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晶圆级二维半导体单晶薄膜外延生长的研究
主流硅基芯片CMOS(互补金属氧化物半导体)技术正面临短沟道效应等物理规律和制造成本的限制,需要开发基于新材料和新原理的晶体管技术来延续摩尔定律。高迁移率二维半导体因其超薄的平面结构和独特的电子学性质,有望成为“后摩尔时代”高性能电子器件和数字集成电路的理想沟道材料,进一步缩小晶体管的尺寸和提高其性能。为满足集成电路加工工艺和器件成品率对沟道材料的苛刻要求,二维半导体单晶薄膜的大面积制备尤为关键与重要。然而,现有二维半导体材料体系(过渡金属硫族化合物、黑磷等)薄膜制备仍未满足现实要求,因此亟需实现晶圆级二维半导体单晶薄膜制备技术的突破。 该研究瞄准二维半导体材料的晶圆级单晶制备,率先实现了同时具有高电子迁移率、合适带隙、环境稳定的二维半导体(硒氧化铋,Bi2O2Se)单晶晶圆的外延生长。他们基于自主设计搭建的双温区化学气相沉积系统,在商用的钙钛矿单晶基底【SrTiO3,LaAlO3,或(La, Sr)(Al,Ta)O3】上,利用Bi2O2Se与钙钛矿完美的晶格匹配性及较强的界面相互作用,促使Bi2O2Se晶核同一取向外延并融合生成晶圆级单晶薄膜。Bi2O2Se单晶薄膜在晶圆尺寸上表现出优异的材料和电学均匀性,可被用于批量构筑高性能场效应晶体管。基于晶圆级二维Bi2O2Se单晶薄膜的标准顶栅型场效应晶体管展现了高的室温表观迁移率(>150 cm2/V s)、大的电流开关比(>105)和较高的开态电流(45μA/μm)。相关成果发表在Nano Letters (Wafer-Scale Growth of Single-Crystal 2D Semiconductor on Perovskite Oxides for High-Performance Transistors. Nano Lett. 2019, 19, 2148)。
北京大学 2021-04-11
关于非铅钙钛矿太阳能电池的研究
首次制备出了基于非铅双钙钛矿Cs2AgBiBr6的高质量薄膜及其太阳能电池。对于传统的铅基钙钛矿材料,其结构为APbX3, 如果用一个一价金属和三价金属来代替两个铅,即可形成结构式为A2M+M3+X6的双钙钛矿,又名冰晶石。双钙钛矿是一个非常庞大的家族,理论计算可以形成这种组合的有超过9000种,目前有350种已经被合成。根据计算,有11材料有潜力用于光伏器件。目前已经被合成的有5种左右,但是鲜有双钙钛矿电池报到。其主要原因在于很难制备高质量的双钙钛矿薄膜。通过自己搭建的低压辅助设备首次制备出了高质量的双钙钛矿Cs2AgBiBr6薄膜,研究发现,该薄膜的热稳定性远远好于传统的铅基有机-无机杂化钙钛矿材料。将其用做吸光层,制备出了平面异质结太阳能电池。基于该薄膜的电池在空气中有很好的稳定性,对于无空穴传输层的器件在空气中放置超过4个月其效率没有衰减。说明双钙钛矿在太阳能电池的应用中有非常大的潜力。相关成果发表在《Advanced Science》 (The Dawn of Lead-Free Perovskite Solar Cell: Highly Stable Double Perovskite Cs2AgBiBr6 Film, Adv. Sci. 2018, 5(3), 1700759)。
北京大学 2021-04-11
一种锡锌无铅钎料合金及其制备工艺
研究背景 :本发明属有色金属材料,涉及的是一种电子器件用的锡锌 无铅钎料合金及其制备工艺。随着电子电子产品生产和应用规模的扩大, 更新换代的加速及环保意识的增强, 大量废弃电子产品中铅对环境及人体 潜在危害引起国际社会高度关注, 开发无铅钎料以取代现行锡铅钎料势在 必行。 技术原理 :通过添加适当微量组元这样的简便方法改善锡 -锌合金对 铜的润湿性, 使之达到可工业应用水平,
南昌大学 2021-04-14
铋冶炼矿渣合成三盐基硫酸铅的研究
研究背景 :由于我国有许多矿物资源的开发生产过程中会产生大量的 含铅废渣,如不能实现资源的综合利用,不但会给环境带来巨大的污染, 而且浪费了自然资源,造成经济损失。因此,目前多采用湿法冶炼取代高 温火法冶炼回收废铅,在低温、常压下以铜烟灰、铅泥、酸浸渣、炼锌废 渣和炼铋废渣等废渣为原料制取铅盐系列产品。 这样既不但可以综合利用 资源,回收其它有价金属,而且具有良好的经济、社会和环境效益,从根 本上解决环
南昌大学 2021-04-14
一种磁测探头及一种便携式铯原子激光光泵磁力仪
本实用新型公开了一种磁测探头及一种便携式铯原子激光光泵磁力仪,其中磁测探头包括VCSEL单模激光器(4)、准直镜(5)、圆偏振器(6)、铯原子气室(7)、加热线圈(8)、射频线圈(9)和光电探测器(10);便携式铯原子激光光泵磁力仪是一种利用激光光抽运技术与铯原子磁光共振相结合,精确测量磁场的磁力仪,包括了一个由单模激光器作为泵浦光源的磁测探头、一个中继控制器,使用PC电脑从中继控制器读取即时测量数据。本实用新型测量系统可以实时准确测得同一位置的磁感应强度。
浙江大学 2021-04-13
大尺寸宽禁带半导体氮化镓单晶衬底产业化技术
在大尺寸宽禁带/半导体单晶衬底外延设备、材料生长等方面做出了突出的工作。2001年始,研制出国内第一台用于氮化镓(GaN)衬底的卤化物气相外延(HVPE)系统,研究发展了获得高质量GaN衬底所需的所有关键技术并拥有自主知识产权,在氮化镓单晶衬底设备和材料技术领域已获授权国家发明专利30余项、申请国家发明专利30余项。在国内最早研制出2英寸毫米级GaN单晶衬底,建成6英寸HVPE系统并实现7片2吋及4-6吋GaN均匀生长;研究出创新性的GaN衬底批量制备技术,即将进行高质量、低成本GaN衬底的产业化应用,为第三代半导体应用奠定了材料基础。
南京大学 2021-05-10
英寸级单晶金刚石衬底及其关键设备的产业化
金刚石半导体集热、电、声、机械等特性于一体,在禁带宽度、击穿场强、迁移率和热导率等方面远高于其他半导体,被称为“终极半导体”。英寸级单晶金刚石衬底及其关键设备的产业化,可以极大地推进我国半导体的革命性变革,实现我国微电子行业的跨越式发展,达到国际先进水平。本项目在国家“千人计划特聘专家”王宏兴的推动下,已经完成了两种微波等离子体CVD设备的设计和制造,利用这些设备已经完成了英寸级单晶金刚石衬底的工程样品,实现了克隆衬底工艺的全线贯通,具有小批量产业化能力。按照日本相关公司的预测,随着金刚石半导体的发展,在2030年,中国的市场规模达到100亿美元。由于金刚石生产中的主要成本是甲烷、氢气和消耗电力的费用,成本较低,经济效益显著。 金刚石半导体特性 关键设备-MPCVD 克隆技术 单晶金刚石衬底
西安交通大学 2021-04-11
分米量级尺寸的六方氮化硼二维单晶的制备
团队与合作者首次报道了米级单晶Cu(111)衬底的制备方法,并在此基础上实现了米级单晶石墨烯的外延生长(Science. Bulletin 2017, 62, 1074)。与石墨烯不同,六方氮化硼等其它绝大多数二维材料不具有中心反演对称性,其外延生长普遍存在孪晶晶界问题:旋转180°时晶格方向发生改变,外延生长时不可避免地出现反向晶畴,而在拼接时形成缺陷晶界。 开发合适对称性的外延单晶衬底是解决这一科学难题的关键。研究团队探索出利用对称性破缺的衬底外延非中心反演对称二维单晶薄膜的新方
南方科技大学 2021-04-14
铌酸钾钠-锆钛酸铋钠系无铅压电陶瓷
本发明属于钙钛矿结构环境协调性压电陶瓷领域,特别涉及一种铌酸钾钠-锆钛酸铋钠系无铅压电陶瓷,该无铅压电陶瓷由通式(1-x)(KuNav)NbO3-xBi0.5Na0.5Zr1-yTiyO3表示,式中,0<x≤0.05, ?0≤y≤0.3,0.40≤u≤0.55,0.45≤v≤0.60,且u+?v=1。本发明提供的无铅压电陶瓷具有较高的压电性能,所用原料价格低廉,节约成本,有利于促进实用化进程,在工业生产中应用。
四川大学 2021-04-11
一种超宽温低损耗无铅多层陶瓷电容器
北京工业大学 2021-04-14
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