风量调节、温度调节以及温度检测的一体化，温室内温度实现了完全智能化的控制，方便、快捷。
浙江大学
2021-04-13
远程在线高精度温度控制系统和成套装置
远程在线高精度温度控制系统利用测控软件LabVIEW编写控制算法和远程监控程序，可对多达30段的温度设定曲线进行操作，并可根据用户要求固化若干条固定曲线。系统采用神经网络PID调节方式，具有自整定、自学习功能、超调小、稳定度好等优点，控温精度在0.1%以内。系统采用LabVIEW编写远程控制程序，基于TCP/IP协议建立服务器端和客户端，通过与PLC通讯，实现远程在线监控功能。用户可以通过客户端对远端的服务器进行在线控制，可对现场电流电压、实时温度进行检控，历史记录调用处理，并且可以对现场设备进行在线远程启动、停止、复位、紧急停车等操作。系统通过LabVIEW建立良好界面，被测温度和设定温度等参数均为数字加曲线实时动态显示，界面简洁直观，操作简单方便，安全可靠。本团队研究开发的远程在线控制系统和成套装置目前处于产业化前期阶段。
南京工业大学
2021-04-13
精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温
华中科技大学
2021-04-14
吹瓶机微机温度控制系统
.项目简介： 吹瓶机是一种常用的塑料机械产品。它的用途是将颗粒状塑料通过八个温区的加热软化后吹制出各种塑料产品。 在这个生产过程中，加热温度是影响产品质量的关键因素，一般的仪表控制效果很差，温度波动可高达数十度，产品质量难以保证。 微机温度控制系统采用LCD中文显示、高精度温度测量、可控硅调压控温、先进的控制算法，因此控制效果好，静差小于0.5度。
武汉工程大学
2021-04-11
一种层流冷却温度控制方法
本发明公开了一种层流冷却温度控制方法，具体为：首先，通过建立子目标温度模型，并结合 GPC-PID 方法，获得子目标 PID 控制器参数，包括比例系数 kP，积分系数 kI 和微分系数 kD，从而完成子目标 PID 控制器的确定；然后，通过确定的子目标 PID 控制器对层流冷却温度进行控制。本发明通过建立子目标温度模型将钢板层流冷却全过程温度的控制，转化为多段曲线拟合的形式，分段进行控制。基于本发明对钢板层流冷却温度
华中科技大学
2021-04-14
一种多输入温度控制器
本发明公开了一种多输入温度控制器。其包括主控模块、通道 切换模块、采集模块和温度输出模块；主控模块分别连接通道切换模块、采集模块和温度输出模块，通道切换模块连接采集模块；通道切 换模块包括多个输入通道，每个输入通道用于连接温度采集器件；通 道切换模块用于在主控模块的控制下逐一选通预定的输入通道；采集 模块用于采集由选通的输入通道输入的模拟信号，并对其进行滤波和 模数转换，得到数字信号；主控模块用于将数字信号代入预定的控制 算法进行计算，得到 PWM 波；温度输出模块用于将 PWM 波转换成 脉冲信号，以驱动加热器件完成加热。本发明能适应多种输入方式， 从而扩大了温度控制器的温度采集范围，能够适用于多种应用场合。
华中科技大学
2021-04-11
一种多输入温度控制器
本发明公开了一种多输入温度控制器。其包括主控模块、通道切换模块、采集模块和温度输出模块；主控模块分别连接通道切换模块、采集模块和温度输出模块，通道切换模块连接采集模块；通道切换模块包括多个输入通道，每个输入通道用于连接温度采集器件；通道切换模块用于在主控模块的控制下逐一选通预定的输入通道；采集模块用于采集由选通的输入通道输入的模拟信号，并对其进行滤波和模数转换，得到数字信号；主控模块用于将数字信号代入预定的控制算法进行计算，得到 PWM 波；温度输出模块用于将 PWM 波转换成脉冲信号，以驱动加热器
华中科技大学
2021-04-14