一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置
本发明公开了一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置, 包括气浮支承本体、气压主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控 制单元,气浮支承本体上设置有进气孔、节流孔和调节单元安装孔, 进气孔的进气口处和节流孔的出气口处分别设置有进气阀和出气阀; 气压主动调节单元与气浮支承本体之间形成调节腔;支承本体检测单 元用于实时检测气浮支承本体上下运动的速度、加速度和/或气浮支承 本体相对于其下方气浮导轨的距离;驱动控制单元用于将检测装置所 测得的信号进行滤波、放大及数据处理,生成驱动信号来驱动气压主 动调节单元产
华中科技大学
2021-04-14