一种用于真空环境的减振器

先进制造与自动化

本发明提供了一种用于真空环境的减振器，包括一腔体，腔体内设有由气缸和活塞构成的空气弹簧，气缸的侧臂连接高压气源，气缸底部与腔体底部之间、气缸内侧壁分别设有一气浮，腔体的两侧壁中间部分分别嵌入了一密封柔性连接件，其中一侧臂还设有用以连接抽气机的排气孔。本发明在具有优良减振性能的同时，消除了减振器对周围环境的气体排放，维持设备较低的重心提高设备的稳定性，可广泛应用在 EUV 光刻机、电子束光刻机等对真空要求严格的精密设备及测试平台。

未应用