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大面积高质量金刚石自支撑膜的制备技术
本项目是国家863计划”85” 和”95”重大项目的阶段性研究成果(合作单位:河北省科学院)。 包含”大面积高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜高速沉积设备”和”大面积高质量金刚石自支撑膜制备工艺”两部分。其目标是向国内外市场提供大面积高质量廉价金刚石自支撑膜。技术基本成熟, 设备和工艺已在广东、北京和天津的一些工厂和研究院所应用。目前已开发两种不同功率级别, 100千瓦级和30千瓦级的设备, 工具级金刚石膜沉积速率: 40~50mm/h, 沉积面积: 110mm (100千瓦级), 或60mm (30千瓦级)。利用本项目技术生产的工具级金刚石膜可达到的指标: 面积: mm (100千瓦级), 或 mm (30千瓦级); 厚度: 最大2mm; 维氏硬度: 8000~11000 kg/mm2; 抗弯强度: > 300 MPa。光学级金刚石自支撑膜目前最大面积为60mm, 厚度约0.6mm, 从紫外(0.22m)到远红外(>20m, 直至微波)透明, 8~12m波段透过率~70%, 热导率~19W/cm.k, 各项物理化学性能均与天然Ⅱa型宝石级金刚石单晶接近。 该项目适用于光学级金刚石自支撑膜: 工业CO2激光器窗口, 需要在极端恶劣工业环境(高温、腐蚀、幅射、磨损、冲刷等)下工作的光学装置窗口、军事窗口等。也可用于中高档耐用装饰品制作。 热沉级金刚石自支撑膜: 半导体二极管激光器热沉、功率半导体器件(Power IC)的金刚石封装、MCMs (大规模集成电路的三维立体组装技术)用大面积金刚石热沉、高功率微波器件热沉。 工具级金刚石自支撑膜: 金刚石拉丝模模芯、金刚石自支撑膜钎焊工具、各种抗极度摩擦磨损工具和模具及仪器零件。
北京科技大学 2021-04-11
大面积高质量金刚石自支撑膜的制备技术
本项目是国家863计划”85” 和”95”重大项目的阶段性研究成果(合作单位:河北省科学院)。 包含”大面积高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜高速沉积设备”和”大面积高质量金刚石自支撑膜制备工艺”两部分。其目标是向国内外市场提供大面积高质量廉价金刚石自支撑膜。技术基本成熟, 设备和工艺已在广东、北京和天津的一些工厂和研究院所应用。目前已开发两种不同功率级别, 100千瓦级和30千瓦级的设备, 工具级金刚石膜沉积速率: 40~50mm/h, 沉积面积: 110mm (100千瓦级), 或60mm (30千瓦级)。利用本项目技术生产的工具级金刚石膜可达到的指标: 面积: mm (100千瓦级), 或 mm (30千瓦级); 厚度: 最大2mm; 维氏硬度: 8000~11000 kg/mm2; 抗弯强度: > 300 MPa。光学级金刚石自支撑膜目前最大面积为60mm, 厚度约0.6mm, 从紫外(0.22m)到远红外(>20m, 直至微波)透明, 8~12m波段透过率~70%, 热导率~19W/cm.k, 各项物理化学性能均与天然Ⅱa型宝石级金刚石单晶接近。 该项目适用于光学级金刚石自支撑膜: 工业CO2激光器窗口, 需要在极端恶劣工业环境(高温、腐蚀、幅射、磨损、冲刷等)下工作的光学装置窗口、军事窗口等。也可用于中高档耐用装饰品制作。 热沉级金刚石自支撑膜: 半导体二极管激光器热沉、功率半导体器件(Power IC)的金刚石封装、MCMs (大规模集成电路的三维立体组装技术)用大面积金刚石热沉、高功率微波器件热沉。 工具级金刚石自支撑膜: 金刚石拉丝模模芯、金刚石自支撑膜钎焊工具、各种抗极度摩擦磨损工具和模具及仪器零件。
北京科技大学 2021-04-11
英寸级单晶金刚石衬底及其关键设备的产业化
金刚石半导体集热、电、声、机械等特性于一体,在禁带宽度、击穿场强、迁移率和热导率等方面远高于其他半导体,被称为“终极半导体”。英寸级单晶金刚石衬底及其关键设备的产业化,可以极大地推进我国半导体的革命性变革,实现我国微电子行业的跨越式发展,达到国际先进水平。本项目在国家“千人计划特聘专家”王宏兴的推动下,已经完成了两种微波等离子体CVD设备的设计和制造,利用这些设备已经完成了英寸级单晶金刚石衬底的工程样品,实现了克隆衬底工艺的全线贯通,具有小批量产业化能力。按照日本相关公司的预测,随着金刚石半导体的发展,在2030年,中国的市场规模达到100亿美元。由于金刚石生产中的主要成本是甲烷、氢气和消耗电力的费用,成本较低,经济效益显著。 金刚石半导体特性 关键设备-MPCVD 克隆技术 单晶金刚石衬底
西安交通大学 2021-04-11
纳米多层类金刚石(DLC)薄膜提高发动机给油系统摩擦副寿命
目前我国开始发展单体泵燃油喷射系统以使发动机的排放达到欧III排放标准,这对于我国节约能源、保护环境、降低车辆运输成本等具有重要意义。本项目开发对单体泵内的关键零件—柱塞进行表面改性的工业化应用技术,使表面改性处理的柱塞不仅具有优异的耐磨寿命(显著优于表面覆有TiN薄膜的柱塞),同时具有很低的摩擦系数(为TiN薄膜的~1/6),使柱塞/泵体摩擦副均具有高度的寿命水平和保持长期精度。
西南交通大学 2021-04-13
一种金刚石-立方氮化硼万能型超硬刀具材料和刀具及其制备方法
本发明公开了一种金刚石-立方氮化硼万能型超硬刀具材料和刀具及其制备方法,其特点是以金刚石和立方氮化硼为原料,经预处理与成型后,将坯件装配烧结单元放入高温高压装置中,在压强为7-25GPa温度为1000-2700℃,烧结固溶强化10s~30min,获得晶粒大小均匀,晶界严密闭合,金刚石与立方氮化硼晶界之间硼、碳、氮原子形成高原子密度、三维网状、强共价键的致密结构金刚石-立方氮化硼万能型超硬刀具材料;再将万能型超硬刀具材料加工成等高的圆柱体,两端抛光平整之后加工成边长和厚度均为2~3mm的三角柱体,在真空度1x10-3Pa,温度800℃与钢质合金基底焊接,然后用激光加工成半径为0.4~0.8mm的刀尖圆弧的超硬合金刀具。
四川大学 2016-10-11
一种原位合成纳米金刚石增强铁镍基复合材料的方法及其所得材料和应用
本发明公开了一种原位合成纳米金刚石增强铁镍合金基复合材料的方法,所述复合材料由碳纳米管和铁镍合金粉末作为原材料所制成,制备工艺为放电等离子烧结技术。碳纳米管在铁镍合金粉末的催化和放电等离子烧结的直流脉冲电场作用下部分相变为纳米金刚石,转变比例为50?80%,碳纳米管和纳米金刚石在复合材料中起到纤维增强和颗粒强化的协同增强效果。相对于现有技术,协同增强的强韧化效果更加优异,本发明所得到的铁镍合金基复合材料具有比纯铁镍合金更高的硬度、强度和耐磨性能而且具有更低的热膨胀系数,可以广泛应用于精密仪器和高新技术领域。
东南大学 2021-04-11
团队利用单点超精密五轴金刚石车床(Nanotech 350FG)开展相关研究,解 决了高精度大尺寸
电泳技术是目前检测 PCR 产物的有效方法。电泳技术主要包括毛细管电泳技 术与平板凝胶电泳技术。毛细管电泳技术虽具有灵敏度高、检测速度快、实验试 剂耗量少等优势,但是其高昂的价格限制了其在实验室的进一步推广。平板凝胶31电泳技术凭借其价格优势成为实验室检测 DNA 最常见的方法。传统凝胶电泳技术 主要包括制胶、进样、电泳、染色及成像五个步骤,所涉及设备主要包括制胶槽、 电泳槽、微波炉,直流电源、摇床及凝胶成像仪等。该方法主要存在以下缺陷:(1)
上海理工大学 2021-01-12
刘金刚
刘金刚长期从事机械零件与传动、流体传动与控制方面的研究,近年来主要承担了摩擦传动机构安全服役、电液控制系统环境适应性、混合动力关键技术等3个方向的研发任务。兼任中国汽车工程学会青年工作委员会委员、中国机械工程学会高级会员、中国机械工程学会摩擦学分会委员、中国高等教育学会科技服务专家指导委员会委员、湖南省机械故障诊断与失效分析学会副理事长、湖南省摩擦学学会副理事长、湘潭大学学术委员会秘书长。主持湖南省“十三五”专业综合改革试点项目等教改课题2项,获湖南省教学成果一等奖(第2完成人),组织“机械设计制造及其自动化”专业通过全国工程教育专业认证,被推荐为专业认证专家。
刘金刚 2023-03-15
晶硅太阳电池生产虚拟仿真实训
晶硅太阳电池生产仿真实训让学员以车间技术人员的身份参与整条晶硅太阳电池产线的生产工作。学员可以按标准生产流程操作车间生产设备、检测生产样品以及对电池生产进行工艺仿真,从而深刻了解整个太阳电池生产流程以及关键工艺参数。 一.1.1. 场景设计 场景由制绒车间、扩散车间、后清洗车间、PECVD镀膜车间、丝网印刷车间和分选包装车间六大场景组成。场景素材从多个真实工厂采集而来,高保真还原车间设备与生产流程 场景模型主要包括:洁净车间、制绒机、自动上下料机、硅片、电子天平、分光光度计、电源柜、水冷机、空压机、化学液柜、电脑,键盘、鼠标、扩散炉、石英舟、插片房、传递窗、纯水箱、石英舟清洗槽、防毒面具、试验台、缓冲垫、防化服、源瓶、气柜、硅桨、方阻测试仪,万用表,石墨舟、PECVD镀膜机、舟车、烘箱、全自动丝网印刷机、网版、刮刀、搅拌机、桨料、夹具、接触电阻测试仪、烧结炉、IV分选仪、硅片盒、五格花蓝等... 一.1.2. 互动设计 第一人称视角控制主角场景漫游,学员可以在三维空间中自由活动和观察场景中的物体。 拾取物体操作采用3D空间实际抓取的方式,没有采用一般游戏中的背包栏方式,而当需要同时拾取多个物体时则提供3维工具用于装放,采取这种方式会更加接近现实,使学员更真实的体验实际工具的存放及使用的技巧。 各生产车间按照真实生产流程设计实训生产任务,完成当前任务后才能进入下一个任务,每个任务记录完成时间以及工艺仿真结果 缩略地图实时显示角色位置与任务点位置 第一人称视角与特写观察视角无缝平滑撤换 机器与设置仿真控制,通过机器控制面板设置工艺参数,控制启动生产,检测生产结果 表单填写与作业报告生成 使用仪器与设备检测生产样品 操作规程与关键知识点主动提示学习 原理动画演示
广东顺德宙思信息科技有限公司 2025-06-02
金刚砂(绿碳化硅)
产品应用:半导体硅片和蓝宝石晶体的线切割光学滤波片、石英镜片的粗研磨工艺优势:我们提供的每一种研磨粉/砂都是经过严格的粒径控制和专业的加工工艺,在高切削力条件下保证加工表面具有较好的研磨效果,具有粒度均匀、纯度高、可根据客户个性要求单独提供高精度微粉。碳化硅线切割产品特点:1、高纯度、大结晶的碳化硅原材料,保证了碳化硅切割微粉的优良切割性能和稳定的物理状态;2、粒度形状为等积且刃锋,保证了碳化硅微粉作为切割刃料的均衡性,从而保证被切割材料TTV的最小化;3、粒度分布集中并且均匀;4、有高热震稳定性和荷重软化温度,确保了在荷重切割时小线膨胀系数,保证切割的稳定,并且同切割机有很好的适配性;5、表面经过特殊处理,微粉具备大比表面积和清洁外表,与聚乙二醇等切削液有很好的适配性。碳化硅精磨产品特点:1、严格的粒度控制,降低了碳化硅微粒精磨过程的划痕。2、按照欧洲标准和日本标准检测,保证了产品的稳定供应。
山东麦丰新材料科技股份有限公司 2021-09-01
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