本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。

产品详细介绍至尊8188亚克力防盗仪 产品编号：323 型　号：至尊8188(SSLT-EM-2008A) 品　牌：盛世龙图 档　次：高档 推荐指数：      特点描述： 采用纯进口全亚克力材料设计、耐磨性强、晶莹剔透，报警灯光采用全反射、全迷幻效果设计，先进的液晶显示人次统计系统，具有精确的报警和超高的检测率，通过公安部安全与警用电子产品质量检测中心检验，是国内外高档图书馆、大型书城、书店、图书馆、药店、音像店、化妆品店、部队等首选产品，现大量出口国外50多个国家。 具体说明： ◆ 保护宽度： 单通道75-120厘米。 ◆ 灵敏度高：采用DMPD（动态多相位检测）技术，最短可以探测3厘米的磁条，高保障地检测目前市面上的全部磁条产品。 ◆ 稳定性好：拥有世界上最先进的DSP技术，完美确保系统的稳定性与可靠性。 ◆ 无误报：先进的检测仪自检能力，有效识别、过滤外界干扰源，实现行家客户要求的高报警、无误报的理想效果。 ◆ 抗金属能力强：自主开发的智能数字化微电脑控制技术和三环同步递归滤波技术，空前提高系统的抗金属干扰的能力，并对抗金属干扰进行自由调节。 ◆ 保护范围广：不仅可以保护图书、药品、化妆品、音像制品，还可以保护U盘、MP3、MP4、移动硬盘、笔记本电脑等电子产品。 ◆安全技术检验：通过公安部安全与警用电子产品质量检测中心检验。 ◆生产工艺：按照公司通过的ISO9001：2000质量管理体系认证要求，高标准、高质量组织设计、生产与服务。 ◆ 技术针对性强：针对大型书店、图书馆、药店、音像店、化妆品店等的安装要求设计。 ◆ 极具视觉冲击力的设计：外观设计高雅大方，选用日本进口亚克力材料、透光性强、抗磨性强、不变形；报警灯光采用全反射、全迷幻效果设计； ◆ 先进的进店客流人次统计功能（三种模式）：可通过独家开发的可视液晶模块实现总人数历史统计（无需计算机、默认配置）；可通过连接计算机实现当日和历史客流流量的统计、分析、报表生成等（需计算机）；通过主机内置模块实现当天人次统计。 ◆ 符合绿色环保标准：产品功率小于5瓦，使用寿命长、耗电量少，对人体无辐射。设计与制造完全符合美国联邦通讯委员会（FCC）颁发的有关无线电频率、信号强度、电磁干扰（EMI）及其它方面的规定。 ◆ 性价比高：国际品质、国内价格  技术指标：  ◆ 综合报警率 98% ◆ 报警方式: 声光报警（报警灯采用全反射、全迷幻效果设计） ◆ 探测范围： 高：5-165cm 宽：75—120cm ◆ 信号处理： 数字式-DMPD（动态多相位检测）技术、DSP多重滤波技术 ◆ 制作材料：纯进口亚克力材料，不变形、不变色、晶莹透亮、抗磨性强 ◆ 无故障时间≥80000小时 ◆ 外型尺寸：150 cm*48cm*3cm ◆ 天线功率： 3.6W-5W ◆ 工作电压：AC:220V±20%、50Hz ◆ 安装形式：底座式、金属扣槽式、预埋管式、切割扣槽式

本实用新型公开了一种可移动的植物组织培养育苗的炼苗装置，该炼苗装置包括炼苗框架、由若干层隔板将炼苗框架分割成若干放置组培苗的炼苗室和安装在炼苗框架外侧的炼苗窗组成。本实用新型的可移动的组培苗炼苗装置运行稳定，具有防雨、调整光强度、试管苗受光均匀、随意移动等功能，不受炼苗场地的影响，本炼苗装置可以随时调整试管苗受光面，摆放试管苗时可以在瓶与瓶之间不留空隙，因而提高了炼苗空间的利用率，缩短了炼苗时间，提高了炼苗效率。

目前重金属及含砷废水的处理是世界性难题，缺乏有效的处理技术，尽管生物法、电解法、混凝、吸附、反渗透技术等能达到一定的处理效果，但存在处理成本过高、能耗大 、操作困难、易产生二次污染的问题，难以被企业接受。本项目针对混合重金属废水处理成本高、出水难达标的难题，基于纳米铁(nZVI)的核壳结构理论，合成一种经济高效、协同去除废水中多种金属的高活性铁基材料，即结构态羟基活性亚铁（SRF），具有大于传统材料10000倍以上的比表面积和界面反应活性，它具有纳米铁的反应活性，但是克服了纳米铁昂贵的成本，对废水中的重金属离子具有高效网捕功能。但避免了表面钝化、团聚带来的nZVI活性降低、颗粒增大、反应效率低的问题。SRF是无毒、无害、无污染的绿色试剂，通过吸附、还原、共沉淀的方法去同步除水中的重金属离子和砷，而且适用pH范围广，产泥量少，成本低。能广泛适用于各类重金属工业废水处理（如冶金、电镀、化工、电路板、皮革等行业产生的重金属废水），并有利于实现金属资源化利用，具有较好的市场前景。 课题组相继承担国家级项目（863计划项目3项、国家自然科学基金2项、国家科技支撑计划2项）和省部级项目（上海市、教育部、江苏省）二十余项，并获得上海市技术发明一等奖一项，上海市技术发明二等奖一项，中国国际工业博览会创新奖一项。目前拥有难降解工业废水处理处理及相关领域发明专利十多项。课题组目前主要研究难降解工业废水深度处理相关课题，在金属废水处理方面，已承担自然科学基金项目“纳米铁壳层物种反应活性及原位矿物转化同步除砷机制”。 市场前景： 近年来我国经济快速发展，工业布局、产业结构没有明显改善，工业生产工艺、污染治理水平没有有效提高，全国涉重金属重点行业产能产量持续增加，重金属污染物排放量（铅除外）仍在增加，一些污染物排放量增幅还很大（汞增幅为26％）。我国重金属污染较为严重，主要体现在以下两个方面：一是重金属污染物产生和排放量大，根据第一次全国污染源普查结果，2007年全国废水中铅、汞、镉、铬、砷等五种重金属产生量为2.54万吨，排放量近900（897.3）吨。大气中上述五种重金属污染物排放量约9500吨。列入国家危险废物名录中含上述五种重金属的危险废物产生量为1690万吨。再一个是重金属污染的危害是影响较为突出，重金属土壤污染会导致农作物中重金属超标，从而影响人体健康；一些地方由于重金属的大气污染或水污染导致人体健康受到损害或威胁，对群众健康造成了严重威胁。据统计，在2011年1到8月，全国发生了11起重金属污染事件，对周边生态环境的影响范围之广、对民众生命健康的危害之大，引发了社会的高度关注。 环境污染事故的发生也多为工业污水事故，为了有效地改善水质，中国每年用于水资源保护项目的资金近千亿元。传统的水处理工艺很难满足水处理方面的要求，新兴的污水深度处理技术在价格与处理效率上存在一定的缺陷，开发成熟廉价的污水处理技术及其配套产业设备等具有广阔的商业市场。目前市场上存在多种应用于工业金属废水处理的技术手段，深度处理技术种类多，没有形成一种主导的技术手段，所以废水深度处理领域具有强大的竞争优势。而且，重金属废水处理系统工艺复杂，运营成本高，废水中重金属含量超标，不能达标排放，排到环境中污染土壤和水源，有价值的金属白白流失，难以回收，废水处理产生的重金属污泥成为危险废弃物，处置要求严格花费高。因此，开发技术成熟、成本低廉的金属废水处理技术具有广阔的应用市场，且市场需求大，进驻门槛低。本项目研发的多羟基亚铁材料技术，具有技术成熟，投资、运行成本低等优势，高效处理重金属以及含砷废水，广泛适用于各类重金属工业废水处理，回收重金属，实现循环经济与清洁生产，在重金属废水深度处理领域具有强大的竞争优势。

吸附管法（EPA Method 30B）逐渐取代湿化学法（OHM）成为燃煤烟气汞形态浓度取样的主流方法。但受限于氧化态汞 (Hg2+)选择性吸附剂研究的商业保密性，现有价态汞碳管主要依赖于进口产品，价格非常昂贵。 本技术装置利用自主研发的高性能高精度Hg2+选择性吸附剂，实现燃煤烟气汞价态取样和浓度的精确测量。目前已成功应用于10余座燃煤电厂汞价态浓度30B碳管法取样和测试。 本技术装置采用独立双通道双温控系统，气密性好，集成度高、操作简单，取样快速精确。

本发明涉及生物信息技术领域，特别涉及眼电信号的采集与处理技术和残疾人辅助装置。本发明针对四肢残障人士，提出一种可以控制计算机的键盘和鼠标的装置。此装置可以实现残疾人无障碍的与计算机的交互。此装置结构简单、轻便、易于使用。 本发明硬件系统包括能根据眼电信号特点采集并放大眼电信号的眼电采集传输模块和计算机主机以及显示模块。所述的眼电采集传输模块包括氯化银采集电极、放大器、滤波器、模/数转化器（A/D转换器）、能与计算机连接的USB接口；所述的计算机主机及显示模块包括通用计算机（主机）、显示器。所述的氯化银采集电极经电缆与放大器相连；经放大器放大的眼电信号输入滤波器；然后经A/D转换器进入USB接口与计算机（主机）连接；同时所述计算机（主机）与鼠标、键盘、显示器设备连接。 所述的电极使用普通的氯化银电极；所述的放大器为低噪音高精度仪器运算放大器要求其共模抑制比在100dB以上放大倍数在1000倍以内；所述的滤波器为低通滤波器采用截至频率为100Hz的二阶巴特沃兹滤波器；所述的A/D转换器采用双极性12位A/D转换器。所述的计算机（主机）为500 MHz Pentium 处理器（或更快）、 256 MB 系统 RAM（或更大）、10GB硬盘（或更大）和USB2.0接口，操作系统为windows。所述的显示器为CRT显示器或者液晶显示器，显示屏最小为14英寸。

本发明涉及生物信息技术领域，特别涉及眼电信号的采集与处理技术和残疾人辅助装置。本发明针对四肢残障人士，提出一种可以控制计算机的键盘和鼠标的装置。此装置可以实现残疾人无障碍的与计算机的交互。此装置结构简单、轻便、易于使用。

项目成果/简介:本实用新型公开了一种可移动的植物组织培养育苗的炼苗装置，该炼苗装置包括炼苗框架、由若干层隔板将炼苗框架分割成若干放置组培苗的炼苗室和安装在炼苗框架外侧的炼苗窗组成。本实用新型的可移动的组培苗炼苗装置运行稳定，具有防雨、调整光强度、试管苗受光均匀、随意移动等功能，不受炼苗场地的影响，本炼苗装置可以随时调整试管苗受光面，摆放试管苗时可以在瓶与瓶之间不留空隙，因而提高了炼苗空间的利用率，缩短了炼苗时间，提高了炼苗效率。

本发明公开了一种单驱动四指同步夹持的新型重载夹持装置。包括动力液压缸缸体、钳壳壳体和外连杆机构，动力液压缸缸体安装在钳壳壳体上，动力液压缸缸体的推杆为内外侧臂结构，推杆的外部上、下侧面均固定连接有外侧臂，推杆的内部上、下侧面均固定连接有内侧臂；推杆的两个外侧臂分别对称连接有外连杆机构，推杆的两个内侧臂分别对称连接有内连杆机构，外连杆机构和内连杆机构结构相同。本发明是重载操作装备中的关键部分之一，能够实现单液压缸驱动四指同步夹持工件，增大重载夹持装置的夹持稳定性能系数，提高钳口临界载荷，提高夹持性能，可用于夹紧工件，配合锻压机完成开坯、墩粗、拔长、精整等各种锻造工艺。

一种轨道交通车辆制动能量气动回收再利用装置，属于轨道交通车辆技术领域。本实用新型由安装在 车辆转向架车轴上的凸轮，安装在转向架构架上的其余部件组成。其中凸轮、滚子和气缸活塞杆构成凸轮 机构，将车轴的旋转运动转化为气缸活塞杆的往复运动；排气单向阀、吸气单向阀连接在气缸的无杆侧，在气缸活塞杆的往复运动下，实现排气和吸气功能，将机械能转换为气压能。该装置能够将制动能直接回 收成气压能，以供车辆系统使用。