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动量空间成像光谱设备的研制与产业化应用
复旦大学光子晶体课题组长期聚焦光子晶体等微纳光子材料的光场调控研究和针对微纳材料和器件的先进光学量检测技术的开发和应用,与上海复享光学股份有限公司合作在基础创新、技术突破和产学研转化方面取得了一系列成果。 一、项目分类 显著效益成果转化 二、成果简介 当今,光,作为几乎所有远程探测的手段和信息传播的媒介,对光的多维度测量分析和自由调控,既直接关系到未来信息收集、处理和传输的灵敏度和速率,也与先进微纳制造的精度、效率和能耗等诸多国家核心技术的竞争力息息相关。 复旦大学光子晶体课题组长期聚焦光子晶体等微纳光子材料的光场调控研究和针对微纳材料和器件的先进光学量检测技术的开发和应用,与上海复享光学股份有限公司合作在基础创新、技术突破和产学研转化方面取得了一系列成果。 在基础创新方面: ①动量空间光学测量思想:光与微纳结构的相互作用遵循频率-动量色散关系,也被称为光子能带。在原理上,类似于半导体利用其电子能带操控电子,光子晶体等微纳光子材料也可以通过光子能带操控光。而光子能带的本质存在于动量空间。相比于已经商业化的可探测固体材料动量空间中复杂电子能带的多维度角分辨光电子能谱设备,针对光子晶体等光子材料动量空间中光子能带的多维度光谱测量技术和设备在全世界尚属空白,亟需发展。团队突破了传统光谱测量思路,提出了从动量空间视角量检测微纳光子器件光学性能的思想。 ②适合微纳尺寸器件的动量空间成像技术:微纳尺寸的测量依赖显微镜。但显微技术在追求实空间分辨率的同时丧失了动量空间的分辨能力。此成果将傅里叶光学技术与显微技术相融合,解决了动量空间成像的像差和色差问题,实现了实空间和动量空间的双高分辨率。 ③多维度光学信息提取:相位和偏振态是可供光子器件信息调制的新自由度。团队将时域外差干涉技术延拓到具有显微分辨能力的动量空间外插干涉技术,单次成像实现了在光波长尺寸内40毫弧度的相位测量精度。同时,建立了适合于动量空间成像测量技术的耦合模理论,实现了在非相干的白光照明下任意椭圆偏振态的测量。 ④光学量测中国解决方案:处于芯片产业上游的微纳制程光学量测环节,是芯片良品率控制的关键。在此关键领域,我国远远落后于国际先进水平。动量空间成像光谱技术所采集的多维度光谱信息富含微纳结构的三维形貌信息。团队提出并实现了基于动量空间成像光谱技术的全新光学微纳制程量测新原理和新技术。该原理利用深度神经网络构筑了微纳米尺度结构与动量空间色散的构效关系和映射。同时,由于在所测量的色散关系中包含了冗余的结构信息,因此在实际技术应用中极大优化了量测逆问题中测量噪音带来的病态问题。 ⑤相关成果:团队以通讯作者发表1篇Nat.Photon.,1篇Nat.Commun.,3篇PRL,4篇Light:Sci.&Appl.,1篇Sci.Bull.,1篇Light:Advanced Manufacturing等国内外高水平期刊论文。动量空间成像光谱技术使动量空间得以被直接实验观测,并成为发现新光场调控机制的眼睛。团队利用此技术首次实验揭示了动量空间中存在具有拓扑奇点的偏振场,提出了动量空间中光场调控的新思路,开辟了光子晶体在全偏振态、涡旋光束生成和光束位移操控方面的新应用。由于周期性光子晶体无几何中心,因此不需光学对准,具有应用价值,成果被评为2020年度中国光学十大进展,入选ISI高被引论文。日本NTT首席科学家Notomi在Nat.Photon.上以"动量空间中的拓扑成真"为题对团队工作进行专题报道,给予高度评价。 在技术突破方面: ①在国际上首次实现了广谱符合阿贝正弦关系的动量空间成像光谱设备。其中动量分辨率小于1.7毫弧度,实空间分辨率小于600纳米,相位分辨率小于40毫弧度,最大偏振度误差小于1%,波长分辨率小于0.1纳米。 ②结合产业需求和动量空间成像光谱技术的优势,提供了一系列产业问题的分析解决方案,包括利用动量空间偏振依赖的辐射分布量测发光分子三维取向分布和利用动量空间光子色散关系逆向量测微纳结构纳米精度的三维形貌等。实测结果达到亚纳米分辨稳定性和98%以上的置信度,测量膜厚与计量认证厚度差异小于5埃。 ③相关成果授权发明专利9项,在申请PCT国际专利2项。
复旦大学 2022-08-15
自然真空低温蒸馏海水淡化装置
自然真空低温蒸馏海水淡化装置,其目的在于克服现有的利用太阳能海水淡化装置,维持蒸发器内真空需要大量电能,供水和蒸发后浓海水排放也需要消耗大量泵功,因而工程造价较高的弊端,本装置利用海水重力和大气压力自然方法产生真空,在这一真空状态下海水可以在较低的温度下蒸发,所需能量比传统方式少;淡化后排放的浓海水的热量通过热交换器进行回收,用于加热给水,蒸发出来的蒸汽可以利用海水给水在冷凝器中进行冷凝,系统热效率高;在蒸发器内海水液面的低压条件下,给水和浓海水可自行进入和排出蒸发器,淡水也可自行进入淡水箱,装置不必安装给水泵和排水泵;特别是可使用低位热能,如余热、太阳能等,具有较高的综合能源利用效率,可用于海岛、沿海缺水和苦咸水地区的水淡化处理。 其特征在于: 1.海水给水管与蒸发室连接段设置一套管回热器,它包括有一个环形管和内管,其环形管进水端与蒸发室底部连通,出水端与浓海水排水管连通;其内管一端与海水给水管连通,另一端与蒸发室内的喷淋器连接; 2.蒸发室内海水液面与海水给水箱内海水液面之差在7—9.5米之间; 3.海水给水箱的液面高于浓海水箱内的液面,而且喷淋器与海水给水箱液面的高度差大于蒸发室内液面与浓海水箱内液位的高度差。 喷淋器底部均布喷淋孔,使海水均匀地喷淋在太阳能蒸发盘管上。 冷凝器其冷凝介质可以采用空气,也可以采用海水给水箱中的海水进行冷凝。 该装置可以用于海水淡化,也可以用于苦咸水的淡化,加热热源可以是太阳能,也可以是废热、余热等其他低温热源。
上海理工大学 2021-04-11
核心真空电子器件关键技术
项目研制出倍频程和1.5倍频程宽带低二次谐波连续波行波管,二次谐波由-3 dBc降低到-7dBc,是目前国内外此类行波管综合技术水平最高的指标。并且研制出了国际上第一只高效率W波段脊加载曲折波导行波管及第一只V波段曲折波导宽带行波管。该项目获得四川省科技发明一等奖。
电子科技大学 2021-04-14
一种用于真空环境的减振器
本发明提供了一种用于真空环境的减振器,包括一腔体,腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧,气缸的侧臂连接高压气源,气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮,腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件,其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时,消除了减振器对周围环境的气体排放,维持设备较低的重心提高设备的稳定性,可广泛应用在 EUV 光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。
华中科技大学 2021-04-14
SHZ-D(Ⅲ)循环水真空泵
产品详细介绍 该泵是在循环水多用真空泵的基础上,根据实验室面积较小这一特点,参照日本台式泵,一次性成型外壳,缩小体积改进而成,具有体积小,重量轻,外型美观等特点,双表、双头抽气,四表四抽头,双面相同的多用真空泵,即便于教师直观演示,学生亦可在任意一面开机、关机。(1)本机采用双抽头,可单独或并联使用装有两个真空表。(2)新改进防腐四抽头,可单独或并联使用装有四个真空表。(3)主机采用不锈钢机芯和防腐材质机芯两种型号制造。(4)耐腐蚀、无污染、噪音低、移动方便,还可根据用户需要加装真空调节阀。(5)可同时有四名学生进行化学实验,缩小实验空间。
巩义市科华仪器有限公司 2021-08-23
真空干燥箱原理图下载
产品详细介绍   真空干燥箱专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计,能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥。广泛应用于电子和化工行业。 设计美观、结构合理、线条平滑、自然流畅带定时功能数显微电脑温度控制器,控温精确可靠。长方体工作室,使有效容积达到最大。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体,一目了然。箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶密封圈,确保箱内高真空度。工作室采用不锈钢板制成。确保产品经久耐用。真空泵:DZF-6020 DZF-6050选配真空泵        DZF-6090 DZF-6210标配真空泵 真空干燥箱规格型号:型号           工作室尺寸D×W×H   外型尺寸D×W×HYSL-DZF-6020   300×300×275mm     3605×490×450mmYSL-DZF-6050   415×370×345mm     3730×560×550mmYSL-DZF-6090   450×450×450mm     3610×680×1460mmYSL-DZF-6210   560×600×640mm     3720×820×1750mm 一、真空干燥箱技术指标:温度范围:RT+10℃~250℃ 温度分辨率:±0.1℃ 恒温波动度:±1℃ 达到真空度:133Pa定时范围:1~9999min工作环境温度:+5~40℃ 二、真空干燥箱使用条件环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃)环境湿度:≤85%RH电源要求:AC220V±10%   50±0.5Hz  单相三线制 真空干燥箱售后服务:1、安装调试:我司负责免费送货至客户指在地点, 并派专业技术人员免费安装调试,培训2~5名操作员到会操作为止。2、阳光售后服务承诺:公司产品均保修一年,终身维护。若产品出现问题,在接到报修电话15分钟响应,48小时内由我司专业维修人员上门处理。【北京雅士林】全球免费询价热线:4006 400 998   国内产品咨询:010-68176855
北京雅士林试验设备有限公司 2021-08-23
VKV型真空有载分接开关
VKV 型真空有载分接开关(以下简称分接开关)是一种典型的复合式分接开关,它把切换开关和分接选择器的功能合二为一,分接开关借助于开关头部法兰安装于变压器箱盖上。分接开关上还可加装转换选择器,有载分接开关不带转换选择器时,分接工作位置最多为12 个,带转换选择器时,分接工作位置最多为23 个。 VKV 型真空有载分接开关适用于设备最高电压40.5~126kV,最大额定通过电流600A,频率为50Hz~60Hz,三相接法为D接或Y接中性点调压的电力或工业变压器,在带负载的情况下变换变压器接头,来改变变压器的输出电压,以达到输出端电压稳定在规定范围之内;或根据载荷要求来达到增加或减少输出电压,以实现调整线路上的电压的目的。
山东泰开变压器有限公司 2021-08-26
全不锈钢真空碳管炉
产品详细介绍 全不锈钢真空碳管炉  产品编号:898435416  ◎产品说明  设备特点:  本电炉为周期作业式,广泛用于功能陶瓷、光学材料、碳复合材料、硬质合金、粉末治金等高温下进行上海烧结处理,也可在充气保护下成型烧结。  技术参数:  1、型号:ZT-20-22   2、 额定功率:20KW   3、 额定温度:2200℃  4、仪表控温精度:正负1℃   5、控温方式:钨铼热电偶+红外衣  6、工作区尺寸:直径80x100mm   7、冷态极限真空度:5x10-3 Pa   8、压升率:2Pa/h   9、电源电压:380V 50Hz 单相  10、充气压力:<0.03Mpa(可充氮气、氩气)   11、发热元件:石墨管(高纯石墨)  结构组成与说明  1、炉体:采用双层水夹层结构,"内层为不锈钢(1Gr18N9Ti)抛光。上、下法兰组焊筒形结构,法兰平面开设封闭槽。采用“0”圈真空密封,并设有水冷装置(防止因温度过高“0”圈老化)。开设有抽气、热电偶、红外仪等。  2、炉盖:采用双层水夹层封头结构,设有观察窗,屏蔽锁紧、开启装置,并通水冷。  3、炉底:采用双层水夹层封头结构,设有电极引出装置,支撑平台等,并设有水冷装置。  4、炉架:山型钢及钢板组焊成箱式结构,炉体安装放在箱体内,美观大方。  5、真空系统:又一台K-100扩散泵配冷阱,一台2XZ-8D直联泵、手动高真空蝶阀、真空压力表(Pa)、充气阀、放气阀和真空管路等组成,扩散泵采用金属波纹软管快速接头联接(减缓震动),真空度的测量采用数显复合真空计。  6、控制系统PLC控制:控制系统是由我公司自行开发人机对话操软件,画面显示友好,操作简单,要以炉内工况进行实时监测,软件彩色模拟屏显示,加热升温显示及真空阀门的控制都集成到电脑上操作,现场也可以手动操作,需要电脑操作时,直联由232接口连接到笔记本电脑上启动软件,可检测到各种状态,也可通过485通讯连接到办公室操作,本设备可采纳温度、真空度曲线和烧结时间,方便用户根据历史曲线分析烧结工艺。控温方式为1300℃以下热电偶升温。1000℃-2200℃红外仪表自动控制。压力控制可采用手动及自动方式。控制系统上设有过流、超温及断水等分类报警功能。  7、气路系统:整个系统中设有1个j进气口、1个放气口、可冲气氛。  8、电气控制:采用各种管道阀等相关装置组成,具有断水声光报警自动切断电源能。 
上海晨鑫电炉有限公司 2021-08-23
LH系列无油隔膜真空泵
一、产品简介: LH系列隔膜真空泵是我公司自主研发生产的新型隔膜真空泵。可以在无油状态下连续运转,噪音小,工作效率高,使用寿命长。我公司产品型号丰富,有不同的应用范围,有用作溶剂过滤装置的抽滤用泵,旋转蒸发仪配套的高真空度用泵,还有正负压两用型的泵,兼具真空泵和压缩机两种功能,大大降低您的实验室采购成本。 二、主要优点: 真空稳定,压力可调 体积小,重量轻 使用方便,无油,干净无污染 可持久稳定地工作,可连续24小时运作 维修和保养简单,可自行操作 三、主要应用场合: 真空蒸馏 反应釜 真空抽滤 真空浓缩 真空干燥 用于压缩和转换气体 四、技术参数 型号 LH-85 LH-85L LH-95D LH-85DL 抽气速度(L/min) 30 30 30 60 极限压力(Mpa) >0.085 (150mbar) >0.085 (150mbar) >0.095 (50mbar) >0.085 (150mbar) 进气口口径mm 9 9 9 9 正压力(Psi) — 40 — 40 级        数 1 1 2 2 电机功率(W) 180 180 180 180 尺寸 L×W×H (mm) 250×135×210 250×135×210 315×135×210 315×135×210 重  量 7.5 8 10 10 膜片材质 进口耐腐橡胶 进口耐腐橡胶 进口耐腐橡胶 进口耐腐橡胶 噪音(dB) <50 <50 <50 <50 功能 负压 正负压两用型 负压 正负压两用型  
临海市永昊真空设备有限公司 2021-12-13
医药型真空冷冻干燥机
产品详细介绍c 医药型真空冷冻干燥机 首页 > 产品展示 > 医药型真空冷冻干燥机GZLY系列真空冷冻干燥机  冷冻干燥机型号GZLY-2GZLY-3GZLY-4GZLY-5GZLY-8GZLY-10GZLY-15GZLY-20GZLY-25GZLY-30GZLY-40公称面积(㎡)23458101520253040容量搁板面积 1.982.964.45.57.7510.3314.7620.6324.3829.740.5冷阱捕水kg/批304560100160200300400500600800小瓶装ф22支3600530080001270017800237003390047400560006830093000ф16支980010000150002480034800464006640092800109700133600182200ф12支12600160002800035000490006530095700130400154000187700256000盘装液体L20406080120210300450500600850基本参数搁板尺寸长mm610610915915915121512151250125015001500宽mm810810121012101210121512151500150018001800搁板间距mm100100-120搁板数量层4+16+14+15+17+17+110+111+113+111+115+1搁板最高温度℃+70搁板最低温度℃<-50搁板温差℃±1冷阱最低温度℃<-70极限真空度Pa<10基础配置冷却水量<30℃0.15-0.2Mpam3/h4.24.561116202730333642冷却方式 水冷CIP-WIP,>65℃0.15-0.2MpaL/min100压缩空气量0.7-1.0Mpam3/min0.1除霜水(浸泡)50℃ 0.15-0.2Mpakg/批2703003504001200150020003000400050007000整机功率W 161820305884105125145170整机重量Kg260028003500420060007000900011000120001500020000外形尺寸长mm25003000360038005000640065007400820092009400宽mm12101200130015001500230023002300230024002400高mm27002700280029002800320034003800400040004500
北京唐林电子科技研究院 2021-08-23
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