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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
2021年教育部直属高校教师职称评审监管工作专家组现场检查中国地质大学（武汉）教师职称评审工作
为深入贯彻落实《关于深化高等学校教师职称制度改革的指导意见》《高校教师职称评审监管暂行办法》等文件精神，稳步推进部属高校教师职称评审监管工作，受教育部教师工作司委托，中国高等教育学会组织专家组于9月23-24日对中国地质大学（武汉）教师职称评审工作进行现场检查。
中国地质大学（武汉）
2021-09-27
地理科学学院杨德伟教授课题组在可更新能源转型的协同效益研究中取得新进展
为应对区域环境变化和全球气候变化，传统能源向可更新能源的转型已成为全球能源发展的重要趋势之一。然而，能源转型对区域环境经济的协同效益（co-benefits）或者伴生风险（co-risks），在全球不同区域的表现存在一定的差异。张家口作为全国唯一的可更新能源示范区和2022年冬奥会的协办城市，担负着京津冀城市群西北生态屏障的角色。因此，张家口在可更新能源替代方面的探索，社会、经济和环境的影响深远。研究运用构建的LEAP-Zhang模型在2016-2050年的分析显示，相对于常规发展情景，在由可更新能源替代、能源节约设备和产业结构优化等三个子情景构成的综合情景下，张家口的温室气体将在2030年达峰；可更新能源（风能、太阳能、生物质能、水电等）比传统能源（煤炭、石油、天然气等）在温室气体减排、就业容量和电力生产消耗等方面具有明显的比较优势。研究明确了可更新能源转型带来的协同社会环境效益，为国家能源转型探索提供了研究支撑。
西南大学
2021-02-01
《Joule》刊发北京航空航天大学材料科学与工程学院张晓亮教授课题组最新研究进展
无机铯铅碘（CsPbI3）钙钛矿材料由于不含挥发性有机组分，是有应用前景的光伏材料。通过使用表面配体限制晶体生长，将其制备成纳米尺度的量子点是得到稳定CsPbI3钙钛矿结构的有效途径之一。
北京航空航天大学
2022-06-14
苏州大学苏州医学院公共卫生学院柯朝甫课题组连续在Chest和BMC Medicine上发表最新研究成果
近日，著名医学期刊Chest和BMC Medicine分别在线发表了苏州医学院公共卫生学院柯朝甫课题组的最新研究论文:“Role of Pulmonary Function in Predicting New-Onset Cardiometabolic Diseases and Cardiometabolic Multimorbidity”和“Associations of handgrip strength with morbidity and all-cause mortality of cardiometabolic multimorbidity”。
苏州大学
2022-10-12
北京大学生命科学学院秦跟基课题组发现植物细胞分裂素信号途径重要新组分
植物激素在调控植物可塑性发育等多个方面均起到非常重要的作用。植物遗传学和分子生物学的发展使很多重要植物激素包括生长素、细胞分裂素、赤霉素、乙烯、脱落酸、茉莉素、油菜素内酯和独脚金内酯的信号通路得以解析。
北京大学
2022-10-10
云南大学化学科学与工程学院陈建华副研究员在Nature Materials发表有效免疫应力影响的可拉伸有机电化学晶体管文章
该项研究成果指出了一种能有效免疫复杂应力影响的可拉伸OECT及其传感器的新方法，通过结合有序蜂窝状半导体聚合物制备方法与双向预拉伸技术，成功研制了最高可拉伸至140%的OECT，且其输出特性在可拉伸范围内保持了高度稳定。
云南大学
2022-06-09
中国科学技术大学实现具有聚集可调双发射性质的三维手性分子碳纳米环
具有聚集诱导发射(AIE)和聚集诱导猝灭(ACQ)效应的双发射有机材料在文献中很少报道，通过调控这类有机分子的聚集程度可以实现多色荧光发射。中国科学技术大学杜平武教授课题组合成了首个具有聚集可调双发射性质的手性双环分子，并与杨上峰教授课题组合作，通过AIE效应实现了圆偏振发光性质（CPL）的增强。
中国科学技术大学
2022-07-11
超声、微波辅助水热合成氧化锌基的纳米复合颗粒用于气敏传感器的应用
使用超声、微波辅助水热合成的方法制备出不同相貌的ZnO、Cr ZnO、CoO ZnO等纳米复合颗粒，通过复合和掺杂改性，分别构建p-n结和形成催化活性位点，提高气敏性能。
上海理工大学
2021-01-12
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天；自适应光照变化并躲避强光的直射，获取待检测区域的图像序列，利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异，自动检测无人机等低空飞行器，并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的
华中科技大学
2021-04-10