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基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器
本发明的基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器,主要实现结构包括由悬臂梁耦合结构、T型结、间接加热式微波功率传感器和开关。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。功率通过第一间接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用间接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号,分别同两路等分后的参考
东南大学 2021-04-14
硅基已知频率缝隙耦合式T型结直接式毫米波相位检测器
本发明的硅基已知频率缝隙耦合式T型结直接式毫米波相位检测器是由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、T型结功分器、T型结功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构连接着两个直接式热电式功率传感器,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥所组成;直接式热电式功率传感器主要由共面波导传输线、两个热电偶和一个隔直电容所构成,每个热电偶
东南大学 2021-04-14
硅基已知频率缝隙耦合式T型结间接式毫米波相位检测器
本发明的硅基已知频率缝隙耦合式T型结间接式毫米波相位检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、T型结功分器、T型结功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共设置有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构连接着两个间接式热电式功率传感器,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导、扇形缺陷结构和空气桥所组成;间接式热电式功率传感器主要由共面波导、两个终端电阻以及热电堆所构成,热电堆是由两种不同的半导体
东南大学 2021-04-14
硅基微机械悬臂梁耦合间接加热在线式毫米波相位检测器
本发明的硅基微机械悬臂梁耦合间接加热在线式毫米波相位检测器,实现结构包括悬臂梁耦合结构、功率合成/分配器和间接加热式微波功率传感器。悬臂梁耦合结构中,两个结构相同的悬臂梁在CPW中央信号线上方,用于耦合部分待测信号,通过锚区与功率合成器相连,耦合信号的功率相等,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度为λ/8。悬臂梁下方的CPW中央信号线上覆盖了一层Si3N4介电层,用于防止电学短路。参考信号通过功率分配器分成两路信号,分别与两路悬臂梁耦合的信号通过功率合成器合成,功率合成器的输出端连接到间接加热式微波功
东南大学 2021-04-14
硅基微机械悬臂梁耦合直接加热在线式毫米波相位检测器
本发明的硅基微机械悬臂梁耦合直接加热在线式毫米波相位检测器,实现结构包括悬臂梁耦合结构、功率合成/分配器和直接加热式微波功率传感器。悬臂梁耦合结构左右对称,两个悬臂梁在CPW中央信号线上方,结构相同,用于耦合部分待测信号,通过锚区与功率合成器相连,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度为λ/8。悬臂梁下方的CPW中央信号线上覆盖了一层Si3N4介电层,用于防止电学短路。参考信号通过功率分配器分成两路信号,分别与两路悬臂梁耦合的信号通过功率合成器合成,功率合成器的输出端连接到直接加热式微波功率传感器进行功
东南大学 2021-04-14
硅基未知频率缝隙耦合式T型结间接式毫米波相位检测器
本发明的硅基未知频率缝隙耦合式T型结间接式毫米波相位检测器是由共面波导传输线传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、T型结功分器、T型结功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,其上有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导传输线传输线、扇形缺陷结构和空气桥所组成;间接式热电式功率传感器由共面波导传输线传输线、两个终端电阻以及热电堆所构成,热
东南大学 2021-04-14
硅通孔结构
本实用新型公开了一种硅通孔结构,其形成于硅片上,并包括掺杂粒子构成的导电区和绝缘区,绝缘区与所述导电区掺杂的粒子的极性相反,所述导电区表面覆盖有金属电极,所述硅片的表面除所述金属电极之外的区域覆盖有绝缘层。本实用新型硅通孔结构的优点在于:通过粒子掺杂方式形成硅通孔结构的导电区和绝缘区,导电区和绝缘区的基体都还是硅片本身,避免了目前硅通孔技术中金属和硅片热膨胀系数不同造成的热应力问题,能够提高器件的可靠性和寿命。
华中科技大学 2021-04-11
硅光子平台开发
已有样品/n成功开发了系列硅光子流片工艺模块和初版PDK,其中标准单元库主要包括单模波导、Y-分支、光交叉器、耦合光栅等无源器件,而最近有源工艺的成功开发,将向标准单元库中添加加热电极、调制器和Ge 光电探测器等有源器件。此次有源器件流片的成功,加上先导中心2016年上半年开发成功的硅光子无源工艺及器件(图3),使微电子所硅光子平台已具有为业界提供基于180nm工艺的硅光子流片服务的能力,成为国内首个基于8英寸CMOS工艺线向用户
中国科学院大学 2021-01-12
双面高温超导涂层导体
基本概念:双面高温超导涂层导体是指用薄膜沉积的方法将微米级高温超导薄膜材料制备在厚度为几十到一百微米、宽度为几毫米到几厘米、长度为百米到几千米的Ni合金薄带的两个表面上,使其具有承载大电流能力的带状材料。 主要功能与应用领域:在液氮温区,双面高温超导涂层导体具有每厘米宽度上承载几百安培、甚至超过1000安培电流的能力,并且适合高场下的应用,因此,特别适合于大电流、强磁场下的应用。双面高温超导涂层导体可用于大电流电缆、大电流限流器、高功率变压器、小型化强场磁体、高功率发电机、电动机、电磁弹射器、电磁储能器的制作。 图1 双面高温超导涂层导体结构示意图 图2 双面高温超导涂层导体样品照片 特色及先进性:本团队研制的双面结构高温超导涂层导体具有承载电流水平高、制作成本低的特点。我们采用溶液涂覆平整化+离子束辅助沉积+中频反应磁控溅射+金属有机化学气相沉积+直流磁控溅射的技术路线完成各层薄膜的制备,由于采用发明的基带自加热结合两面同时沉积的方法,带材成本大幅降低,制备效率显著提高。 技术指标:短样Jc大于1.8MA/cm2,双面Ic超过500A/cm;长度>10米,Ic>300A/cm。 能为产业解决的关键问题和实施后可取得的效果:本成果目前主要应用于电力电子、国防军事、以及医疗领域,应用前景广阔。超导电力技术是从根本上为降低电力系统损耗、提高电力系统输送能力、有效限制故障短路电流、提高电网的安全性和改善电力系统动态特性开拓的新技术途径,给电力、能源、交通等有关的科技业带来革命性的发展;利用高性能的超导带材研制的电磁弹射器与蒸汽弹射器相比,体积、重量减少一半,弹射能增加了50%,弹射效率提高了10倍以上,满足了重型舰载机弹射的需要;高性能的超导带材使得高能脉冲武器(激光、微波、粒子束)及电磁炮等新概念武器的实战化成为可能;采用高温超导磁体制成的核磁共振成像仪,损耗低(比铜低1000倍)、灵敏度高、信噪比好,可以大大提高成像质量、降低成本,这种超导磁共振成像设备不仅可以用在大型的医疗机构中,也可以用在小型诊所,对于提高生命的质量意义重大。
电子科技大学 2021-04-10
双面高温超导涂层导体
双面高温超导涂层导体是指用薄膜沉积的方法将微米级高温超导薄膜材料制备在厚度为几十到一百微米、宽度为几毫米到几厘米、长度为百米到几千米的Ni合金薄带的两个表面上,使其具有承载大电流能力的带状材料。
电子科技大学 2021-04-10
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