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一种光刻机自动调焦
方法
及
装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置,其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面,再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝,由光电探测器接收光强信号,然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量,通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量,最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成,信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式,具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学
2021-04-14
一种复合波片光轴对准
方法
及
装置
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法及装置。将待对准复合波片的两片晶片装在支架上之后分别安装在固定、旋转波片卡盘上;从光源发出的光经过起偏器后形成线偏振光;通过待对准的复合波片后,线偏振光偏振态发生变化;根据探测器探测到的透射光强信号可进一步获得待对准复合波片相位延迟波动量的变化幅值;比较相位延迟波动量的变化幅值的相对大小;通过电控旋转台控制旋转波片卡盘转动,直至将复合波片的光轴对准到所要求的精度范围内。装置包括光源,起偏器,固定波片卡盘,旋转波片卡盘,旋转检偏器,探测器,电控旋转台,计算机,步进电机和电控旋转台控制器。该方法可以实现对复合波片光轴进行高精度对准,装置简易,操作简单。
华中科技大学
2021-04-11
一种热管式温度测定
装置
及
方法
本发明公开了一种热管式温度测定装置及方法,包括:传热模块、温度测量模块和机械模块;方法包括如下步骤: (1)根据管道形状对于管道壁面和装置的相对位置进行初步的判断; (2)选取合适的位置利用热管弯曲底座,良好契合管道外壁,进行固定并做测量前的准备工作; (3)位置固定结束,伴随着热管快速进行热量传递过程;在传感器进行温度测量时,每次应在读数相对稳定时记录; (4)每次测量结束后,在连杆和加紧弹簧的共同作用下,改变装置的位置,测量管道外壁多处温度,综合反映管道内部流体状况。本发明不需要将测温装置插入管道内部进行测量,满足了当管道内部高温高压条件时,不利于开孔测量的情况,能够更加准确的反映管道温度情况。
东南大学
2021-04-11
一种反馈型人工神经
网络
训练
方法
及
计算系统
本发明公开了一种反馈型人工神经网络训练方法及计算系统, 属于神经网络计算领域。一种人工神经网络训练方法,突触权重根据 神经突出两端的前馈信号和反馈信号调整,当神经突出两端分别为兴 奋前馈信号和兴奋反馈信号时,该突出权重调整到最大值,当神经突 出两端分别为静息前馈信号和兴奋反馈信号时,该突出权重调整到最 小值;一种反馈型人工神经网络计算系统,节点电路包括计算模块、 前馈模块和反馈模块,节点电路通过忆阻器模拟的神经突出相
华中科技大学
2021-04-14
网络
视频和电视节目的在线查询和播放控制
方法
及
系统
本发明公开了一种基于移动终端的网络视频和电视节目的在线查询和播放控制方法,包括:服务器端提取并存储互联网视频网站上的视频信息;服务器端利用视频信息中的视频源网页地址,获取视频源网页源数据,从而提取视频源真实地址并存储;服务器端根据电视节目预告网站网页数据编排,提取节目预告信息并进行存储;移动终端作为客户端通过网络视频提取信息进行在线查询获得视频信息,以进行在线播放,通过节目预告信息进行在线查询并遥控电视机进行电视节目播放。本发明还公开了一种在线查询和播放控制系统。本发明通过对网络上的各类视频源信息或
华中科技大学
2021-04-14
一种基于软件定义
网络
的安全防御系统
及
防御
方法
本发明涉及一种计算机安全技术领域,特别涉及一种基于软件定义网络的安全防御系统及防御方法, 包括:网络控制模块、攻击分析模块、进程检测模块以及网络流量检测模块。网络控制模块拦截虚拟机 之间的网络数据包并将获取的流量信息转发至攻击分析模块,攻击分析模块接收来自网络控制模块的虚 拟机间的流量信息,并调用进程检测模块检测进程是否可疑,必要时调用网络流量检测模块对可疑流量 进行更深层的检测。本发明针对当前虚拟机服务器中用于各虚拟机之间流量转发的虚拟交换机
武汉大学
2021-04-14
基于本体模型的
网络
化控制系统入侵检测
方法
及
系统
本发明公开了一种基于本体模型的网络化控制系统入侵检测方法及系统。该方法构建网络化控制系统本体模型,基于该模型进行入侵检测,并权衡决策后得到最终检测结果。系统包括主节点,多个从节点,和负责消息传递的工业通信网络;主节点负责完成自身的主机活动审计数据的收集、所有网络报文的收集、主节点对应的控制闭环流的检测、控制对象检测、整个系统所有节点主机活动审计数据的检测、网络活动检测以及检测结果的协调;各从节点负责完成该节点对
华中科技大学
2021-04-14
一种基于社会
网络
的
网络
舆情行为分析
方法
本发明公开了一种基于社会网络的网络舆情行为分析方法,首先基于网络新闻或者帖子之间的相似度建立起一个网络舆情事件社会网络,然后通过分析社会网络参数随时间的变化以及参数之间的对比,自动的实现网络舆情的识别和网络舆情事件紧急程度的评估,方便相关政府部门更有效的监控和管理网络舆论。
电子科技大学
2021-04-10
标识
网络
体系
及
关键技术
随着科学技术的发展,互联网用户数量及应用规模不断扩大,传统互联网日益暴露出安全性、移动性、可扩展性及服务质量差等严重问题,无法满足当今乃至未来网络的需求。因此,迫切需要构思和设计全新的互联网体系与机制。近年来,国际上对新型互联网体系与机制的研究极为重视,美国和欧盟自2007年起,相继启动了FIND、FIRE和FIA等计划,但至今尚未见到综合有效解决上述问题的方案。/line在这种背景下,“标识网络体系及关键技术”项目以自主创新为主要手段,提出了新型互联网体系的构思,并获得国家973、863等科技计划的支持。项目组发明了标识网络体系及关键技术。
北京交通大学
2021-04-10
一种门座式起重机形变倾角在线
监测
系统
及
方法
本发明提供了一种门座式起重机形变倾角在线监测系统及方法,具体包括:倾角硬件采集模块,LTE_4G通信模块,MCU处理模块,监测软件模块;门座式起重机力学结构分析和倾角监测原理;所属倾角传感器和处理器通过SPI通信传输,所属下位机采集模块和监测软件模块通过LTE_4G网络实现信息传输。根据多个倾角传感器采集的信号,进行数据处理分析后,监测软件动态显示象鼻梁的变形程度,得到其安全状态。实验结果表明,本发明方法能够有效监测门座式起重机象鼻梁倾角及其变形的动态数据。
东南大学
2021-04-11
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