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一种纳米结构三维形貌测量方法及装置
本发明公开了一种纳米结构三维形貌测量方法及其装置,可以同时测量纳米结构线宽、深度、侧墙角、线缘粗糙度、线宽粗糙度等三维形貌参数的方法及装置。本发明方法步骤如下:将波长为紫外到近红外波段的光束经分光、起偏、前后相位补偿得到的椭圆偏振光投射到待测;采集待测结构表面反射零级衍射信号,计算得到纳米结构测量穆勒矩阵;将测量穆勒矩阵与理论穆勒矩阵进行匹配,提取得到待测纳米尺寸结构的三维形貌参数值。本发明所提供的纳米结构三维形貌参数测量装置,能为基于图形转移的批量制造方法如光刻和纳米压印等工艺中所涉及的一维和二维
华中科技大学 2021-04-14
智能同轴一维钢筋混凝土构件的介电常数测量设备
一种智能同轴一维钢筋混凝土构件的介电常数测量设备。介电常数测量设备与被测智能同轴一维钢筋混凝土构件的内、外导体共同完成测量。智能同轴一维钢筋混凝土构件内的钢筋为同轴电缆结构,有外导体和内导体,外导体与内导体均由若干箍筋、纵筋组合而成。介电常数测量设备由控制服务器、微处理器、信号源、功分器组、反向信号隔离器、定向耦合器、程控衰减器组、信号解析器组和测量连接端口组成,控制服务器连接通信接口,通过通信接口与微处理器进行通信。本介电常数测量设备在不改变混凝土构件结构基础上,使混凝土材料自身成为一种智能传感材料。实时监测混凝土介电常数的变化,从而监测混凝土各阶段的健康状况,操作简单、可靠。
四川大学 2017-12-28
光散射法颗粒两相流在线测量仪器研发
上海理工大学 2021-01-12
汽轮发电机组轴系找正测量仪
成果概况 汽轮发电机组轴系找正测量仪是专为汽轮发电机组在安装、检修调试过程中测量对轮的 张口误差和偏心误差而研制。也可以用于大型多轴段设备(如大型风机、水泵、建材炉窑等 机械)的找正误差测量。 该测量仪主要由专用传感器 D、专用传感器 L、采样控制器和数据处理器等组成。整套 仪器安装在被测对轮上随机组轴系一起转动。测量时,由采样控制器发出采样指令,传感器 在预定的位置进行对轮对中误差信息采集,处理器对采集的误差数据进行分析、处理和计算, 并在 LCD 显示器显示出检修现场习惯采用的水平端面误差、垂直端面误差、水平圆周误差和 垂直圆周误差值。 该测量仪已通过了省部级技术鉴定。鉴定结论为:该成果是对大型旋转设备特别是汽 轮发电机组轴系中心找正技术的一个革新,填补了国内空白,居国内领先水平;在数据处理 方法,采样位置控制,实用性等方面达到国际先进水平。 该产品已经在 125MW、200MW、300MW、330MW 等多台进口、国产机组上推广使用。实践 表明:该测量仪工作可靠,测量重复精度高,适用于目前国内各种型号机组“狭小”测量空 间的需求。 技术参数 量 程:0~10mm; 精 度:0.01mm; 采样点数:4×3; 显示方式:LED 数显; 通信方式: RS232 数据存贮:最新 50 次测量数据 显示内容:①上下、左右张口误差②上下、左右圆周误差③机组号、对轮号④日期、时间 市场前景 该项目成果主要用于汽轮发电机组,大型多轴段设备如大型风机、水泵、建材炉窑机械 等在安装和检修过程中同轴度误差的测量。以火力发电机组为例,据了解,全国火力发电厂 有数百上千家,以 300MW 发电机组因使用该测量仪器缩短检修工期 1~2 天计算,可多发电 720~1440 万度。因此,该项目产品的社会经济效益巨大,市场前景广阔。 该项目成果产品视不同配置制造成本为 1~2.5 万元,市场参考价为 10~15 万元。按年 销售 100 台估计,可创利税 1000 余万元。
南京工程学院 2021-04-13
基于单边虚拟电感的电容耦合式非接触电导测量装置
本实用新型公开了一种基于单边虚拟电感的电容耦合式非接触电导测量装置,由交流激励源、激励电极、绝缘测量管道、检测电极、单边虚拟电感、电流电压转换电路、信号处理模块依次相连。单边虚拟电感输出端通过电流电压转换电路中的运放虚地。本实用新型利用单边虚拟电感代替实际电感,利用串联谐振原理,用单边虚拟电感的感抗消除传感器中耦合电容的容抗对测量的不利影响。相较浮置虚拟电感,单边虚拟电感虚地,结构紧凑,稳定性高;相较实际电感,单边虚拟电感体积小易集成,电感值可调,降低了对激励源的要求。本实用新型通过测量检测通路的输出电流,经计算得到待测流体等效电导值,为实现非接触测量绝缘管道内部导电流体的电导提供了一种有效方法。
浙江大学 2021-04-13
一种基于近景摄影测量技术的半孔率统计方法
本发明公开了一种基于近景摄影测量技术的半孔率统计方法,采用近景摄影技术对爆后台阶预裂面 和光爆面进行快速非接触测量,获取预裂面和光爆面空间三维信息,建立台阶面三维 DEM 模型。通过 影像识别技术,划分预裂孔和光爆孔的孔痕,并根据孔痕在预裂面和光爆面上的不平整度来划分每一个 炮孔半孔的长度。统计所有炮孔的半孔信息,计算得出评价此次爆破效果的半孔率。优点是:本发明可 以极大地提高半孔率的统计精度,减小统计误差,降低作业成本;采用数字近景摄影测量技术,可以获 取更加完整的预裂面和光爆面信息,有利于爆区信息的存储,同时也可以提高预裂和光爆效果评价的可 靠度
武汉大学 2021-04-13
一种核电站安全壳内衬钢板缺陷测量装置
本实用新型提供核电站安全壳内衬钢板缺陷测量装置,其特征在于:包括支架、导轨、滑块、中心 控制单元、位移传感器和测距仪,导轨安装在支架上,滑块卡在导轨上,位移传感器和测距仪设置在滑 块上,位移传感器和测距仪分别连接中心控制单元。本实用新型提出的核电站安全壳内衬钢板缺陷测量 装置,在体积和重量上比原有的工具减轻了很多,而且使用所得测量结果精度高,数据量丰富,操作简 单,数据录入迅速,结果直观,有效提高了测量的效率以及精度。 
武汉大学 2021-04-13
共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置和方法
本发明属于白光干涉测厚领域,并公开了共焦白光偏振干涉的 多层透明介质厚度测量装置和方法。包括被测物、第三透镜、第二透 镜、第二小孔构成共焦结构,平行白光经第二棱镜后,一束作为测量 光束经第三透镜汇聚到被测表面,另一束作为参考光束经过多次反射 后与从被测表面反射回来的测量光束发生干涉,在第二棱镜和第二透 镜之间设置提高干涉条纹的对比度的可旋转偏振片,实现在第一图像 传感器上形成高对比度干涉条纹。本发明还公开了利用上述装置进行 测量的方法。
华中科技大学 2021-04-14
一种基于四元数理论的立体视觉测量系统
本发明提出了一种基于四元数理论的立体视觉测量系统,包括:输入层1、输入层2、计算模块和输出层,在输入层1中,获得实时视频流;在输入层2中,使用图像语义分割技术分离背景,评估视场内各个物体的清晰程度,选择其中清晰度最高的物体作为显现目标,输入到计算模块;在计算模块中,采用了五种具体技术对低频微振动进行滤除、提取自身时变姿态和基于四元数理论进行相邻帧之间的平滑处理,能够有效地提升动态视觉测量与检测的输出鲁棒性与准确性,优化视频流;最后,输出层将画面连接在人机交互显示屏,显示优化后的测量数据与重建视频流信息,不仅在视觉质量上得到提升,还能在动态物体跟踪、姿态估计等应用中提供更准确的实时反馈。
南京工业大学 2021-01-12
一种基于Tikhonov正则化的亚像素位移测量方法
本发明公开了一种基于Tikhonov正则化的亚像素位移测量方法。在数字图像相关法中,计算散斑图的亚像素位移时需要获得散斑图的灰度梯度,传统的计算方法是通过有限差分法对散斑图的灰度求导; 然而数值求导具有很强的不稳定性,对图像噪声十分敏感,微小的测量误差将导致计算所得灰度梯度严重偏离真实灰度梯度。针对这一问题,本文提出了一种基于Tikhonov正则化的亚像素位移测量方法,利用光滑三次样条函数拟合散斑图的灰度,三次样条的导数即为散斑图的灰度梯度,进而利用亚像素位移测量方法获得结构的亚像素位移,克服了传统测量方法抗噪声能力差的问题,可以有效提高测量精度。
东南大学 2021-04-11
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