本发明公开了一种三通道显微镜接口包括外壳、分光模块和筒 镜；外壳上具有三个透光孔；分光模块设置在外壳内部，包括平行设 置的第一二向色镜和第二二向色镜，入射的混合光经过筒镜落在第一 二向色镜上，产生第一透射光和第一反射光，其中第一透射光，通过 外壳上相应位置的透光孔出射，第一反射光落在第二二向色镜上，产 生第二透射光和第二反射光，第二透射光和第二反射光分别通过外壳 上相应位置的透光孔出射；入射光从筒镜到各透光孔像面的光

本发明公开了一种基于椭圆柱内反射镜的位移检测装置，该装置将凸透镜成像的原理进行巧妙地运用，通过光致发光物质(或漫反射材料)、椭圆柱内反射镜和线阵感光元件将光汇聚点的位置检测转化为线阵感光元件上感光最强点的检测，只需通过计算机便可检测出来。装置包括点光源激光器、凸透镜、椭圆柱内反射镜和线阵感光元件。点光源激光器与椭圆柱内反射镜放置于凸透镜的同一侧；光致发光物质(或漫反射材料)涂在椭圆柱内反射镜的一条焦线上，此焦线与凸透镜的光轴重合；椭圆柱内反射镜的另一焦线放置线阵感光元件，以检测被测表面的位移。该装置

随着微纳加工技术的发展，微纳尺度空间三维测量技术需求越来越大。目前， 高端微纳结构三维测量仪器主要是国外进口设备，国内在核心技术和工程化方面 尚不足。在系统研究干涉显微测量技术和结构光共焦测量技术的基础上，提出了 干涉共焦显微镜方案，并得到专利授权，进行了仿真验证，光机结构设计和加工， 核心算法研究，软件编写，原型样机测试和改进等工作。提出一种基于可编程照 明的显微镜测量模式(申请专利)克服样品多反射率的影响;提出了一种基于选 择采样的相位求取算法，克服相移误差影响;在核心器件设计上，任务开展了低

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