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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性
华中科技大学
2021-04-14
一种新型弹性胀缩式内孔夹紧装置
本实用新型公开了一种新型弹性胀缩式内孔夹紧装置，包括贯穿有推杆的气缸，所述气缸缸头设置 有与推杆配合的伸缩爪，所述气缸内设置有第一活塞和第二活塞，第一活塞和第二活塞将气缸内腔分为 前腔室，中腔室，后腔室，其中前腔室位于气缸头部，所述前腔室和后腔室均与大气连通;所述推杆前 端沿轴线设置有多段上小下大的棱台状斜面，中部与第二活塞固定，尾端设置有与大气压连通的第二气 口，所述第二气口与中腔室连通;所述述
武汉大学
2021-04-14
一种单缸双活塞内孔用机械手
本发明提供一种单缸双活塞内孔用机械手，包括气缸、一级活塞(21)、二级活塞(22)和弹簧卡 爪(3)，所述的气缸包括缸体(11)、设置在气缸下端的端盖(12)和设置在缸体内壁的活塞导向套(13)， 所述的一级活塞(21)设置在缸体中部，所述的二级活塞(22)设置在缸体(11)下部，二级活塞(22) 上下端均设有活塞杆;本发明的气缸结构中，将传统的两级气缸结构简化为单缸双活塞结构，两个活塞 将气缸腔
武汉大学
2021-04-14
金属薄板海量群孔/群坑高效加工技术
成果简介在 21 世纪的航空航天、 电子、 仪器、 纺织、 印刷、 医疗器械和汽车等工业领域中， 以微小群孔/群坑为关键结构的零部件使用越来越广泛， 例如光纤连接器、 喷丝板、 电子显微光栅、 微喷嘴、 过滤网、 冷气导管、 印刷电路板、 摩擦副表面用于减磨的微细群坑结构等。 目前， 加工微小群孔的方法主要有： 机械加工、激光加工、 电火花加工、 掩膜电解加工和电子束加工。 但这些加工方式或多或少均存在着一些问题， 机械加工易产生内应力和毛刺； 激光加工效率高， 但其加工后的孔壁有再铸
安徽工业大学
2021-04-14
钢质深孔零件温 (热)挤压工艺及应用
技术原理及特点 ：本研究的应用领域为材料加工工程，特别是钢制件 的塑性加工。本研究针对凿岩机产品中同类零件最复杂的 “转动筒套体 ”， 从正、反挤压 2 方面开展了工艺试验与应用研究，成功开发了 “转动筒套 体”热挤压工艺。 本研究设计应用了一种 “分步脱模 ”机构，解决了经典的正挤压模具结 构存在的制件脱模难这一关键问题，正挤压分步脱模法为国内首创。 本研究在江西省内和凿岩机行业同类零件
南昌大学
2021-04-14
一种单楔式内孔抓紧机械手
本实用新型公开了一种单楔式内孔抓紧机械手，包括气缸和卡爪，气缸内设有第一活塞和第二活塞 将气缸内分为前腔室、中腔室和后腔室三个腔室，前腔室、中腔室和后腔室分别设有可通气的第一气口、 第二气口和第三气口，第一活塞和第二活塞之间的气缸内壁上设有限位块，第一活塞上设有可从气缸顶 部开口伸出的卡爪，第二活塞上设有可自由穿过第一活塞且从卡爪内伸出的活塞杆，活塞杆顶部设有棱 台，卡爪顶部设有弹性爪，弹性爪和棱
武汉大学
2021-04-14
不锈钢玻璃仪器气流烘干器30孔
产品详细介绍玻璃仪器气流烘干器是使用玻璃仪器的各类实验室、化验室干燥玻璃仪器的适用设备。填补了国内空白，它具有快速、节能、无水渍、使用方便、维修简单等优点.该烘干器分B、C型二种型号。B型为改进新型，有调温自动控制装置(可调温40-120℃)，C型为全不锈钢调温型。 规格： (1)12孔 20孔 30孔可依需要任意选择。 (2)标准管、异形管，粗细长度不等，还可根据需要另订制作。 序号 NO. 规格 型号 Type 实用范围 Range 风管尺寸 Air duct Dementions 调整范围 Adjustable range 机型尺寸 Machine Dimension (mm) 重量 Weight Kg 功率 Power 工作电源 Working Pressure 长度 Length 数量 温度 Temp. 精度 Precision W V/HZ (mm) Q ℃ ℃ 1 B 800 ～220/50 170/200 12 20 30 40/120 ±5 400×40 7 8 2 C
巩义市科华仪器有限公司
2021-08-23
新型镀镍/镀铝/镀铬/镀铜金属蚀刻剂和去雾剂
成果与项目的背景及主要用途： 生产手机、 MP3 、汽车仪表等高档显示面板时，需要将视窗部分的镀镍、天津大学科技成果选编 镀铝、镀铬、镀铜等金属高效蚀刻去除，保证视窗无残留金属、通透性好，同时 面板上保留金属不能发生侧蚀。如果产品上残存黑色、黄色等物质，需要逐片擦 拭，生产效率低、劳动强度大。 本产品可将面板视窗部分所镀金属在一分钟左右去除干净，经清洗干燥后， 面板上不残存有色物质，防止侧蚀效果好。该药液应用于自动生产线，大大提高 了生产效率和产品合格率、降低生产成本。 技术原理与工艺流程简介： 利用反应配制技术，制造出各种药液，实现显示面板所镀金属的快速、干净、 可控的去除。 工艺流程简单，易实现，技术原理清楚。 技术水平及专利与获奖情况： 蚀刻产品通过严格的盐雾等测试，已经大量应用于国际多种知名品牌手机面 板的生产。 应用前景分析及效益预测： 与外购药液相比，该技术效益可观，同时产品质量容易控制，便于企业构筑 产品质量保证体系。 应用领域：电子配套产品的生产。 合作方式及条件：成熟技术成果转让。
天津大学
2021-04-11
新型镀镍/镀铝/镀铬/镀铜金属蚀刻剂和去雾剂
生产手机、 MP3 、汽车仪表等高档显示面板时，需要将视窗部分的镀镍、镀铝、镀铬、镀铜等金属高效蚀刻去除，保证视窗无残留金属、通透性好，同时面板上保留金属不能发生侧蚀。如果产品上残存黑色、黄色等物质，需要逐片擦拭，生产效率低、劳动强度大。本产品可将面板视窗部分所镀金属在一分钟左右去除干净，经清洗干燥后，面板上不残存有色物质，防止侧蚀效果好。该药液应用于自动生产线，大大提高了生产效率和产品合格率、降低生产成本。利用反应配制技术，制造出各种药液，实现显示面板所镀金属的快速、干净、可控的去除。工艺流程简单，易实现，技术原理清楚。
天津大学
2023-05-10
过氧化物爆炸物检测技术
研发团队合成了一种新型化合物作为模型化合物，进行痕量气体状态下荧光点亮机理的研究，在明确的反应机理和优化的分子结构指导之下，制备出具有优异性能的适用于高效率传感器的薄膜功能材料。同时，借鉴已有商业可得的产品，重新设计传感器的结构，制备更加便携、低成本并高效的新型爆炸物传感器。根据荧光效应：当光源照射分子时，分子中电子吸收能量跃迁到第一激发单线态或第二激发单线态，但这些激发态是不稳定的，当电子由第一激发单线态恢复到基态时，能量会以光的形式释放，产生荧光。
根据设计出的新型传感器，团队研究了一种非接触式爆炸物荧光检测技术，主要包括气相物质荧光反应流场成形控制、精密光路结构设计、高稳定度调制光源驱动、微弱荧光信号检测、多路隔离电源设计与系统总控集成等。在建立可靠流场仿真模型的基础上，实现激发光源、荧光探测器等电气与结构设计，完成原理样机的研制。本项目在实现过氧化物爆炸物荧光检测系统的设计中，选用带通滤光片、高通滤光片及各种K9光学透镜等光学器件设计精密光路结构；选用LED单波长光源，搭配可调制电路，设计高稳定度调制光源；进行万倍增益荧光探测电气设计，噪声极低、探测域值大，可高效采集并处理检测晶片发出的荧光，实现微弱荧光信号检测；荧光检测晶片显示为对特定波长光源敏感，当含有爆炸物物质的气流通过检测设备后发生反应，通过上述内容可知若发生反应，会激发出特定波长的荧光；实时监控模块选用stm32系列处理器，实现对系统各模块的工作状态的控制与信号传输；总控电源设计为多路隔离电源，可分别为各模块提供合适的电压，同时受实时监控模块控制。
针对海关、机场、地铁、车站及快递等行业日益增多的流动性临检应用场景，可通过小型化便携式爆炸物检测设备与安检门、安检机等传统安检设备进行集成安装，实现既有安检能力的升级。
同时，过氧化物爆炸物检测仪器工作原理智能高效。当待检物品或人通过时，仪器使用检测试纸采集待检物质，中央处理器模块通过对得到的数据进行分析处理，得出检测结果。若检出爆炸物，仪器报警，复位后进行自清洁；若未检出，仪器恢复待检状态。
北京理工大学
2022-05-07