一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法

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本发明公开了一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法，本发明

利用激光束离焦后功率密度梯度变小光斑变大的原理以及高速振镜扫

描误差精确矫正方法，通过设置不同的在焦和离焦激光加工距离及对

应功率参数和激光振镜扫描参数来控制激光光斑大小，对图形填充区

采用离焦后的大光斑光栅扫描填充，然后对图形轮廓进行矢量扫描勾

勒。本发明针对不同的工作距离预先进行振镜扫描误差矫正，生成高

精度振镜扫描定位表，确保在不同激光加工距离获得同等高精

未应用