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二维模块式精密定位工作台（博实）
产品详细介绍：二维模块式工作台采用模块化设计，可将一维微动台通过对应的连接板自由组合成具有沿X轴方向和Y轴方向运动的微动台，行程从10um至200um。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司
2021-08-23
二维集成式精密定位工作台（博实）
产品详细介绍：二维集成式工作台通过柔性铰链机构对压电陶瓷进行直接或放大以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向和Y轴方向的两维运动，行程从10um至200um。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司
2021-08-23
PPC系列数字式精密定位控制器（博实）
产品详细介绍 PPC 系列数字式精密定位控制器采用模块化设计，将压电陶瓷驱动电源、微位移检测模块、控制模块集成为一体，通过驱动模块驱动压电陶瓷，由传感模块对传感器回馈信号进行检测处理，通过以DSP 为核心的主控模块对系统进行精密控制。用于对压电陶瓷致动器及工作台的精密定位控制。主要特点·模块化设计，提供多种模块可由用户自由组合； ·采用 DSP 芯片，内置 PID 算法，可独立完成对压电陶瓷的闭环控制； ·用户可自行修改 PID 参数，以实现最佳控制效果； ·多种控制模式，方便用户灵活应用； ·有标准计算机 EPP 接口，可通过计算机进行高速控制； ·计算机可对多台仪器进行级联控制； ·全部工业级芯片，保证系统高可靠性； ·可靠的电路优化及抗干扰设计，保证了高稳定性及极低的静态纹波； ·采用德国 RITTAL 机箱、 LEMO 连接器，输入输出高可靠性； ·中文液晶显示、薄膜按键，操作简便； ·型号齐全，配置灵活； ·提供上位机控制软件，用户可通过软件完成对压电陶瓷开环、闭环应用； ·提供 EPP 接口驱动程序、动态链接库文件，方便用户自主编程。 控制模式简介·控制器 / 上位机开环控制 用户可通过控制器或上位机将驱动通道及传感通道隔离。利用驱动模块进行工作台控制，利用传感模块测量控制结果。此状态下用户可完成压电陶瓷致动器的开环迟滞、蠕变、温度及机电特性的研究。 ·控制器 / 上位机闭环控制 用户可通过控制器自有的数字 PID 算法，利用上位机或控制器键盘输入期望的目标定位值，完成闭环控制，并输出控制结果到控制器显示或传送到上位机。 ·模拟开环 / 闭环控制 用户可以通过传感模块的模拟输出和驱动模块的模拟输入信号，自行选择控制方法进行模拟开环或闭环控制实验。
哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司
2021-08-23
一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺，步骤为：①在基底上匀胶和光刻显影，形成叉指形状的光刻胶图形； ②将基底在保护气氛下进行热解，形成玻碳叉指电极；③在玻碳叉指 电极上匀胶并光刻显影；④再次热解，得到具有气体敏感材料和加热 部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成 加热部件和气敏部分，不需要另外加上检测电路，以及另外旋涂敏感 材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体， 而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺，相对于现有的气敏传 感器的加热部件具有尺寸小，耗费能量小，制作简单的优点。
华中科技大学
2021-04-11
一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺，步骤为：①在基底上匀胶和光刻显影，形成叉指形状的光刻胶图形；②将基底在保护气氛下进行热解，形成玻碳叉指电极；③在玻碳叉指电极上匀胶并光刻显影；④再次热解，得到具有气体敏感材料和加热部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成加热部件和气敏部分，不需要另外加上检测电路，以及另外旋涂敏感材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体，而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺，相对于现有的气敏传感器的加热部件具有尺寸小，耗
华中科技大学
2021-04-14
机械零部件CAD/CAE三维设计与分析集成设计技术
计算机辅助工程（Computer Aided Engineering，CAE）分析是利用有限元分析、数值分析以及图形图像等技术模拟产品的实际工况，从而获取产品的静动态性能指标。采用CAE 分析技术，能大大缩短产品的开发周期，优化结构，降低成本，提升企业的市场竞争力。此项技术已广泛于航空航天、汽车、机车、电子、土木等各行各业，是企业产品创新设计时的不可缺少的有力保障。但CAE分析模型的建立异常冗繁，且有限元分析理论和相应的软件使用对于企业技术人员来说，仍是一个难点问题，为此，利用VC++和APDL等开
河海大学
2021-04-14
一种大幅面零部件的增减材复合制造设备
发明公开了一种大幅面零部件的增减材复合制造设备，包括床身，床身上安装有多个用于增材制造的六自由度倒挂机器人和五轴·825·联动龙门铣床，多个倒挂机器人分布在龙门铣床的铣削头周围；倒挂机器人上设有增材制造设备，所使用的热源可以是高功率激光束或者电弧；增材制造设备在工作平台上进行单层或多层毛坯体制造，龙门铣床铣削头对单层或多层的毛坯体进行精加工和修整。本发明克服了大幅面复杂零部件铣削加工的困难和增材制造技术
华中科技大学
2021-04-14
基于Web技术的汽车零部件产品知识数据库系统
汽车零部件产品知识数据库系统主要用于汽车产品的自主开发设计。系统内可储存相关成熟产品的设计图纸、结构图片、及设计知识。为设计师进行新产品设计开发提供查询和参考。系统可运用关键词或图号或所属关系进行模糊查询，调用内存中的设计图纸、结构图片、及设计知识。实现技术支持的目标。 系统可实现权限管理，即根据不同的权限进行分级授权管理和存储调用AutoCAD、Pro/E、UG、CATIA等多种绘图软件绘制的工程视图，以及对相关图片、表格和测试报告等资料。并设计接口以兼容和调用采用其它设计计算模块，使其能有效的进行二次应用与管理操作
上海理工大学
2021-04-11
机械产品（汽车整车及零部件）性能预测及数字化设计技术
机械产品性能预测技术是在虚拟样机技术基础上，结合产品的特点和要求，在产品的设计阶段就对产品的性能进行预测。汽车动力学仿真研究所现有成熟的产品性能预测技术有：1．刚度，强度及承载能力预测；2．疲劳性能预测；3．固有频率，模态及动态响应分析； 4．撞击性能预测；5．温度场，热应力场分析；6．汽车整车性能分析；7．建模造型技术。
南京工业大学
2021-04-13
半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22