(东北师范大学物理学院无掩膜光刻机（进口）设备采购)的潜在供应商应在（长春市二道区东南湖大路3030号，中资国际工程咨询集团有限责任公司一楼）获取采购文件，并于2020年12月14日13点30分（北京时间）前提交响应文件。

高分辨率电子电路光刻胶是制造高密度、高精度电子电路的核心材料之一， 该类光刻胶在达到分辨率要求的同时，还需具备高感度、高硬度、优异的耐焊性 和耐酸碱性等物理化学性能，以满足电子电路复杂的制造工艺要求。长期以来， 由于我国高性能基础光固化材料开发的滞后，导致国产电子电路光刻胶技术水平低下，相关产品占国内市场份额不足 30%，其中高分辨率电子电路光刻胶更是被国际公司所垄断。针对上述现状，团队通过高性能光固化材料的开发突破了高分辨率电子电路光刻胶制备关键技术和产品创新技术，并制备了以高分辨率阻焊油墨和光致抗蚀剂为主的一系列具备优异物理化学性能的高分辨率电子电路光刻胶产品。

产品详细介绍 RH5000系列电子拉力机 一．电子拉力机主机规格 A．高精度美国传力力量传感器：0～5000N。力量精度在±0.5 %以内。 B．容量分段： 　　全程七档：× 1，× 2，× 5，× 10，× 20，× 50，× 100采用高精度24 bits A/D，取样频率200Hz全程力量最大解析度 1/1000,000 C．动力系统：日本松下交流伺服电机 松下交流驱动器＋滚珠丝杆（台湾产） 德国减速机＋光杆直线轴承＋同步带传动。 D．控制系统：采用Pulse Command控制方式使控制更精准速度控制范围0.001～1000 mm/min。中联板调整具有快速粗调与慢速微调功能。测试后自动回归原点、自动储存。 E．数据传输方式：RS232传输 F．显示方式：UTM107 WIN-XP测试软件计算机屏幕显示。 G．简洁的全程一档与精密全程七档力量线性双校正系统。 H．豪华测试界面软件可实现定速度、定位移、定荷重（可设定保持时间）、定荷重增率、定应力增率、定应变增率等控制模式加上多阶控制模式可满足不同的测试要求。 I．测试空间：测试宽度约350 mm（标准规格）联板行走空间950 mm（不含夹具）（标准规格） J．全程位移：编码器2500 P/R，提升4倍精度采用LINE DRIVE编码器抗干扰能力极强位移解析0．001mm。 　　小变形：金属引伸计，解析 0.001mm（选购） K．安全装置：过载紧急停机装置、上下行程限定装置、漏电自动断电系统、自动断点停机功能。 M．手控方式：可增添无线遥控装置或手动操作盒。（选购） 二．电子拉力机软件功能介绍： 1．测试标准模块化功能：提供使用者设定所需应用的测试标准设定，范围涵盖GB、ASTM、DIN、JIS、BS…等。测试标准规范。 2．试品资料：提供使用者设定所有试品数据，一次输入数据永久重复使用。并可自行增修公式以提高测试数据契合性。 3．双报表编辑：完全开放式使用者编辑报表，供测试者选择自己喜好的报表格式（测试程序新增内建EXCEL报表编辑功能扩展了以往单一专业报表的格局） 4．各长度、力量单位、显示位数采用动态互换方式，力量单位T、Kg、N、KN、g、lb，变形单位mm、cm、inch。 5．图形曲线尺度自动最佳化Auto Scale，可使图形以最佳尺度显示。并可于测试中实时图形动态切换。具有荷重-位移、荷重-时间、位移-时间、应力-应变荷重-2点延伸图，以及多曲线对比。 6．测试结果可以EXCEL格式的数据形式输出。 7．测试结束可自动存档、手动存档，测试完毕自动求算最大力量、上、下屈服强度、滞后环法、逐步逼近法、非比例延伸强度、抗拉强度、抗压强度、任意点定伸长强度、任意点定负荷延伸、弹性模量、延伸率、剥离区间最大值、最小值、平均值、净能量、折返能量、总能量、弯曲模量、断点位移x％荷重、断点荷重X％位移、等等。数据备份：测试数据可保存在任意硬盘分区。 8．多种语言随机切换：简体中文、繁体中文、英文。 9．软件具有历史测试数据演示功能。 三．电子拉力机附件 A．电子拉力机一年保固书及中文操作说明书各一份。 B．随机赠送标准电子拉力机具一组（其他夹具选购）。 C．电子拉力机专用测试软件一份。 D．品牌电脑一套、彩色打印机一台 四．电子拉力机可测试项目 （一）普通测试项目：（普通显示值及计算值） 　　拉伸应力　　　　　拉伸强度 　　扯断强度　　　　　扯断伸长率 　　定伸应力　　　　　定应力伸长率 　　定应力力值　　　　撕裂强度 　　任意点力值　　　　任意点伸长率 　　抽出力　　　　　　粘合力及取峰值计算值 　　压力试验　　　　　粘合力剥离力试验 　　弯曲试验　　　　　拔出力穿刺力试验 （二）特殊测试项目： 弹性系数即弹性杨氏模量 　　定义：同相位的法向应力分量与法向应变之比。为测定材料刚性之系数，其值越高，材料越强韧。 　　比例限：荷重在一定范围内与伸长可以维持成正比之关系，其最大应力即为比极限。 　　弹性限：为材料所能承受而不呈永久变形之最大应力。 　　弹性变形：除去荷重后，材料的变形完全消失。 　　永久变形：除去荷重后，材料仍残留变形。 　　屈服点：材料拉伸时，变形增快而应力不变，此点即为屈服点。屈服点分为上下屈服点，一般以上屈服点作为屈服点。屈服（yield）：荷重超过比例限与伸长不再成正比，荷重会突降，然后在一段时间内，上下起伏，伸长发生较大变化，这种现象叫作屈服。 　　屈服强度：拉伸时，永久伸长率达到某一规定值之荷重，除以平行部原断面积，所得之商。 　　弹簧K值：与变形同相位的作用力分量与形变之比。 有效弹性和滞后损失： 　　在电子拉力机上，以一定的速度将试样拉伸到一定的伸长率或拉伸到规定的负荷时，测定试样收缩时恢复的功和伸张时消耗的功之比的百分数，即为有效弹性；测定试样伸长、收缩时所损失的能与伸长时所消耗的功之比的百分数，即为滞后损失。 五．电子拉力机主要计数指标 　　荷重元：0－5000N区间选配 　　力量解析度：1/10000 　　力量准确度：≤0.5％ 　　力量放大倍数：7段自动切换 　　位移解析度：1/1000 　　位移准确度：≤0.5％ 　　金属引伸计解析度：1/1000 　　金属引伸计准确度：≤0.5％ 　　大变形引伸计准确度：±1mm 　　速度范围：0.001－1000mm/min（特殊测试速度亦可依客户需求定制） 　　行走空间：950mm（不含夹持器、特殊测试空间亦可依客户需求定制） 　　测试宽度：350mm（特殊测试宽度亦可依客户需求定制） 　　使用电源：∮220V 50HZ。 　　功率：约600W 　　机台尺寸：约560×660×1600 mm长×宽×高。 　　机台重量：约180 kg。

本项目提出一种创新的集成电路(IC)制造工艺路线，即压印光刻(Imprint Lithography－IL)技术，并对该技术相关的压印和脱模工艺机理、紫外光固化阻蚀胶材料的物化和工艺特性、与IC制造其它工艺的综合集成和优化、压印光刻设备的关键技术等进行研究和技术开发。其基本原理为：以电子束直写刻蚀(或其它刻蚀技术)生成IC图型母板(模具)，以母板(模具)步

XM-655F深感觉、前庭传导束和脊髓小脑束   XM-655F深感觉、前庭传导束和脊髓小脑束前庭传导分别以草绿色和墨棕色表示一级和二级纤维，前庭二级纤维参与组成内侧纵束，前庭脊髓束分别与有关脑神经核、脊髓联系，还表示前庭和二级纤维与小脑、中央核的联系，脊髓小脑束以黄色表示，主要说明其起始，行程以及在小脑的投射部位。 尺寸：放大，42×45×45cm 材质：优质铁丝

基于聚焦离子束－扫描电子显微镜双束(FIB-SEM)的切割－扫描操作, 能够使材料的微纳结构在三维空间的精确重构得以实现。经过多年经验的积累，已开发出一套针对拥有复杂微纳结构的金属陶瓷复合材料进行三维重构的技术解决方案。该技术在固体氧化物燃料电池领域，为固体多孔电极材料的微纳尺度精确定量分析提供了有力的技术支持。作为本领域的知名专家,美国西北工业大学的 Scott A. Barnett 教授曾在国际 SOFC 领域规模最大的年会 International Symposium on SOFC 中重

产品详细介绍薄膜拉力机用途：于塑料薄膜、胶粘剂、胶粘带、不干胶、医用贴剂、离型纸、保护膜、组合盖、背板材料、无纺布、橡胶、纸张纤维等产品的拉伸、剥离、变形、撕裂、热封、粘合、穿刺力等性能测试。薄膜拉力机标准：GB 13022、GB 8808、GB 1040、GB 4850、ASTM E4、ASTM D828、ASTM D882、ASTM D1938、ASTM F904、ISO 37薄膜拉力机特征：兰光研究制造的高端产品，采用国际知名品牌零部件，进口高精传感器，仪器稳定性高；微电脑控制，液晶显示，操作简便。薄膜拉力机具备抗拉强度、最大拉断力、断裂伸长率、撕裂强度、热封强度、剥离强度、定伸应力、弹性模量多项独立试验功能；专项试验结果一目了然，无需繁琐设置、计算；最大量程500N，完全满足行业需求同时具备超高0.5级精度；超长行程1000mm满足大变形率材料的测试要求；最大量程500N，完全满足行业需求同时具备超高0.5级精度。薄膜拉力机技术指标：规       格：500N   50N （可选其一）精       度：0.5级 试验速度：50  100  150  200  250  300  500mm/min 试验宽度：30 mm（标配夹具）                   50mm （可选夹具）行       程：1000mm了解详情请致电：济南兰光0531-85068566 Labthink兰光产品： 1. 透氧仪 2. 气体渗透仪 3. 透气性测试仪 4. 透湿仪 5. 透湿性测试仪 6. 密封试验仪 7. 落镖冲击试验仪 8. 密封仪 9. 泄漏与密封强度测试仪 10. 氧气透过率测试仪 11. 热封仪 12. 氧气透过率测定仪 13. 水蒸气透过率测试仪 14. 薄膜拉力机 15. 摩擦系数仪 16. 初粘性测试仪 17. 智能电子拉力试验机 18. 撕裂度仪 19. 热缩试验仪 20. 电子剥离试验机 21. 揉搓试验仪 22. 瓶盖扭矩仪 23. 顶空分析仪 24. 磨擦试验机 25. 热封试验仪 26. 摆锤冲击试验仪 27. 墨层结合牢度试验机 28. 持粘性测试仪 29. 薄膜测厚仪 30. 雾化试验仪 31. 摩擦系数测试仪 32. 纸箱抗压试验机 33. 气相色谱仪 34. 摩擦系数测定仪 35. 测厚仪 36. 胶粘剂拉伸剪切试验机 37. 透气度测试仪

本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统，包括：用 于浸液流动的浸液管路，待温控的浸液通过一管路进口进入该浸液管 路，温控处理后的具有稳定温度的浸液通过该浸液管路的出口输出； 用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路，工艺冷却液在该回路中 循环流动；以及多个热交换器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工艺冷却水回路同时流经每个热交换器，并利用各热交换器分别依次 完成工艺冷却液和浸液之间的热交换，从而通过多次换热获得具有稳 定温度的浸液，实现对浸液的温度控制。本发明的装置系统采用内部 回流结构与多级热交换器相结合，实现对浸液温度的多级控制，可以 实现浸没光刻中对浸液稳定的精确稳定的控制，提供温控效率。 

本发明公开了一种光刻掩模优化设计方法，该方法首先依据表 征掩模的网格格点尺寸大小对掩模进行分级，在粗网格上快速求解掩 模，然后对在粗网格上求解得到的掩模进行插值传播到下一级较细网 格上进行细化校正，最终实现了掩模的快速优化。