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微
纳
材料表面纳米包覆技术和装备
华中科技大学
2021-04-14
硅
微
谐振式压力传感器
北京航空航天大学
2021-04-13
硅
晶圆
微
盲孔金属填充装置
华中科技大学
2021-04-11
硅
基
毫米波集成电路设计
电子科技大学
2021-04-10
硅
基
新一代锂电负极材料制备
南开大学
2021-04-11
硅
基
新一代锂电负极材料制备
南开大学
2021-02-01
硅
基
薄膜太阳能电池制备技术
南京航空航天大学
2022-08-12
宽波段
硅
基
探测器产业化开发
上海理工大学
2021-04-13
微
纳
尺度腔量子电动力学新原理
北京大学
2021-04-11
微
纳
尺度图纹压印模具的制作方法
华中科技大学
2021-04-14
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