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高精度三轴加速度计产品工艺研发
已有样品/n针对产业界对MEMS 代工的迫切需求，微电子所科研人员以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关，致力于在现有8 英寸硅工艺线上实现与CMOS 工艺兼容的通用MEMS 加工平台技术，成功开发出大深宽比MEMS 结构刻蚀、MEMS 与ASIC 晶圆堆叠、TSV 电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产，最终实现了TSV的ASIC 晶圆、MEMS 结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺，并顺利交付首款三轴加速度计产品。
中国科学院大学
2021-01-12
可视化交互装配工艺规划及信息管理系统
Ø 成果简介：本项目通过建立一个基于虚拟现实技术的计算机装配工艺规划仿真分析环境，利用产品的CAD模型，在不制造实际模型的情况下，由装配工艺规划人员在计算机环境中对产品的装配工艺过程进行交互式的定义和分析，包括建立产品各组成零部件的装配顺序，空间装配路径，编制工艺文档，并分析装配过程中的装配精度和装配机构运动，从而大幅减少装配工艺规划周期和成本，同时，系统提供装配工艺过程动画录制功能，将规划好的装配工艺以三维动画形式纪录下来，并可以通过安装在装配现场的浏览终端，展示给装配人员，
北京理工大学
2021-01-12
城市污水生物膜强化脱氮多级A/O工艺
北京工业大学
2021-04-14
钛合金复杂梁框类构件五轴加工机床与工艺
北京工业大学
2021-04-14
一种 MEMS 陀螺仪芯片双面阳极键合工艺
本发明提出这样一种阳极键合工艺方法：将 MEMS 陀螺仪器件层沉积到临时高分子衬底上，完成金属电极沉积和 MEMS 结构刻蚀之后，将临时高分子衬底用化学机械抛光的方法去除。去除之后，将玻璃基体和玻璃盖帽分别紧贴 MEMS 结构的两侧，加电加热后一次完成双面阳极键合。这种工艺方法与传统的两次阳极键合分两步进行相比，更加节省成本，而且避免了第二次阳极键合对第一次阳极键合强度削弱这个固有缺点，使得产品可靠性提高。
华中科技大学
2021-04-14
燃烧过程中氮氧化物减排工艺及装备
通过燃烧装置改型、燃烧工艺及燃烧状态的精确调控，在不降低、甚至提高能量利用效率的基础上，以燃料发挥脱硝剂的作用，从源头降低燃烧、特别是燃煤过程中氮氧化物的生成量。该成果对推进节能减排事业具有重要的工程意义，该成果以锅炉原使用的燃料、 特别是煤粉作为脱硝材料， 相比目前的“烟气脱硝技术”具有成本低廉的明显优势，经济效益明显。
扬州大学
2021-04-14
城市污水一体化组合工艺处理反应器
本发明采取先深入研究城市污水传统A2/O工艺等同步脱氮除磷的优缺点、重点研究反硝化脱氮除磷的新技术原理，再开发同步脱氮除磷新工艺。本发明对单泥SBR系统、双泥SBR系统的反硝化除磷的原理与工艺进行深入研究, 以此为基础，按反硝化除磷原理进行一体化扩大设计（7920倍）, 研发出新的工程流程和示范设备系统, 获得成功，为城市污水的大规模处理与工程化应用奠定了基础。从而，解决了城市污水处理领域同步脱氮除磷的关键性、共性技术难题。 本发明开发的同步脱氮除磷新工艺，对比当前国内外同类相关技术
华南理工大学
2021-04-14
连续纤维增强复合材料3D打印工艺及装备
2014年，西安交通大学研究团队率先提出了一种连续纤维增强热塑性复合材料3D打印技术，将先进复合材料与3D打印工艺深度融合，突破传统复合材料基于模具制造的工艺理念，实现了具有复杂结构的复合材料构件低成本快速制造。研发团队在国家重点研发计划、国家自然科学基金等研究课题支撑下，攻克了连续纤维3D打印多项难题，形成了多项自主知识产权，填补技术空白，开发了连续纤维3D打印工艺装备，建立了复合材料多尺度界面
西安交通大学
2021-04-14
一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法，步骤为：①在基板上刻蚀盲孔；②在基板上沉积一层图案化介电质层；③刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁的介电材料，在基板上形成介电质孔；④在介电质孔上沉积一层导电材料，形成导电孔；⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层，填充导电孔；⑥刻蚀板背面，暴露出导电层，在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；使用二层图案化介电质层，降低了寄生电容，提升了互连电性能，适用于高速和
华中科技大学
2021-04-14
采用激光选区烧结工艺制备碳化硅陶瓷件的方法
本发明公开了一种采用激光选区烧结工艺制备碳化硅陶瓷件的 方法，包括以下步骤：按照预定质量比称取碳粉、碳化硅粉末、粘结 剂及固化剂倒入球磨罐内，并进行球磨以得到粘接剂-碳化硅混合粉 末；采用计算机对待制备的零件进行三维数字建模，并将三维数字模 型信息输入到激光选区烧结成型机，以所述粘接剂-碳化硅混合粉末为 原料，采用激光选区烧结快速成形工艺进行粉末烧结成型，以得到所 述零件的碳化硅素坯；对所述碳化硅素坯进行加热固化；将
华中科技大学
2021-04-14