一种倒装 LED 芯片在线检测方法
本发明公开了一种倒装LED芯片在线检测方法,该方法所涉及的检测装置包括盘片装载台、运输传输系统、收光测试组件、探针工作台以及探测对准系统,其中,该在线检测方法为:在工作中,运输传送系统可以运输盘片工作台到合适的工作区域,调整位姿之后,启动探测对准系统对探针工作台进行控制,使探针与待测试的芯片接触通电,使芯片发亮,从而收光测试组件可以对其进行检测。按照本发明的机械结构,能够成功地解决倒装LED芯片电机和发光面不同侧的问题,并且采用了精密图像运动控制技术,实现了倒装LED芯片的高速精密测试,加快了芯片的检测效率。
华中科技大学
2021-04-14