一种仿壁虎脚微纳分级结构及其制造工艺

其它领域

本发明公开了一种用于仿壁虎脚微纳分级结构的制造工艺，包括：S1、使用LPCVD设备在洁净的硅片上热生长一层SiO₂薄膜；S2、在有 SiO₂层的硅片表面旋涂光刻胶并进行光刻，制备出圆孔阵列图形；S3、使用缓冲氢氟酸溶液对暴露出的SiO₂ 进 行 刻 蚀 ， 将 光 刻 胶 上 的 图 形 转 移 到SiO₂层；S4、在

未应用