拟针对复杂光滑表面加工原位测量、半导体材料生长监控、MEMS膜层材料特性等研究领域应用中，动态检测所带来的基准面形变化大、形变动态范围大、检测速度要求高等难题，提供一种光滑表面形变高精度瞬态测量技术。最大可测形变量可达150微米，精度优于1微米，测量速度优于10帧每秒。 　　本项目研究团队长期从事精密光电测试及成像理论和技术科研工作。在国家自然科学基金等支持下，深入研究了基于部分补偿法和数字莫尔移相干涉的光学面形测试理论和方法，形成了光学面形高精度测量的系统理论，并研发了光学面形高精度测量原理样机，在中国空间技术研究院、中国计量研究院、清华大学深圳研究生院等重要科研单位得到应用，解决相关的技术难题。先后申请国家发明专利18项，已获授权13项，发表学术论文30余篇。

项目采用光致异构化合物通过酰胺共价键链接于具有纳米间隙阵列的二维单层石墨烯的间隙形成光致异构化合物-石墨烯单分子器件；采用生物分子链接构建了单分子生物传感器；利用有机半导体小分子构建了性能可靠的2-3纳米单分子场效应晶体管。当单个光致异构化合物被桥接于具有纳米间隙阵列的二维单层石墨烯之间的纳米间隙时，它们具有可逆的光控开关功能和电控开关功能；当生物分子桥连石墨烯电极时，它们具有单分子DNA精准测序的功能；单分子场效应晶体管目前是国际上最小的晶体管，有望为器件微小化产生芯片集成核心技术。

受深部“三高一扰动”复杂环境影响，煤岩石往往表现出强流变性和剪胀扩容破坏特征，在中硬及以下围岩条件下，围岩表现出变形量大、变形持续时间长的特点，控制难度大。为此发明了大变形拉压耦合注浆锚杆索和高强速凝微膨胀性注浆材料，提出了支护参数最优化设计方法，有效控制了围岩变形，工程实践验证了技术成果的科学性和有效性。

项目成果/简介:随着支配半导体技术数十年的摩尔定律日益接近其发展极限，多种功能器件集成被认为是超越摩尔定律延续集成电路发展进程的重要途径之一，这就需要能够满足多种功能器件高密度集成的制造技术。多元兼容集成制造技术就是为此而开发的，该技术通过在更大范围内优选结构/功能材料组合，开发异质集成制造工艺，大大拓展了功能微器件创新设计和制造的腾挪空间。经过多年探索，目前已形成了涵盖金属、聚合物、陶瓷、复合材料的MEMS异质异构制造技术体系，并在多种类型功能器件研发中发挥了关键作用，初步展现了其基础性支撑作用，相关技术获得2016年度上海市技术发明一等奖。微系统集成发展趋势多元兼容集成制造技术 获奖情况上海市技术发明一等奖2016年团队获奖国家技术发明二等奖2008年上海市技术发明一等奖2007年超薄超快高热流密度微通道散热器上海交通大学团队在长期研究经验和技术积累基础上，创造性地提出了不同高热导率材料组合构造的复合结构微通道散热器设计方案，并基于多元兼容集成制造技术完成了多种尺寸样品研制，其中，热源面积与常用功率芯片尺度相当的超薄散热器冷却能力达到800W/cm2以上，在保留传统微通道散热器良好系统兼容性和适用性的基础上达到了相当高的散热能力水平，为解决高功率芯片系统超高热流密度散热问题提供了一个深具可行性的解决方案。高温薄膜温度传感器研究 发动机燃烧室等极端恶劣环境下（高温、强振动、强腐蚀等）的工作参数现场监测对传感器技术是严峻挑战，国内外研究广泛。交大团队基于特种材料微纳集成制造技术的长期积累，在高温绝缘薄膜材料、多层薄膜应力调控、曲面图形化和高温敏感介质等技术上取得了一定突破，成功开发了多种可与现场结构共型的高温薄膜传感器，具有体积小、环境扰动小、响应快、灵敏度高、可分布式安置等优点，该团队已经掌握了温度、应力/应变、热流等多种高温状态参数测量技术，适用温度在800-1300℃之间。薄膜绝缘电阻随温度的变化及测试结构高温薄膜温度传感器制造及曲面图形化技术薄膜温度传感器在发动机不同部位测温需求无线温度传感器测温系统高性能转接板基于转接板的多芯片封装是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是传统的硅转接板性价比不高，阻碍了广泛应用。上海交大团队基于非硅微加工技术的长期积累，突破了硅转接板绝缘层完整性和再分布层热隔离的难题，成功研制了漏电流极低的低成本高性能硅转接板。此外，还开发了复合材料非硅转接板，TCV陶瓷转接板，TGV玻璃转接板等各种三维封装基板，实验室能够针对不同类型器件三维高密度封装的具体要求，定制开发不同功能的专用转接板，为多功能、高密度、高功率、低成本封装提供个性化解决方案。TSV-3D 高密度封装概念图 金属-聚合物-纳米复合材料非硅基转接板实物图片知识产权类型:发明专利 、 软件著作权 、 集成电路布图设计技术先进程度:达到国内领先水平成果获得方式:独立研究获得政府支持情况:国家级

当前电能质量治理设备的使用多针对单点电能质量问题进行集中最优解决，当问题源负荷分散分布时，治理成本急剧升高。针对这一问题，本研究着手开展局域配电网中的电能质量治理设备优化配置和综合治理研究。摆脱以往局限于单点电能质量治理的思路，从局域配电网系统层面出发，如何用安装于关键点的少量治理设备，实现局域配电网电能质量的综合整体提升，是更为经济合理的治理思路。

通过设计一个12bit 5MHz ADC，并经过流片测试，验证了校正方法有效性。测试结果表明，在1.2V/2.5V电源电压下，ADC的微分非线性度

本项目在国际上率先发现精浆piRNA是全新的男性不育生物标志物，发表论文并获授权发明专利。NatureReviewsUrology评价道：“在男性生殖系统疾病中（包括男性不育），由于缺乏准确和简易的诊断手段，因此早期诊断和治疗大大受限。存在于精浆中的生物标志物（包括本研究鉴定的piRNA）有望通过液体活检技术实现男性生殖障碍和不孕症的非侵入性诊断。本项目基于精浆piRNA精准定量检测技术，开发男性不育体外诊断试剂盒，通过检测受试者精浆中特异性piRNA的含量，对受试者是否罹患不育进行判断。目前国内外没有同类技术产品，基于现有不孕不育症所面临的诊断水平低下、手段原始落后等不足的现状，本产品作为新增或者补充的诊疗手段，有重大的社会经济效益

依托我校“机器人视觉感知与控制技术国家工程实验室”等重点研究基地，重点开展面向工业4.0的智慧工厂技术、生产线自动化生产技术、智能工业机器人、高性能伺服电机驱动技术等制造业生产自动化升级改造关键技术和装备的研发。在机器人感知技术方面实现了传感器微型化、网络化、集成化和智能化，为机器人感知提供系统的解决方案；在机器人控制技术方面提高了机器人操作精度、可靠性、可重复性等性能指标，保障机器人能够完成多任务、高柔性的灵巧作业。目前已研发并应用的机器人包括铁轨表面缺陷检测机器人、汽车发动机气缸铸件清理机器人、高压电线巡检除冰机器人、与瑞森可机器人公司联合研制的关节臂式机器人等。

项目技术适用于蔬菜种植集中的地区，尤其是以规模种植秧苗 为主的企业、公司、园区和合作社进行标准化种植的商品蔬菜生产。本项目解 决了大公司育苗设施昂贵、环境管控成本高的限制、育苗程序复杂和壮苗手段 单一的限制。从育苗设备优化、环境控制节能、基质配制专一性、壮苗控制综 合化入手。以低于当前一般育苗成本 20%来建设和运营管理育苗企业；同样也适 合在农业园区中建造自己的育苗设施和技术系统。 项目技术从简化操作入手，通过基质的综合调配，满足秧苗全生育期对营 养的需求，减少营养液管理用工，并结合化学调控技术实现越夏壮苗的培育。 实现设施与农艺技术的统一。与传统育苗技术相比，实现商品秧苗成苗率 98% 以上、秧苗整齐度达到 95%以上，以可再生材料为主要机制材料，育苗基质投资 额度节省 40%；育苗设施专业设计，结合节能型水暖空调系统、水暖调温系统、 敞开式屋顶设计等方式，最大程度优化设施环境。技术科应于番茄、黄瓜、茄 子、辣椒、甘蓝、菜花、莴苣等蔬菜壮苗的培育。配套技术在即墨农业科技示 范园、青岛普瑞有机农业有限公司应用，实现年生产秧苗 1800 万株。