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谐振式压力传感器
一、项目简介
MEMS压力传感器是基于MEMS工艺，把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置，众多MEMS压力传感器中，直接输出频率量的谐振式MEMS压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式MEMS压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上，为了获得飞行的高度、速度等大气数据，通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器，在国内外都有相当大的市场，在我国军事领域，谐振式MEMS压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。
二、技术成熟度
谐振式MEMS压力传感器工作于闭环激励状态来维持谐振，谐振器是其核心部件，传感器整体精度的高低在很大程度上由谐振器的机械品质决定，受电路参数变化影响较小。其次，技术体系成熟的MEMS技术包括硅基表面加工技术与体硅加工技术使得核心元件的加工生产变的有序可控。本课题组开发的MEMS谐振式压力传感器精度已经达到0.02%FS，各项工艺技术成熟可靠。
三、投产条件和预期经济效益
MEMS传感器核心的投产需要超净实验室(100级，1000级和10000级)和先进齐全的硅微加工设备，包括从制版、光刻、扩散、镀膜、刻蚀到抛光、键合等各种工艺设备。还需配备各种薄膜质量检测设备，可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究，同时需要具有SEM、TEM、XRD等大型设备，为MEMS相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。在经济效应方面，其市场规模在2009年就达到了59.1亿元，其中，压力传感器占据市场份额的25%，目前国内同类传感器进口收到限制，较低端的传感器每只约2.0万元人民币，按照各行业每年平均所需，年产5000只压力传感器，可获年产值约1亿元人民币。
厦门大学
2021-01-12
CMOS 图像传感器芯片设计
成果与项目的背景及主要用途：
人类通过视觉系统获取的信息占获取信息总量的 80%以上，如果说计算机相当于人类的大脑，那么图像传感器则相当于人类的眼睛。图像传感器作为图像信息获取最重要和最基本的技术在信息世界中将占据着极其重要的地位。半导体图像传感器相比传统的胶片成像具有可实时处理和显示、数字输出、便于储存和管理等诸多优势，正在迅速成为图像传感器发展的主导力量。CMOS 图像传感器相对于 CCD 图像传感器具有单片集成、低功耗、低成本、体积小、图像信息可随机读取等一系列优点。在手机拍照、PC 摄像、机器视觉、视频监控等诸多领域已经取代了 CCD 图像传感器。
技术原理与工艺流程简介：
（1）时间延迟积分型 CMOS 图像传感器芯片通过 0.18µm 1P4M CMOS 工艺完成了对最高 128 级线阵长度为 1024 像素的TDI 型 CMOS 图像传感器芯片的设计、投片和测试工作。
（2）具有紧凑读出的多次积分动态范围扩展 CMOS 图像传感器提出了一种通过多次积分扩展动态范围的方法，采用紧凑读出方式，以降低对对读出电路的工作速度要求。成功流片 128×128 阵列原型，动态范围可以扩展39dB,像素读出时间相对于滚筒是曝光增加了 3 倍。
应用前景分析及效益预测：
该领域开始向着高清专业摄像、高精度工业和医疗成像、抗辐射太空成像等专业高端领域迈进。CCD 传感器的衰退之势难以挽回，CMOS 将在未来几年保持优势地位。2015 年，CMOS 出货量将达到 36 亿个，份额达 97%；而 CCD 出货量将下降到只有 9520 万个，占 3%份额。
应用领域：
CMOS 图像传感器广泛应用于消费类、工业和科技等各个领域。民用领域：拍照手机、数码相机、可视门镜、摄像机、汽车防盗等；工业领域：生产监控、安全监控等。
技术转化条件：
四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作。
合作方式及条件：根据具体情况面议
南开大学
2021-04-11
杭州赛特传感技术有限公司
杭州赛特传感技术有限公司位于风景秀丽的西子湖畔，座落在人材济济的天硅谷杭州高新开发区，是一家具有自主开发和生产能力的企业。
公司经过多年不懈的努力与拼搏，已拥有了一套完整的内部管理体系和一支过硬的技术开发队伍，通过了ISO9001：2000国际质量管理体系认证，目前已形成传感器系列、综合测控系列、图像信息处理系列、计算机控制系列等四大类上百个品种的生产规模，产品经权威部门鉴定，并获多项国家专利及荣誉，多次在世行贷款项目中中标，产品遍布全国大、中专、职业院校、工矿企业、科研机构，深得广大用户信赖，“赛特传感”已成为业内的知名品牌。
科学的现代化管理手段使企业高效率地运作，雄厚的技术力量让公司不断为客户提供更加先进的产品，完善的售后服务体系随时为用户提供全面的技术支持和服务。我们本着“诚信为本、长期服务”的宗旨，愿为广大用户提供更加精良的产品和优质的服务。
公司在致力于自身发展的同时，本着“源于教育,服务教育”的原则同全国多所高校建立了校企合作关系，产品被编入专业教材,从教学实验到产品技术方面进行全方位交流，公司接纳了众多国内外学生来企业进行社会实习，达到了良好的社会效益和显著的教学效果。
科学的管理、高效的运作给企业带来了活力，充满了后劲；雄厚的技术力量为企业赢得了广阔的市场；完善的售后服务体系随时为用户提供全面的技术支持和服务；“诚信为本，长期服务”是企业的宗旨，我们将一如既往地为广大用户提供精良的产品和优质的服务，共同携手为祖国的教育事业作出贡献。
杭州赛特传感技术有限公司
2021-12-07
传感器功能演示仪
430mm×350mm×135mm；组成：铝合金包边箱、电源、多种传感器模块等；配合新课程物理教材中传感器这一章节使用；多种传感器模块（热敏、光敏、声敏、磁敏等）；配有相关操作使用说明书。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
一体位移传感器
量程：0.15m～6m，分辨率1mm，超声波的发射装置和接收装置集成一体。具有静态和动态测量位移的功能，可计算速度、加速度等物理量。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
高温热流传感器
产品详细介绍HTF-450 高温热流传感器用于工业、实验室和研究。HTF-450 高温热流传感器由陶瓷高温材料制成，配不锈钢外壳。可精确测量、记录和控制极端环境（例如； 窑壁、炉管、核能发电机等）的热流。在使用时，传感器安装至被测材料表面，或嵌入墙壁。可自产生mV 输出（与热流成正比）。HTF-450 高温热流传感器应用：工业、高温隔热、海底和船舶、消防设备、管道、精炼和反应器、航空规格：型号HTF-450最高温度450°C（短期500°C）热流范围20 kw/m2热导率0.95 W/m °K精度±3%尺寸直径15.9mm X 厚3.6mm (可定制尺寸)
上海图新电子有限公司
2021-08-23
多量程电流传感器
产品详细介绍
江苏六鑫科教仪器设备有限公司
2021-08-23
远程测距&位移单体传感器
产品详细介绍
量程0.2-10m，分辨率1mm 数据传输端口为智能HDMI接口，支持与采集器的有线通讯和无线通讯。
江苏艾迪生教育发展有限公司
2021-08-23
氯化氢（盐酸）传感器
产品详细介绍电化学盐酸气体HCL传感器-A1主要参数 灵敏度：50～110nA/ppm 响应时间：< 300s 分辨率：2ppm 尺寸：Φ20.2*16.5 工作温度：0～50℃ 工作湿度：15～90％RH 负载电阻：10～33Ω
深圳市新世联科技有限公司
2021-08-23
宽禁带半导体碳化硅电力电子器件技术
宽禁带半导体碳化硅(SiC)材料是第三代半导体的典型代表之一，具有宽带隙、高饱和电子漂移速度、高临界击穿电场、高热导率等突出优点，能满足下一代电力电子装备对功率器件更大功率、更小体积和更恶劣条件下工作的要求，正逐步应用于混合动力车辆、电动汽车、太阳能发电、列车牵引设备、高压直流输电设备以及舰艇、飞机等军事设备的功率电子系统领域。与传统硅功率器件相比，目前已实用化的SiC功率模块可降低功耗50%以上，从而减少甚至取消冷却系统，大幅度降低系统体积和重量，因此SiC功率器件也被誉为带动“新能源革命”的“绿色能源”器件。 本团队在SiC功率器件击穿机理、SiC功率器件结终端技术、SiC新型器件结构、器件理论研究和器件研制等方面具有丰富经验，能够提供完整的大功率SiC电力电子器件的设计与研制方案。目前基于国内工艺平台制作出1600V/2A-2500V/1A的SiC DMOS晶体管（图1，有源区面积0.9mm2）；4000V/30A的SiC PiN二极管（图2）；击穿电压>5000V的SiC JBS二极管（图3）。 a b c 图1 1.6-2.5kV SiC DMOS器件：(a)晶圆照片(b)正向IV测试曲线(c)反向击穿电压测试曲线 a b c 图2 4kV/30A SiC PiN器件：(a)晶圆照片(b)正向导通测试曲线(c)反向击穿电压测试曲线 a b c 图3 5kV SiC JBS器件：(a)显微照片(b)正向导通测试曲线(c)反向击穿电压测试曲线
电子科技大学
2021-04-10