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半导体辅材用多晶硅中碳、氮杂质的分离去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起,硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材,其需求日趋增加。同时,基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极,然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染,导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂,严重影响了多晶硅电极的使用性能。 传统制备技术下,设备热场结构单一,熔体流动性差,导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出,难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质(P、 O、N);利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固,进而分离硅中的金属杂质;基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒,并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系;基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺,可应用于刻蚀等半导体制造等领域。 本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持,具有很好的生产示范性,实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗,是一种低成本、环境友好的生产方法,属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广,可大幅增加就业岗位,提高企业的市场竞争力,保护环境。
大连理工大学 2021-05-10
单畴超导块材Gd-Ba-Cu-O 的制备与其超导性能的研究
直径为25 mm的YBa2Cu3O7-δ(Y123)单畴超导块材在温度为77K时,捕捉磁场高达4 T;而在29 K时,捕捉磁场甚至达17 T,优越的性能促进了该类超导材料在电机、发电机、工业污水处理、医学核磁共振等方面的应用研究。 本课题以通过熔融织构方法生长高性能的单畴超导块材作为研究对象,选择合适的单相氧化物作为第二相生长GdBa2Cu3O7-δ超导块材。在制备的高质量系列样品的基础上,通过低温磁性测量分析临界电流密度随温度及掺杂量的变化曲线;分析微观结构,揭示第二相、缺陷等对超导性能影响的原因。以期找出提高超导块材性能的合理生长方法,对其微观机制给出尽量圆满的解释。这也为澄清与当前超导材料前沿课题紧密相关的一些基本问题的理解提供基础研究资料。 该项目已获国家自然基金项目立项支持。
上海电力大学 2021-04-29
一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法
本发明涉及金属材料加工技术领域,具体涉及一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法。包括以下步骤:将超高纯铝板材于50℃~300℃下热轧,道次压下量控制在40%~50%;将热轧后的超高纯铝板材在100~300℃温度下保温0~1小时;然后进行冷轧,道次压下量控制在40%~50%,通过对板材进行道次间空冷、水冷以及冰水冷却控制板材轧制过程的温升,抑制板材的
东南大学 2021-04-14
紧固件用 Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金棒材制备
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄罗斯牌号为 BT16,中国牌号为 TC16)钛合金是俄罗斯航空材料研究院首先开发的一种新型钛合金,该合金属于高强度钛合金,其塑性非常好,并且对缺口、偏斜等的应力集中敏感性较小,因此特别适应于冷镦法制造紧固件,如螺栓、螺钉、螺母和铆钉等,是俄罗斯航空和航天部门应用的主要标准件材料。 Ti-3Al-5Mo-4.5V钛合金特点是退火或淬火状态下具有较高的塑性,主要的产品是棒丝材。Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金制造紧固件的最大优点是可以在冷镦后或再进行
江苏大学 2021-04-14
紧固件用Ti-3Al-5Mo-4.5V钛合金棒材制备
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄罗斯牌号为BT16,中国牌号为TC16)钛合金是俄罗斯航空材料研究院首先开发的一种新型钛合金,该合金属于高强度钛合金,其塑性非常好,并且对缺口、偏斜等的应力集中敏感性较小,因此特别适应于冷镦法制造紧固件,如螺栓、螺钉、螺母和铆钉等,是俄罗斯航空和航天部门应用的主要标准件材料。Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金特点是退火或淬火状态下具有较高的塑性,主要的产品是棒丝材。 Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金制造紧固件的最大优点是可以在冷镦后或再进行
江苏大学 2021-04-14
一种用于内燃发电增程式电动车的整车能量管理控制器
本发明公开了一种用于内燃发电增程式电动车的整车能量管理控制器。本发明中的微控制器MCU利用自身功能端口,通过ICE负荷调整电路检测和控制内燃机ICE,通过ISG整流与逆变电路检测和控制起动发电一体机ISG工作;通过蓄电池SOC、驱动需求功率检测电路读取当前蓄电池充放电状态、驱动电机及其控制器放电状态;通过双向DC/DC电路调整增程器和蓄电池两端电压比,优化增程器内燃机运行工况;控制器电源调整电路为控制器中各模块提供所需工作电源。本发明可根据当前蓄电池的剩余电量水平和整车驱动需求功率起停增程器、调整增程器输出功率和运行工况、协调蓄电池充放电管理,在整车能量管理上实施最优控制。
浙江大学 2021-04-11
一种高强度抗静电增塑聚氯乙烯透明薄膜及其制备方法
本发明公开了一种高强度抗静电增塑聚氯乙烯透明薄膜及其制备方法,该透明薄膜综合性能优异,具有高力学强度、高弹性、高可见光透过率、低雾度、耐寒性好、耐水抽出、抗静电效果长期稳定等综合性能优异等特点,由于配方不使用PNBR等高成本的原料,配方相对简单、制备工艺简化,有效降低了该功能薄膜的制造成本。本发明的高强度抗静电增塑聚氯乙烯透明薄膜,其由以下质量配比的原料制成:聚氯乙烯树脂100份、抗静电剂增塑剂30~45份、非抗静非耐寒型增塑剂10~25份、耐寒增塑剂10~15份、离子液体聚合物2.0~3.5份、液体复合热稳定剂1.0~1.5份、加工助剂0.5~1.5份、润滑剂0.3~0.5份。
南京工业大学 2021-01-12
环境工程教学设备-挥发性有机物治理设备
一、装置概述 PUAA-Q型挥发性有机废气治理技术综合实验装置是根据高等教育的改革方向,顺应国家培养应用型高技能人才的战略思想,以前沿技术为导向,紧密结合挥发性有机废气实际处理工程的功能和特点,并针对高等院校对挥发性有机废气处理工艺应用和创新实验教学的实际需要而专门研制的综合性实验装置。本装置涉及放电等离子体技术、光解技术、吸收技术、吸附技术以及智能程控技术等多方面、深层次的内容。装置工艺流程简洁、美观,可视化程度高,具有处理效率高、彻底、无二次污染等优点,非常适合大专院校的相关专业开展实验、实训、设计、创新创业训练等。 二、主要参数及指标 (1)处理能力:能处理苯、甲苯、二甲苯等多种挥发性有机废气; (2)处理负荷:<2000mg/L; (3)处理气量:<500L/min; (4)处理效率:≥95%; (5)装置净重:300kg; (6)外形尺寸:2200mm×700mm×1800mm; (7)供电电压:AC220V、50Hz; (8)运行功率:<4kW; (9)操作条件:常温、常压; (10)安全保护:具有漏电压、漏电流保护装置,安全符合国家标准。 三、主要配置及性能 采用自主知识产权的双介质阻挡放电等离子体反应器,放电均匀、稳定,活性物种产率高。 高频高压电源采用两级控制,安全、可靠,输出频率和电压可调。 可视化的吸收池中安装全潜式UVC杀菌灯,能够直观观察光解过程;UVC杀菌灯配套专用整流器、高品质石英套管、防水接头,UV穿透率高,可在水中长时间工作。 多段蒸笼式撬装活性炭吸附塔,吸附效率高、活性炭更换方便,并配套活性炭再生设备,可延长活性炭使用寿命。 吸收液通过气液混合自吸泵输送,并采用自动和手动相结合的控制模式,灵活、方便。 废气发生器智能程控,有机废气浓度可在0~2000mg/L范围内调控。 采用电磁式增氧气泵作为载气泵,气量大、稳定、噪音低。 316L不锈钢材质的臭氧热解器中填装有高效的臭氧淬灭催化剂,可将尾气中的臭氧快速转化为氧气,并通过智能程控调节尾气净化器的温控设备,运行成本低。 水温、水位、气压等变送器0.2%精度、稳定性能±0.1%FS、输出信号4-20mA,精度高、性能稳定、可连接PLC控制器,不锈钢材质变送器探头耐磨、耐冲击、抗干扰强。 三菱FX3U系列PLC主机和模拟量输入输出模块完成设备运行控制,10英寸彩色触摸式液晶显示屏实时显示控制按键、装置运行状态及时间、水温、水位、气压、电流等重要参数。 所有设备模块化安装于304不锈钢材质的柜体中,柜体前后开设有视窗,顶部安装有可调速换气扇,底部配有禁锢万向脚轮。
科利尔(青岛)环境技术有限公司 2023-03-03
适用于下一代远距离激光雷达的微型化窄线宽激光器
单频窄线宽激光的产生,主要依靠谐振腔的腔长。谐振腔腔长越长,所产生激光线宽越窄。但是由于半导体激光器的腔长天然短,很难产生量级上的变化,因此采用半导体发光的窄线宽激光器多采用外腔的方式实现。最通用的方式是用一段长光纤作为反馈腔,在光纤中用无源光栅作为反射镜。这样做优点是生产较容易,易于实现窄线宽。但是光纤的抗干扰设计难,无法实现大功率输出。研发小尺寸、高可靠、低成本的窄线宽激光器是激光器发展的重要方向之一。本项目研发的微型化、高可靠、高功率、低成本的半导体外腔窄线宽激光器,其微型化指标将满足绝大多数光电系统和光电模块的集成化需求,抗干扰,抗震动,温度适应性满足工业化产品的高要求,低成本性满足消费级光电模块应用,高功率输出满足汽车电子,工业制造等高功率需求。本项目将研发完整的量产工艺,满足单条产线月产50k个激光器的量产需求,从而将窄线宽激光器第一次普及到基础工业领域。 本项目的微型化半导体外腔窄线宽激光器,线宽可控制在2-100kHz,最大输出功率500mW,可产生线性调频信号,波长可定制即可。
北京大学 2021-02-01
人体测温红外设备
华中科技大学是我国最早开展红外测温技术研究的单位之一,红外测温技术一直也是华中科技大学国家数控工程中心的重要研究方向,其研究成果由华中科技大学孵化的企业(华中数控)进行产业化。早在2003年非典期间,就开发了人体测温红外热像仪,国家发改委立项支持该校建立了体温检测设备应急生产线,并且学校还参与了人体测温国家标准的制定。目前,已有2000多台套人体测温红外设备应用于海关、机场、车站等重要场所。在2003年非典、2009年甲型H1N1流感、2012年禽流感、2014年埃博拉疫情等疫情防控工作中发挥了重要作用。 设备已累计生产了一千多台,在武汉、广东、重庆、河南、北京等多地投入使用。其中,卓尔公益基金会与华中数控共同向武汉市、湖北省各地市州、及全国各地捐赠了一百多台人体测温红外设备。这些设备已安装在武汉市火神山、雷神山医院、天河机场、全国支援武汉医疗队集中居住的宾馆等重要场所。
华中科技大学 2021-04-10
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