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硅通孔结构及其制造方法
本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法,包括以下步骤:将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米;去除硅片表面的所有绝缘层;在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜,以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂,绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反;在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜;在导电区表面覆盖金属电极;在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单,可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏,并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。
华中科技大学 2021-04-11
人眼安全激光测距技术
人样安全激光测距技术主要应用于大气层内的长距离高精度激光测距,其主要应用领域包括火控系统,激光雷达,目标跟踪,测高仪。
电子科技大学 2021-04-10
机载测深激光雷达系统
海岸滩涂及浅海地区海陆地形测量是海洋测绘的难点区域,小型化机载测深激光雷达作为该领域的高端装备,一直被美国、加拿大等国家垄断,进口价格昂贵,且长期对中国禁运。无人机载激光雷达可提高水域、海陆交界和陆地地表的联合探测能力,可同时实现高效、高精度测量水下及陆表目标区域三维地形。
山东科技大学 2021-04-22
多波长激光防护玻璃材料
自激光问世以来,各种激光器在军用武器与装备、民用等领域得到了广泛的发展和应用,激光致盲武器、防空激光武器、大型激光攻击武器、激光制导、激光测距仪、激光目标指示器、激光瞄准仪、激光雷达等各种激光武器和激光军用设备在现代高科技战争中,发挥着重要的作用。其中激光致盲武器是目前各种军事装备(如飞机、坦克、舰艇)和步兵已普遍实用的一类攻击型武器,由于激光的能量
南京工业大学 2021-01-12
激光柱面干涉仪
已有样品/n激光柱面干涉仪主要用于柱面光学零件面形误差的检测和柱面半径的精确测定, 它采用立式检测结构, 调试操作方便, 并装有干涉条纹显示系统, 是今后光学柱面镜加工与检测的必备测试仪器。
中国科学院大学 2021-01-12
非接触式激光测距系统
  距离的高精度实时测量在现代工业的各个领域中的应用越来越广,工件的表面轮廓目标物体的相对位置、形状描述等都离不开距离的高精度测量,非接触、小型化、数字化、智能化成为距离测量系统发展的趋势。随着数字信号处理器(DSP)功能越来越强,光电耦合器CCD的日益普及,使符合实际工业生产要求的非接触高精度在线距离测量系统的研制成为可能。    技术原理与工艺流程:    光学三角法检测技术。光学三角法的测量原理就是使发光元件所发出的光束照射在被测物体表面上并被反射,部分反射光成像在位置敏感元件表面上(如CCD,PSD等),通过检测光斑在敏感表面上的位置,由几何关系即可计算出被测物体的距离。这类位移测量仪的基本组成是激光器、物镜、光电接收器、信号处理及测量显示系统。    图像中心位置的识别算法。这是非接触测量技术中的关键技术,当激光照射在被测物体表面散射,经透镜会聚在cCD表面成像,所成像的模拟信号经过模拟数字转换器(AD)被转换为数字信号处理器可以处理的数字信号后,要经过图像中心位置识别算法的处理确定所成像的中心点位置,根据激光三角法原理,由所成像的中心点位置就可以求出相应的被测量物体的距离信息。    为了保证系统可靠性和提高测量精度,用查表与细分相结合的方法根据线性CCD上像点的位置确定目标物体的距离。    主要技术性能指标:    测量范围:50mm;    测量仪与被测物体距离:80mm;    测量精度:在全部测量范围内,不小于01mm;    分辨率:25微米;    测量频率:1KH    技术水平及用途:    在工业生产中有很多生产指标和工艺参数要实现测量和控制,非接触距离测量可以为生产的调度指挥和工艺参数的监测提供准确、可靠、快捷的信息,是一种应用范围很广和非常有潜力的测量技术。    应用行业:1.教育2制造业
河北工业大学 2021-04-13
激光表面改性修复技术
上海交通大学 2021-04-13
新型皮带秤——激光秤
1 成果简介激光皮带秤是一种全新概念的皮带秤。 皮带秤用于在线测量输送皮带上散装物料的重量,其应用范围广,应用数量大。就行业而言,皮带秤广泛应用于大量散装物料的加工、利用、储存、运输行业,诸如煤炭、冶金、电力、化工等大量物料加工、利用企业,以及码头、仓库、料场等等物料运输、存储企业。就应用目的而言,皮带秤可以用于生产管理、指导结算,组成各种自动控制系统等。在很多场合,皮带秤的应用都可以为企业带来巨大的经济效益。 现有皮带秤主要是电子秤和核子秤。它们往往存在测量准确度低或维护量大等缺点。随着各企业提高自身生产效率的需求日益迫切,对工艺控制和管理水平要求越来越高,相应的,希望有准确度更高、维护量更低的皮带秤。 激光秤针对电子秤和核子秤的缺点,把“重量测量”转化成“体积测量”和“密度测量”两个问题,利用激光扫描散装物料的体积,利用 Gamma 射线测量物料的密度,从而准确测量出物料重量。 激光秤项目经过多年的酝酿和研究, 2003 年开始样机投入现场试验。至 2006 年底,共有近十套产品投入煤炭行业现场使用。即使在环境恶劣、测量条件较差的煤炭行业,也得到了用户的认可。2 应用说明激光秤适用于测量粉料、块料、混和料等各种固态散装物料,非常适合在灰尘多、震动大、有腐蚀性、湿度大的工业环境条件下使用。 由于所采用的测量方案先进,又是非接触式测量,激光秤具有以下三个主要优点:准确度高,标定时好于 0.25%,实际测量准确度在 0.5~1.0%,取决于具体情况;稳定性好, 测量参数长期稳定, 无需频繁标定;安装方便、 故障率极低、 维护量极小;激光秤的适用范围很大:适用量程范围大( 0.01T/h~10000T/h),可以适用于变速皮带,可以适用于变长皮带,可以适用于超大流量。由于激光秤测量参数比较固定,所以其用作“公平秤”(中立测量设备)十分合适。3 效益分析根据 2003~2006 年应用情况,激光秤平均无故障时间超过一年,在安装、维护、软件功能各方面都日趋成熟,可以说激光秤已经具备了大规模推广的条件。 激光秤的效益取决于每个具体应用的实际情况。 目前一般电子秤和核子秤售价在 2~5 万元不等,高端电子秤售价可达 10 多万。激光秤售价相当于高端电子秤。
清华大学 2021-04-13
系列激光夜视仪(产品)
成果简介:主动红外夜视仪可以利用近红外半导体激光器作为照明光源,星 光级 CCD 作为图像探测器,配合高倍变焦光学系统,实现在夜间探测目标的 目的。针对军事和准军事以及民用的需求,研制系列的激光照明成像系统, 具有成本低、使用方便、空间分辨率高、昼夜适用、探测距离较远、能够在 一定程度上识别目标伪装等特点。 项目来源:自行开发 技术领域:光学(激光夜视) 应用范围:公安、武警和边防线监控等应用。
北京理工大学 2021-04-14
皮秒光纤激光器
该种类型激光器因其为光纤激光器,具有传统的固体激光器所没有的许多优点。它在激光微加工和微制造工业有很大的市场份额,在激光雷达、生物医疗、激光通信等等工业领域都有显著的市场。 1064nm 波长, 100mW 输出平均功率, 30ps 脉冲宽度,高度均匀和稳定的脉冲串。
扬州大学 2021-04-14
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