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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下:温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议
天津大学 2021-04-11
大颗粒状速溶食品(菊花晶和金银花晶)的开发及产业化
菊花晶和金银花晶具有清热去火的功效,目前市售的菊花晶和金银花晶主要 以粉末状的形态存在,外观形状较差,且溶解时所需的时间较长。本项目开发的 菊花晶和金银花晶颗粒较大,溶解性较好。 溶解时间:热水中 3 s 以内全部溶解,不使用食品添加剂。 效益分析:菊花和金银花中的有效成分具有清热去火等诸多功效,将其从菊花和金银花 中提取出来制备成菊花晶和金银花晶可以提高食用的方便。此外,将菊花晶和金 银花晶与奶粉同时食用,可以有效降低婴儿食用奶粉时引起的上火等问题。因此, 开发具有良好外观形态和溶解性的菊花晶和金银花晶具有较强的市场竞争力。
江南大学 2021-04-11
百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术研发及产业化
1、主要技术内容、获奖情况 通过本项目的实施,掌握了百万等级超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术、大型疏水槽空心叶片自动化焊接及变形控制技术、末级动叶片多阶静频测量及调频控制技术、末级动叶片进汽边防水蚀控制技术(硬化层深度可控的激光硬化技术和激光熔覆技术)、大型末级动叶精密机械加工控制技术、叶片产业化数字制造技术等关键技术,开发了满足重大工程需求的百万千瓦等级汽轮机系列长叶片,打破了国外大公司在该领域长期技术垄断,掌握了核心技术,提升高端长叶片品质,降低了百万等级机组制造成本,优化了产品工艺,加快实现百万千瓦等级机组的自主化和国际化进程,为推动我国电站装备制造行业及电力能源产业结构调整奠定了坚实的基础。 获奖情况:2015 年中国机械工业科技技术奖一等奖 2、成果的技术指标、创新性与先进性 (1)在国内采用超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术,首次实现了世界最长的百万等级核电汽轮机 75 英寸(1905mm)叶片和百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片研制。 (2)在国内采用激光硬化和激光熔覆技术,分别首次实现了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)末级动叶片和百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片进汽边防水蚀处理。 (3)在国内采用多阶静频测量及调频控制技术,使静频一次合格率提高到了 90%,首次实现了百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)叶片 1~6 阶静频测量及调频(柔性自由叶片)。 (4)在国内首次对 1 米以上超大空心叶片采用自动化焊接技术,研制成功了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 41 英寸(1050mm)末级空心静叶片和百万千瓦核电汽轮机 51 英寸(1292mm)末级空心静叶片。 (5)通过采用信息化与工艺技术的集成,加快了在产业化中产品开发效率和质量,首次实现了产品开发过程中的锻造工艺的自动化设计、叶片型面数据的自动化测量分析、产品质量数据的自动化收集与分析。 3、技术成熟度 百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术已成熟应用于百万等级核电汽轮机 57 英寸(1448mm)末级动叶片、CAP1000 核电汽轮机 67 英寸(1710mm)末级动叶片、CAP1400 核电 71(1800mm)、72(1828mm)、75(1905mm)英寸末级动叶片、百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片、百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片、百万超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)柔性自由末级动叶片和 41 英寸(1050mm)末级空心静叶、CPR1000 核电汽轮机 51英寸(1292mm)空心静叶片等一系列具有国际先进水平的长叶片研制中,并实现了产业化。 4、应用情况 江南大学和无锡透平叶片有限公司联合研制生产的百万千瓦等级汽轮机长叶片已批量经交付给东方汽轮机厂、上海汽轮机厂、哈尔滨汽轮机厂、日本三菱日立、德国西门子等公司,百万等级核电叶片已通过用户和中广核的共同鉴定,无锡透平叶片有限公司因此列入中广核国内唯一的核电叶片供货商名单。目前产品已经分别成功运用在国内岭澳核电站二期、红沿河一期、北仓港电厂、华能玉环电厂等,经用户使用后反映良好。
江南大学 2021-04-13
一种用于呼吸内镜下测量肺内呼气末二氧化碳的装置
本实用新型提供一种用于呼吸内镜下测量肺内呼气末二氧化碳的装置,由三通管和测量导管组成,其中三通管的A端口为二氧化碳模块螺旋接口、B端口为侧口用于连接注射器、C端口固接金属管,测量导管的尾端套在金属管外,测量导管的头端设至至少2个侧孔E。测量导管选用软质空心管。本实用新型实现了通过软质或硬质支气管镜测量肺内各部位呼气末二氧化碳的需求,操作简单易行,不仅可以帮助进一步深入了解呼气末二氧化碳在呼吸生理及病理生理中的作用,更可用于监测支气管镜下介入诊疗患者呼吸频率和呼气末二氧化碳浓度,早期发现呼吸抑制及二氧化碳潴留等情况,提高患者安全。
浙江大学 2021-04-13
一种用于机匣包容试验的叶片非接触式局部快速加热定速飞断试验装置
本实用新型公开了一种用于机匣包容试验的叶片非接触式局部快速加热定速飞断试验装置。在叶片一侧的端面安装非接触式的感应加热线圈,在叶片另一侧预制裂纹,当试验转子加速旋转至目标转速稳定旋转后,启动控制设备,叶片削弱部位局部区域温度快速升高,叶片抗拉极限强度下降,在离心力的作用下叶片断裂飞出。此方法转速控制精确度高、可靠性好、加热时间短、操作简单,试验精度高、试验周期和成本低。叶片感应加热飞断装置包括感应加热控制设备、高频率感应线圈、绝缘固定支架、冷却水管、电源线、中转端口和红外测温仪等,处于高速旋转状态下的叶片感应加热区域的表面温度监测通过红外测温仪实现。
浙江大学 2021-04-13
一种用于排泥水生物氧化除锰的曝气沉淀一体化反应装置
本实用新型公开了一种用于排泥水生物氧化除锰的曝气沉淀一体化反应装置,反应装置分为曝气区、缓冲区、填料区、沉淀区、底部污泥区和污泥斗区;另设有曝气机构和刮泥机构。本实用新型的优点在于由于形成的污泥是生物污泥与二氧化锰、氢氧化铁等无机物构成的混合絮体,可以快速将锰与铁氧化,也可以将有机物、氨氮、亚硝酸盐氮等还原性指标有效去除;系统为了维持高的污泥浓度需要污泥回流,适用于处理含锰含铁量较高的排泥水。为了保证化能自养菌的活性,进水中的有机物浓度不宜太高,本装置的工艺较为简单,完全利用曝气的生物氧化作用实现水
安徽建筑大学 2021-01-12
一种模拟测试汽轮发电机组轴系扭振及其强度的试验装置
本发明公开了一种模拟测试汽轮发电机组轴系扭振及其强度的试验装置,其包括主体组件、测量组件和滑油组件,主体组件包括转轴、电动机、汽缸、发电机、电网模拟器和电力谐波发生器;转轴两端分别与电动机和发电机相连;汽缸安装在转轴上,其与电动机之间以及与发电机之间设有质量轮盘组;电网模拟器与发电机相连,电力谐波发生器为电动机提供电源;测量组件包括扭振测量部件和弯振测量部件,扭振测量部件包括齿轮、磁力座和磁阻式转速传感器,齿轮
华中科技大学 2021-04-14
电子科技大学电磁环境仿真及智能处理平台采购项目竞争性磋商
电子科技大学电磁环境仿真及智能处理平台采购项目竞争性磋商
电子科技大学 2022-05-27
二噁英重金属近零排放的生活垃圾气化及飞灰熔融技术
我国每年城市生活垃圾清运量超过 2 亿吨,且每年增长约 8%-10%,到 2020 年预计可达 2.5 亿吨,中国城市生活垃圾无害化处理能力逐年提高,官方数据显 示 2016 年大中城市生活垃圾无害化率已超过 90%,但我国农村部分,无害化率 仅为 60%。垃圾处理面临占用土地、资源浪费、环境污染等问题。当前我国城市 垃圾处理仍然以填埋为主,但以焚烧技术为代表的能源化利用技术增长很快。该 技术伴随着设备投资高、产生强致癌剧毒物质、重金属污染、工艺优化不足等缺 陷,急需探寻其他方法。该项技术利用气化熔融技术原理,对垃圾进行减容减量 处理,处理后体积减小 90%以上,大大降低填埋场的压力。气化熔融技术真正做 到垃圾的无害化处理,可以做到二噁英、重金属污染物的超低排放,环保性能大 大优于目前的垃圾焚烧技术,消除公众抵触情绪,易于推广。
西安交通大学 2021-04-10
医学影像人工智能辅助诊断关键技术—智能病灶分割及三维重建
技术分析(创新性、先进性、独占性) 为了充分利用先进的人工智能的新技术,提高医疗影像辅助诊断的水平,使得智能医疗诊断技术提高临床诊断的质量和效率,使其尽快走入家挺、社区,满足人们的医疗健康的需要。研究临床医学影像的2D病灶精细分割和三维跨模态的影像三维重建技术。首先,通过建立多层感知的神经网路,对医学影像的特征进行充分学习,得到影像的几何映射的关系,从而实现对医学影像的三维重建,克服了现有的三维重建技术中度量关键问题,关键技术对于医学影像的精准度量,具有现实意义:其次,在2D病灶分割中,利用半监督学习技术,实现少标签情况下的分割技术,半监督学习技术可以有效解决医学影像中标签难以获取的问题。技术的研究成果的特点是医学影像跨模态辅助诊断技术,对于超声、CT以及核磁共振等影像都有效,并且攻克的神经网络过于复杂的关键问题,所研究技术适用于临床快速便捷辅助诊断。此外,在医学度量方面的关键技术中,突破了人体腹腔及皮下脂肪的精细分割技术的关键技术,可以用于临床辅助诊断中,在关键技术探索中,实现对腔内脂肪特征的精细学习,该技术仅需要少量的影像标准数据,就可以实现皮下脂肪的准确分割,并证明了关键技术的有效性。
华东师范大学 2021-05-10
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