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高频辉光放电等离子体化学气相沉积（PECVD）装置
PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）—等离子体化学气相沉积，在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子，提供化学气相沉积过程所需的激活能，相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1）自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号；2）可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境，且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3）专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构，可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构，可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4）该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计，符合产品要求。
北京交通大学
2021-04-13
一种应用于扫描电镜中的加热装置
本实用新型提供了一种应用于扫描电镜中的加热装置，该装置包括：样品坩埚、加热芯陶瓷、电热丝、热辐射屏蔽结构，样品坩埚布置于所述加热芯陶瓷的上端；电热丝以双螺旋的形式缠绕于所述加热芯陶瓷表面，且对加热芯陶瓷加热，电热丝的材料为掺杂钨丝；热辐射屏蔽结构包括内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层、上不锈钢屏蔽层、次上不锈钢屏蔽层以及屏蔽底座；内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层层与层之间均为真空，上述三层的直径比例由热损失方程确定。本实用新型提供的加热装置加热效率高、体积小、屏蔽效果好，克服了现有技术中加热装置影响扫描电正常工作的缺陷。
浙江大学
2021-04-13
具有横笛状多孔喷头的高压静电喷雾装置及应用
本发明涉及一种具有横笛状多孔喷头的高压静电喷雾装置及应用。高压静电喷雾装置包括注射泵、给液器、导液管、横笛状多孔喷头、高压电源以及接收板，注射泵将给液器中的溶液经导液管推压进入横笛状多孔喷头中，横笛状多孔喷头固定在接收板上方，高压电源与接收板共同接地，高压电源正极与横笛状多孔喷头相连；横笛状多孔喷头的出液孔的孔径为大小一致的圆孔，或为不同大小圆孔排列设置。本发明采用横笛状多孔喷头，有效提升了单位时间内微纳米载药颗粒的产量，利用不同大小孔交叉组合的方式，为同时生产多种大小的微纳米载药颗粒提供了解决方案；多个联合组装使用，能够有效提升载药颗粒的生产速度，有望实现微纳米载药颗粒的大规模工业化生产。
浙江大学
2021-04-13
一种带气液分离的制冷剂分流装置
本发明公开了一种带气液分离的制冷剂分流装置，该装置由两相流体进口管、液体分液头、气液分离器容器、气液分离器容器上部封头以及顶部气体出口管组成，两相流体进口管一端与节流机构的出口端相连，另一端从液体分液头的中心穿过进入到气液分离器容器中，并与液体分液头焊接密封，进入气液分离器容器的两相流体进口管端部密封，而在其紧靠端部的下方侧面均匀分布有出口，两相流体由此进入气液分离器容器，气液分离器容器的作用主要是将从两相流体进口管出来的气液两相的制冷剂分离成集聚在容器下方的液体和寄居在容器上部的气体，本发明通过气液分离器容器有效地将制冷剂蒸汽与液体分离，保证了液体的均匀等量分流，并具有成本低、体积小的特点。
华中科技大学
2021-04-13
恶劣天气下激光助视距离选通夜视成像装置（产品）
成果简介：激光助视距离选通夜视成像技术利用近红外脉冲激光照射目标场景，并在目标场景反射光到达光电成像系统时将成像系统选通开启，可有效 滤除照明路径上的后向散射，大大提高了光电成像的图像信噪比和对比度。 主要用于恶劣气象(黑天、雾/霾、雨/雪等)条件下的远距离光电成像观察， 较传统工业摄像机模式具有更远的观察距离和图像清晰度。本项目在军口十五预研距离选通成像关键技术和 863 计划脉冲激光距离选通成像系统集成与 精密控制电路研究的基础上，进
北京理工大学
2021-04-14
面向工业废气 VOCs 治理的低温等离子体发生装置
成果简介：面向工业废气 VOCs 治理的低温等离子体产生 装置是工业废气 VOCs 治理的关键装置，该装置能够产生破坏 VOCs 的高能电子、原子氧等活性粒子，对通过低温等离子体 产生装置中的工业废气 VOCs 进行有效分解，特别适合大流量 的工业废气 VOCs 的治理要求。面向工业废气 VOCs 治理的低 温等离子体产生装置包括低温等离子体发生器和高频高压电 源，其中的低温等离子体
合肥工业大学
2021-04-14
一种用于大型非平整表面沉积的装置及方法
本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。
华中科技大学
2021-04-14
一种基于微环谐振器的时域隐身装置
本发明公开了一种基于微环谐振器的时域隐身装置，包括依次 连接的光频率梳发生器、微环谐振器、单模光纤、马赫曾德尔调制器 和色散补偿光纤，与微环谐振器连接的任意波形发生器以及与马赫曾 德尔调制器连接的码流发生器；马赫增德尔调制器利用调制电信号对 形成了时间缺口的光信号进行调制并输出已调光信号，已调光信号经 过所述色散补偿光纤缝合时间缺口并恢复光信号，在时域上实现了对 信号的隐身。本发明采用的微环谐振器相较于时间分割棱镜来
华中科技大学
2021-04-14
一种用于动态无线充电的装置及其参数获取方法
本发明公开了一种用于动态无线充电的装置及其参数获取方法， 包括能量发射模块和能量接收模块；能量发射模块包括依次连接的高 频逆变单元、LC 滤波单元、第一补偿单元和功率发射线圈；高频逆变 单元将直流源转换为高频交流电，经过 LC 滤波和第一补偿单元的调节后，以高频磁场耦合方式发射能量；能量接收模块包括依次连接的 功率接收线圈、第二补偿单元和不控整流单元，将接收的高频交流电 转换为直流供给负载。本发明能够根据功率线圈的互感耦合程度自动 地调节原边功率线圈电流，从而获得保持稳定输出功率的特性，适用 于宽偏
华中科技大学
2021-04-14
一种深海滑翔机的浮力调节装置和方法
本发明公开了一种深海滑翔机的浮力调节装置，包括内部油箱、双向液压泵、第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、直流电机、单向阀、外部油囊、电机控制器、气体压力传感器、温度传感器、控制器、集成阀块、一对同步带轮、同步带、支架和气囊，内部油箱和外部油囊的轴线重合，且分别设置于支架的两端偏下的位置，气囊设置于内部油箱中，第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀和单向阀安装在集成阀块上，集成阀块、直流电机和双向液压泵固定安装于支架靠近外部油囊的一端，两个同步带轮分别安装在直流电机的输出轴和双向液压泵的驱动轴上，并通过同
华中科技大学
2021-04-14