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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
张人禾
张人禾,1962年7月出生于甘肃省兰州市,气象学家,中国科学院院士,中国气象科学研究院研究员、中国气象学会会士、中国高等教育学会科技服务专家指导委员会副主任委员、博士生导师,曾任复旦大学大气科学研究院院长、复旦大学副校长。 1982年张人禾从兰州大学地理系毕业后进入南京农学院植保系工作;1984年考上中国科学院大气物理研究所,先后获得硕士、博士学位;1991年博士毕业后留究所工作,先后担任助理研究员、副研究员、研究员、博士生导师;1994年在日本东京大学气候系统研究中心从事博士后研究;1996年出任中国科学院大气物理研究所短期气候与季风研究中心副主任;1998年在美国马里兰大学气象系作高级访问学者;1999年出任中国科学院大气物理研究所副所长;2001年出任中国气象科学研究院院长;2002年获得国家杰出青年科学基金资助;2005年担任灾害天气国家重点实验室(中国气象科学研究院)主任;2012年担任中国气象科学研究院、中国气象局科技委副主任、研究员;2015年增选为中国科学院院士;2016年担任复旦大学特聘教授、大气科学研究院院长;2018年出任复旦大学校长助理、副校长;2024年11月,当选中国气象学会会士。 张人禾主要从事气候动力学研究,研究方向包括热带大尺度海气相互作用、亚洲季风、青藏高原气象学等。
张人禾 2022-01-12
八人圆桌
25㎜弯曲防火板贴面台面,钢质烤漆骨架,玻璃钢面板坐椅。
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
八人长桌
供八人使用的长方形桌子。
宁波华茂文教股份有限公司 2021-08-23
基于语料库的西方主流媒体涉华疫情报道话语研究
一、项目进展 创意计划阶段 二、负责人及成员 姓名 学院/所学专业 入学/毕业时间 学号 杨夕芸 外国语学院/英语 2018.9/2022.6 201831131114 尧玉梅 外国语学院/英语 2018.9/2022.6 201831131129 张文馨 外国语学院/英语 2018.9/2022.6 201831131205 谢烯 外国语学院/英语 2018.9/2022.6 201831131418 袁倩文 外国语学院/俄语 2018.9/2022.6 201831132127 三、指导教师 姓名 学院/所学专业 职务/职称 研究方向 孙德刚 外国语学院/勘查技术与工程 副教授 思想政治教育 陈思 外国语学院/英语 讲师 语言学、翻译 四、项目简介 在新媒体时代,人们可快速地通过互联网等通讯设备了解同一事件的发生,然而各国媒体报道也是有所异同。自2019新型冠状病毒疫情发生以来,中国人民在党和政府的领导下,众志成城,艰苦奋战,取得了不容抹杀的抗疫成绩。而一些西方媒体却肆意对中国抗疫真相歪曲和解读,对中国抗疫形象造成了恶劣的影响。因此对西方媒体涉华疫情报道的具体表现和行为动机进行深入研究具有其必要性。本项目就西方主流媒体涉华疫情报道自建语料库,通过定量和定性的方法对所收集语料库进行深入分析和研究,并且得出结论以及应对策略,这对于维护中国抗疫真相、建构中国抗疫话语、对外讲好中国抗疫故事,具有重要的理论价值和实践意义。
西南石油大学 2023-07-18
一次性防飞溅隔离巾
“一次性防飞溅隔离巾”由上海交通大学医学院附属第九人民医院发明,该隔离巾由防护材料和透明材料等组合而成,预设有两对袖套式操作口,既能保证良好的视野,又提供了一定的操作自由度,方便医护人员实施临床治疗,可显著降低手术和操作过程中的感染暴露风险,以满足医护人员的安全防护要求。在临床资源有限的情况下,比如目前与新冠肺炎的战斗中,可以有效地为医护人员提供额外的安全防护,提高手术和操作的可行性,大大减少院感风险。一次性防飞溅隔离巾样品医务人员研究改进一次性防飞溅隔离巾 上海交通大学医学院附属第九人民医院组织耳鼻咽喉头颈外科王珮华主任医师、汪照炎主任医师和急诊科徐兵主任医师等相关学科的专家对该项目进行专业分析和可行性评估,并进行细节改进,立项“手术防飞溅隔离操作系列装置”创新项目。九院成果转化办公室成立应急小组,分别从原型设计、专利布局、专利申请、产品合规、产业对接等方面制定系统推进方案,各项细节同步实施。2月21日该系列装置完成四项发明和实用新型专利的申请,技术市场迅速形成推文,并于当天将九院抗疫发明的企业对接需求发布出去。在临床医疗救治中,有部分操作会有血液、痰液导致的气溶胶污染,容易导致医护人员发生暴露性感染风险,比如气管切开、肺结核患者的胸部手术、呼吸管口换管、吸痰等。即使有帽子、口罩、防护镜等个人安全防护配备,也很难防止气溶胶短时间在局部气流中的传播。在2003年的SARS和本次新冠肺炎的诊治过程中,有很多医护人员的感染就是因为直接面对飞溅液体和气溶胶。该系列装置适用于基层医院或紧急场景、生物安全防护条件不足的情况下医务人员实施紧急操作。
上海交通大学 2021-04-10
带有防咬手结构的水貂饲养装置
本实用新型公开一种带有防咬手结构的水貂饲养装置,包括网格状的外壳,外壳围成饲养水貂的空间,外壳上安装门结构,所述门结构包括门框和门体,门体安装在门框上,门框的周边形成防咬面,门体和门框之间的控制门体开合的连接部安装在防咬面上,在外壳上设置一独立的门框,该门框带有防咬面,门体的开合的连接部安装在防咬面上,因为防咬面可以阻挡水貂的嘴部伸出,人手操控的连接部又安装在防咬面上,水貂的嘴部无法接触人手,所以避免了打开或关闭门体时,人手遭受水貂突然袭击的风险。
青岛农业大学 2021-04-11
黄泥浆添加凝胶防遗煤自燃材料
黄泥浆添加凝胶防遗煤自燃材料,结合了黄泥灌浆的广泛性和胶体的防灭火性,研制了一种低成本并且灭火性能好的新型矿井采空区防灭火材料。其材料配比为:水土比是 1:4,基料用量 4%,促凝剂用量 5%,高分子用量 0.75‰,其中, 凝胶由基料、促凝剂和水组成,基料选用水玻璃,促凝剂选用碳酸氢钠,高分子添加物为聚丙烯酸钠。本发明材料含水量高、阻化效果良好、使用安全,成本比纯硅酸凝胶的低 25%以上,而且需要的成胶时间越长,用的材料会越少,成本越低,是一种低成本高性能的新型矿井防灭火材料。
北京科技大学 2021-04-13
大型桥梁复合材料防船撞系统
南京工业大学复合材料结构研究所围绕桥梁、隧道、高速公路等交通基础设施减缓车辆、船舶撞击灾害的迫切需求,基于纤维增强复合材料耐腐蚀、轻质高强、缓冲性能优异等特点,在国内外首次提出了大型桥梁复合材料防船撞系统的设计理念,申请了2项国际PCT专利,获8项发明专利授权。建成了润扬长江大桥等4项防船撞工程,正开展港珠澳大桥等100余项防撞设计。研究所正开展隧道防车撞复合材料路缘、高速公路防车撞护栏、立交桥桥墩防车撞系统、航道船闸防船撞系统等研制工作,已申请4项国家发明专利,有效促进了复合材料防撞系统的系列化与专业化。  目前该项目可进行批量生产。
南京工业大学 2021-04-13
基于 CDMA 的大规模 RFID 防碰撞方法
本发明提出了一种基于 CDMA 的 RFID 防碰撞方法,该方法首先将所有的标签进行调整分组,然后 以递归的方式将碰撞的标签分组,为标碰撞标签选择码片,然后将标签数据用正交码扩频后发送出去, 并在阅读器端用相同码片进行解扩,最后对读取标签进行重复和遗漏的核查,该方法可以同时识别多个 标签,解决了现有的基于 ALOHA 算法和二进制算法方案的不足。
武汉大学 2021-04-13
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