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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
一种降低离心泵承磨环磨损程度的装置
本发明公开了一种降低离心泵承磨环磨损程度的装置，包括高压清水泵(1)、承磨环(4)、叶轮(10) 和离心泵(13)，高压清水泵(1)依次通过输水管(2)、水封管(3)、离心泵(13)的泵壳孔(7)与中心开有径向孔 (6)的承磨环(4)相连通，承磨环(4)设置在离心泵(13)的泵壳底部，承磨环(4)的近吸水室侧底面(9)与叶轮 (10)进口外缘的间隙 L1 小于承磨环(4)的近压水室侧底面(12)与叶轮(10)进口外缘的间隙 L2。本发明成本 较低，便于推广;能够使水泵的泄漏损失减少，使得水泵的效率提高;能大大降低承磨环的磨损程度， 使水泵长时间保持高效运行。
武汉大学
2021-04-13
大型风电叶片磨抛移动式加工机器人系统
本成果提出了一种新型的移动式磨抛加工机器人方案，实现了具有高转动输出特性的并联机构构型创新设计与尺寸参数优化，建立了机器人整机高刚度高能效设计方法，开发了高能量密度关键驱动单元，搭建了开放式机器人控制系统并研制了移动式混联磨抛机器人系统样机，攻克了机器人精度保证难题并实现了末端执行器的准确定位。
项目研究了曲面自适应的主被动耦合柔性磨抛法兰，建立材料去除模型以研究进给速度与接触力同步耦合规划方法、开发了面向大型风电叶片磨抛加工余量检测的原位视觉测量系统，进行了面向大型风电叶片磨抛的原位视觉测量-余量补偿-力控加工的自适应打磨与验证，为大型风电叶片力控磨抛工艺系统设计提供了理论基础和实现手段。
并且项目研制基于玻璃钢叶片高光反射表面三维激光扫描测头，构建了面向超大叶片的多移动机器人协作型激光三维测量系统，并完成了大型风电叶片测量软件的开发，实现风电叶片高精度定位以及健壮、高效高精的多机器人协作测量与叶型分析。
【技术指标】
【市场前景】
目前机器人打磨技术在汽车零部件、五金卫浴、3C电子、工业零件、医疗器械、航空航天和轨道交通等行业已经有较为成熟的应用。但相对焊接、喷涂、搬运码垛等机器人应用来说，打磨应用规模还比较小，随着人口红利的消失、产品成本降低和产品质量提高的要求，这一细分领域也蕴涵着巨大的发展潜力。近几年，我国打磨机器人行业市场规模快速增长，从2012年的15.58亿元增长到了2022年的96.1亿元，年均复合增长率达到18%，未来随着劳动力结构的改变及智能制造的发展仍有开拓增长空间。
华中科技大学
2023-07-19
一种通用的异构加密云间的数据共享方法
本发明公开了一种通用的异构加密云间的数据共享方法，属于 计算机安全技术领域。本发明包括：加密云存储系统内数据共享及异 构加密云存储系统间数据共享。系统内数据共享，用会话密钥对数据 加密，再用发送方的私钥加密会话密钥，云端使用用户授权的重加密 密钥重加密会话密钥，最后将数据密文和重加密密文发送给接收方。 系统间数据共享，首先为非发送端系统内的用户绑定临时身份，并生 成对应的临时公私钥对，然后按照系统内共享步骤生成相应的
华中科技大学
2021-04-14
一种基于超声图像内容实现层间测距的方法
本发明公开了一种基于超声图像内容实现层间测距的方法。包含以下步骤:从大量已知间距的斑块 对中提取帧内特征与帧间特征;将所得帧内特征与帧间特征作为输入参数，已知间距作为输出参数，投 入高斯过程回归进行训练，得到训练好的回归器;对于随机选定的斑块对，计算其对应的帧内特征与帧 间特征，作为输入参数，投入已经训练好的回归器，可直接得到输出参数，作为预估的斑块间的距离。 本发明方法不再依赖于固定的标准解相关
武汉大学
2021-04-14
一种淡水鱼肌间小刺软化工艺
淡水鱼产量的可持续增长依赖于其加工业的发展,市场上出现了一些利用淡 水鱼加工而成的产品,如鱼糜、鱼头豆腐、鱼罐头、风味休闲鱼干、醉鱼等,但由 于各种原因,这些产品总产量规模不大,淡水鱼加工率仍不足总产量的,明显制约着淡水鱼产业的可持续发展。已有产品所用的加工技术,均会受到一般淡水鱼鱼肉多肌间小刺特点的影响。传统罐头鱼采用高温蒸煮,但由于没有经过失当的脱水预处理,因而热处理时间不能过长,只能满足微生物学安全性要求,否则会使鱼肉质地溃烂,影响消费者接受性,因而,这种热处理强度不能使鱼肉肌间小刺得到有效软化。风味休闲鱼干制品技术,虽然可以实现鱼刺酥化目的,但一般采用高温油炸工艺,使产品带有过多脂肪,并且影响鱼肉形态。本发明可使多肌间小刺的淡水鱼块在保持形态完整的前提下使其中的鱼刺得到完全软化；利用这种发明处理后的鱼块，经过适当调理，可加工成各种淡水鱼成品；本发明可拓展淡水鱼的加工利用范围，促进淡水鱼加工率的提高。
专利的技术水平：
热风干燥：将盐渍后的鱼块在 40-45℃温度条件下热风干燥至鱼块内水分质量百分含量 40%-50%范围。
加压热风高温处理：将热风干燥后的鱼块,置于加压热风柜内,在 0.2-0.3MPa 压强条件下,利用 125-135℃的热风作加热介质处理 20-40min,处理结束后,在相同的压力条件下利用冷风使鱼块冷却到 30-40℃,即完成处理操作。
江南大学
2021-04-11
回旋行波管耦合输入结构
该发明提供一种回旋行波管耦合输入结构，用于解决传统结构插入损耗大的问题，该结构包括圆波导及垂直加载于圆波导的矩形波导，所述圆波导的电子注输入段设置有一个以上矩形凹槽，所述矩形凹槽位于耦合输入结构的对称面上。与矩形波导的截面中心距离为（1/2+n)λ、n为正整数，其中λ为圆波导中心频点TE11模的波长；所述矩形凹槽的长、宽由对应的工作频段与耦合量决定，深度为1/8λ´-3/8λ´、其中λ´为矩形凹槽对应尺寸的矩形波导的TE10模的波长。该发明有效减小输入电池波的插入损耗，且通过增加矩形槽的数量和调节矩形槽的结构参数，能够工作于不同需要的宽频带范围；结构简单、加工方便。
电子科技大学
2021-02-01
智慧城市管廊检测项目
产品服务:项目主要是针对现有的二级三级城市地级市等城市的城市交通管廊检测，目前我们已经在谈的是整个东莞市区的城市污水管廊和电力管廊，和东莞市水务集团下属的管廊管理公司签订了战略合作，帮助他们对整个东莞市的污水管道进行基础检测，信息编码登记，污水处理，污泥和固废烧制成石膏或者水泥。整体来说每年的营业收入在1.5亿人民币到2亿人民币。盈利模式包括：检测，疏通，维护，修复，等。目前预计2020年11月份完成一公里左右的检测和修复，同时完成10个智能井盖的更换和检测。针对此项目的发展规划是依托同济大学电子信息与工程学院的技术支持，社会上寻求施工团队和资质拥有方合作，每年持续的接东莞的项目和整个东莞市智慧管廊的信息化建设。 商业模式:盈利模式包括：检测，疏通，维护，修复，等。
同济大学
2021-04-10
多功能射流清管器
本发明涉及一种输油管道清管器，尤其是一种多功能射流清管器，其包括同轴线安装的推进装置、检测装置与射流除垢装置，所述推进装置的主体为推进腔，包括大口径的输入腔、口径逐渐变小的锥状腔以及小口径的输出腔，所述检测装置包括流体腔和由无损检测探头、位移传感器和数据存储器组成的检测模块构成，所述射流除垢装置包括呈喇叭状的射流腔体与射流喷嘴。本发明利用高压射流除垢原理，除垢效率高，同时可进行除垢效果检测和管壁缺陷检测，使得管道清洗作业与检测作业合二为一，作业效率高。
浙江大学
2021-04-11
器官获取用胆道灌注管
本实用新型专利属于医疗器械技术领域，具体公开了一种胆道灌注管，全长 2 0 0 . 0～ 2 2 0 . 0 cm，包 括灌注管本体，沿着灌注管本体的一端到另一端分别设有灌注液接头、流速显示管、流速调控装置、 防逆流装置和侧孔导管；所述灌注管本体的外径为5 .8～6 .0mm，内径为5 .3～5 .5mm；比现有的灌注管 （2.8～3.2mm）内径大很多，可以提高灌注液流动的速度；所述防逆流装置为套接在灌注管本体上的柱状 体，所述柱状体的侧面向内凹陷，同时柱状体的直径大于侧孔导管的直径，从而有效地防止进入胆囊的灌 注液逆流及胆汁外漏
中山大学
2021-04-10