本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所 述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内 用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉 积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置， 包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置；原 子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统；基片承载台，设置 在原子层沉积反应腔下方；运动平台，与基片承载台连接，带动基片 承载台运动；温度控制装置，设置在基片承载台下方。所述方法能高 效快速的制备多元物质原子层沉积膜，所述装置，能方便的通过现有 原子层沉积系统组装，兼容性强，功耗低，沉积效率高。 

1、成果简介 超声振动红外热像（热波）无损检测设备以超声激振被检测对象，以红外热成像方式检测物体的内部缺陷，具有单次检测面积大、速度快、可单面检测、不必拆下总装后的部件、可在外场使用等优点。是一种适合于任何固体材料结构内部裂纹、分层或脱粘缺陷检测的可视化检测设备。主要检测对象有：材料内部微裂纹，复合材料的分层、脱粘和撞击损伤，热障涂层和陶瓷部件上的微裂纹，管道内壁的裂纹和腐蚀坑，C/C复合材料上的裂纹，固体发动机绝热层脱粘，航天胶接结构脱粘，焊缝内部裂纹。该设备和技术是2001年以来4.5次国家自然科学基金、3次航空科学基金、2次航天支撑技术基金共同资助下的自主创新研究成果，具有自主知识产权，有广阔的应用前景。 典型技术指标： 最大激振功率：50-2600W； 图像分辨率：320*240～620*480； 检测时间：5s； 单次检测面积：500mm*375mm及以上。 具体指标可根据实际需要的技术、经济性能合理调整。2、应用说明 用于各类材料、结构内部缺陷的无损检测，如：材料内部微裂纹，复合材料的分层、脱粘和撞击损伤，热障涂层和陶瓷部件上的微裂纹、脱粘，管道内壁的裂纹和腐蚀坑，C/C复合材料上的裂纹，固体发动机绝热层脱粘，航天胶接结构脱粘，焊缝内部裂纹。应用单位有航天二院201所、北京卫星制造厂，技术合作单位有航天6院389厂、北京航空材料研究院。3、效益分析该设备和技术是自2001年以来4.5次国家自然科学基金、3次航空科学基金、2次航天支撑技术基金共同资助下积累的自主创新研究成果，具有国际先进的技术水平，有台式、移动、便携形式，有广阔的应用前景。

    合作探究化学实验室模式独特之处：革新的顶装式集成系统使空间变得简单、灵活。实验桌可根据需求自由移动和组合，轻松实现各种模式的转换。做到“你的教室你做主”。     升降臂：化学升降臂可供应实验室以光、电、气、给排水、通风等系统

产品的概念：迈向国标化创新化学实验室标准，打破传统实验室理念        化学实验可以培养学生创造性思维，逐步认识化学物质及其变化的本质和内在规律性，使学生的思维从表象到本质，从感性认识到理性认识，在化学实验中培养学生的观察力，有助于学生形成化学慨念，化学教学中是离不开化学实验的，实验能充分发挥学生的主动性，化学实验是传递知识，培养能力的最好的载体之一，它以及其丰富的内涵在化学教学中发挥着独特的功能和作用，化学实验在化学中起着非常重要的作用； 技术标准： 通风系统：选用4—72型6#塑料离心式风机，风量6840—12700M3/N，风压116—80MM水柱，每小时教室换气可达20次以上，排毒效果好，桌面排风罩可以升降并可3600旋转。 噪  音：系统工作时室内噪音≦55DB。 废气排放：低于国家GB16297—1996中新污染源大气染物排放标准的规定值。 废水排放：符合国家GB3838—88V类水质标准的规定值。 低压电源系统：实验室所有用电设施实现集中控制，功能齐全，技术指标符合教育部JY0361—1999标准。 材料标准： 台面：可选用进口耐强酸碱、防静电、防水、防火、耐刮、耐磨、抗击耐酸碱的实芯理化板。 柜身：采用进口高密度中纤板贴双面优质高压E1级三聚氢胺板。 台身框架：“新型钢木框架结构” 表面采用环氧树脂粉末喷涂，防腐耐用美观经久耐用。 水槽水咀：可选取用陶瓷水槽PPR水槽，配优质全铜镀铬或喷塑三联水咀。 吸风罩、风管：风罩采用ABS注塑件，风管采用PVC管。

该检测技术目前主要能力有烟丝宽度检测、烟丝结构检测、烟叶霉变检测、污损图文识别、雾化效果检测、烟气成团性检测等，并且实现了在线检测防潮、多频次、样本复杂等检测难点；解决了目前行业内容人工取样检测效率低下、人工观察不及时、无法实现人工检测等难题，在行业创新性上具有重要意义。

已在玉门油田试用，用于伴生气回收，试用结果表明该机组运行稳定可靠、 能实现无人值守，且对井口压力的波动适应性好。

能源短缺和环境污染是21世纪人类所面临的首要问题，寻求清洁替代能源是解决这一问题的有效途径，尤其是汽车燃料替代。天然气作为汽油替代燃料已经表现出了经济、环境等各方面的明显综合优势，目前在世界范围内正处于迅速发展阶段。国内近年迅速发展的汽车工业、世界能源结构的调整、西气东输工程的顺利进行都在极大地推动着汽车燃料向天然气的转换。天然气在汽车中以200个大气压的高压状态储存，因而其充装需要在专门的加气站进行，并需要远比加油机复杂得多的专门设备，这些设备中最核心的装置是天然气压缩机组，它几乎占据了加气站设备投资的一半，这决定了其生产利润的可观性，因而这一产业近年迅速崛起。加气站压缩机也称CNG压缩机，根据使用场合及天然气来源的不同有母站压缩机、常规站压缩机、子站压缩机三种型式。这种设备属于机电一体化成套机组，具有较高的技术含量和生产技术难度，同时也具有较高的生产利润率。国内已有几个厂家已介入了CNG成套机组的生产，国外产品也正涌入中国市场。目前该产品生产的毛利率仍然较高，市场需求量也正大幅度提升，产品生产组织的条件和投资不大，因而是一个良好的进入楔机，具有广阔的市场前景。 本项目始于1995年，获2007年度国家863计划立项，所研发的产品和技术的主要创新性和领先性在于：①我们持有相关技术的多项自主知识产权专利，在国内最早开始从事相关技术研究和产业推广工作，具有丰富的研究成果和产业化推广经验；②我们具有丰富的实践经验，曾为国内多家企业开发过各种规格的母站、常规站、子站CNG压缩机产品，目前国内市场在售的许多国产CNG压缩机产品都是我们主持开发或协助开发的，部分产品已经出口国外数十台套；③我们具有敦实的基础性研究成果，著有国内唯一的《CNG压缩机及其设备》科研专著；④我们的研究水平居于国际前列，基于国家863计划研发的“大型CNG母子站成套压缩机组研发及产业化”项目产品已经被产业化实施，并服务于中石油、中石化等大型天然气发展机构。 目前国内天然气汽车的普遍应用仍只局限于西安、成都、乌市等西部地区和城市，随着西气东输工程的进行，以及东海油气田的探明，我国东部大部分地区将迅速开始天然气汽车技术的发展。加气站建设是燃气汽车发展的基础性设施，所以未来5～10年将会是一个加气站设备产品需求的高峰期，预计2010年前的国内市场需求至少在1000套。十年前的天然气汽车及加气站装备主要靠国外引进，近五年来相关技术和全部装置已经完全实现了国产化，技术研发、产品生产、零部件配套、相应工程设计和安装调试等国内均可解决，市场介入时机成熟。CNG压缩机组属于大型成套设备，订单式单件生产，属典型的机械制造业，目前产品生产的毛利率约在40％，效益比较可观。

我国现有规模化的垃圾填埋场一千座以上，可利用的垃圾填埋气资源巨大，已现有的垃圾填埋气利用方式主要是发电并网，适用于在规模较大的填埋场中应用，随着天然气价格的逐步升高，将填埋气净化制备车用天然气燃料具有良好的应用前景。南京大学的垃圾填埋气净化提纯制备车用天然气技术将抽采出的填埋气：CH4、CO2、 O2、N2、H2O、H2S、NH3进行脱硫、脱碳、脱氧、脱水净化处理，获得天然气和汽车用压缩天然气。南京大学此技术已开展了中试研究，基本具备了产品转化与推广应用条件。研发技术还可在沼气、煤层气净化

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