微纳尺度图纹压印模具的制作方法

先进制造与自动化

微纳尺度图纹压印模具的制作方法，属于压印模具的精细加工

方法，解决激光干涉光刻制作模具条纹尺度不够精细，而电子束光刻

制作高精细图形速度过慢、不适于大面积制作的问题。本发明的一种

方法，顺序包括电子束光刻、一次干法刻蚀、激光干涉光刻、二次干

法刻蚀、纳米压印、微电铸步骤；本发明的另一种方法，顺序包括激

光干涉光刻、一次干法刻蚀、电子束光刻、二次干法刻蚀、纳米压印、

微电铸步骤。本发明结合电子束光刻制作精细和激光干涉光

未应用