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一种 MEMS 陀螺仪芯片双面阳极键合工艺
本发明提出这样一种阳极键合工艺方法:将 MEMS 陀螺仪器件层沉积到临时高分子衬底上,完成金属电极沉积和 MEMS 结构刻蚀之后,将临时高分子衬底用化学机械抛光的方法去除。去除之后,将玻璃基体和玻璃盖帽分别紧贴 MEMS 结构的两侧,加电加热后一次完成双面阳极键合。这种工艺方法与传统的两次阳极键合分两步进行相比,更加节省成本,而且避免了第二次阳极键合对第一次阳极键合强度削弱这个固有缺点,使得产品可靠性提高。
华中科技大学 2021-04-14
以车代磨成套工艺技术与数据库(服务)
成果简介:以车代磨是新兴的一种高效、低成本、低污染的加工方法。它主要依赖于刀具材料和设计技术的进步。由于车削深度和进给速度可大大高于磨削,刀具成本低于砂轮成本,致使加工效率提高两倍以上,车间的工具耗费大幅度降低。本项目主要提供的是设计和制造刀具系统,以及工业试验数据。适用于大型高硬度淬火件和大余量工件的高效加工,包括刀具设计、制造和加工工艺。 项目来源:自行开发 技术领域:先进制造 应用范围:大型机械产品制造企业,有一定的车削加工能力和生产批量。
北京理工大学 2021-04-14
燃烧过程中氮氧化物减排工艺及装备
通过燃烧装置改型、燃烧工艺及燃烧状态的精确调控,在不降低、甚至提高能量利用效率的基础上,以燃料发挥脱硝剂的作用,从源头降低燃烧、特别是燃煤过程中氮氧化物的生成量。该成果对推进节能减排事业具有重要的工程意义,该成果以锅炉原使用的燃料、 特别是煤粉作为脱硝材料, 相比目前的“烟气脱硝技术”具有成本低廉的明显优势,经济效益明显。
扬州大学 2021-04-14
甲醇直接法合成二甲醚新型反应工艺技术
成果与项目的背景及主要用途 二甲醚作为一种替代石油的新型绿色清洁能源,被一些专家评论为“解决中国能源与环境问题的关键”,产品前景被普遍看好。采用甲醇气相一步法合成二甲醚工艺前景相当乐观,发展二甲醚工业具有明显的社会和经济效益。南开大学通过“产学研”紧密合作攻关,已经完成了1000吨/年二甲醚中试生产装置的建设并全面达到了预定的各项技术要求。 技术水平及专利 南开大学经多年研究,采用一种具有
南开大学 2021-04-14
城市污水一体化组合工艺处理反应器
本发明采取先深入研究城市污水传统A2/O工艺等同步脱氮除磷的优缺点、重点研究反硝化脱氮除磷的新技术原理,再开发同步脱氮除磷新工艺。本发明对单泥SBR系统、双泥SBR系统的反硝化除磷的原理与工艺进行深入研究, 以此为基础,按反硝化除磷原理进行一体化扩大设计(7920倍), 研发出新的工程流程和示范设备系统, 获得成功,为城市污水的大规模处理与工程化应用奠定了基础。从而,解决了城市污水处理领域同步脱氮除磷的关键性、共性技术难题。 本发明开发的同步脱氮除磷新工艺,对比当前国内外同类相关技术
华南理工大学 2021-04-14
连续纤维增强复合材料3D打印工艺及装备
2014年,西安交通大学研究团队率先提出了一种连续纤维增强热塑性复合材料3D打印技术,将先进复合材料与3D打印工艺深度融合,突破传统复合材料基于模具制造的工艺理念,实现了具有复杂结构的复合材料构件低成本快速制造。研发团队在国家重点研发计划、国家自然科学基金等研究课题支撑下,攻克了连续纤维3D打印多项难题,形成了多项自主知识产权,填补技术空白,开发了连续纤维3D打印工艺装备,建立了复合材料多尺度界面
西安交通大学 2021-04-14
一种热轧 H 型钢轧后冷却系统及工艺
成果简介热轧 H 型钢, 是一种工程常用的热轧型材, 使用广泛, 但是随着地球资源的枯竭, 在满足工程强度要求的前提下, 尽量减少原材料消耗、 提高材料利用率成为必然的发展趋势。 通过增加一套冷却系统可以实现提高强度的目的, 而且成本相对偏低。 此外, 对于在原有生产线上增加一套这样的冷却系统, 往往水压和水量都不能满足供水的要求, 不能把冷却水直接接入这个冷却系统, 如果新上一条加压供水系统将大大增加设备的改造成本。本发明的目的在于提供一种热轧 H 型钢轧后冷却系统及工
安徽工业大学 2021-04-14
保险粉类高硫废水处理新工艺
成果简介保险粉作为一种重要的精细化学品, 在印染等行业应用广泛。 但其生产工艺中的高浓度废水成分复杂、 有机硫极高, 至今仍为行业难题。 所提出的复配多级催化氧化处理技术, 可实现有机硫物质的高效氧化, 达成相关废水的低成本、 高效处理目的。成熟程度和所需建设条件已完成实验室研发并在合肥某大型氯碱企业进行了中试规模实验, 如下图所示; 仅需少量设备经费投入。
安徽工业大学 2021-04-14
一种仿壁虎脚微纳分级结构及其制造工艺
本发明公开了一种用于仿壁虎脚微纳分级结构的制造工艺,包括:S1、使用LPCVD设备在洁净的硅片上热生长一层SiO<sub>2</sub>薄膜;S2、在有 SiO<sub>2</sub>层的硅片表面旋涂光刻胶并进行光刻,制备出圆孔阵列图形;S3、使用缓冲氢氟酸溶液对暴露出的SiO<sub>2</sub> 进 行 刻 蚀 , 将 光 刻 胶 上 的 图 形 转 移 到SiO<sub>2</sub>层;S4、在
华中科技大学 2021-04-14
水处理组合工艺与生态高效低耗技术创新与研发
一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 主要内容: ① 用吸附-混凝-超滤组合工艺,高效去除水中天然有机物;采用光催化-吸附-膜分离组合工艺,有效去除水中亚硝胺类污染物;同时采用正反冲清洗方式的膜滤装置,最大程度提升清洗效果;研制了一种简单且高效的三相分离器,解决污泥沉淀区入流口和回流口的重合问题,提高了气液固的分离效果。 ② 研制了具有不同内部构造的EDI工作模型,实现了无酸碱再生、零废酸废碱排放条件下的连续、高效的废水直接处理,所得淡化纯水和高浓度浓缩液均得到回收利用。 ③ 研发了铝盐型、铁盐型、硅酸盐型、天然有机高分子型等一系列复合高效絮凝剂,在提高其絮凝性能、注重技术的经济性与实用性的同时保障了生态安全性。 ④ 开发了以生物膜叠球填料为特征的剩余污泥减量型有机废水处理工艺,建立了基于生物电化学系统的有机废水能源化处理技术体系,实现了污泥减量化和污水处理能源化;通过开发联合改性催化剂和泥炭吸附剂,解决了既不能生物处理、也不具备能源化的废水处理问题。 ⑤ 提供了一种高效低耗、应用范围广、使用便利的挂膜式浮动链曝气污染水体修复方法,有效实现区域污染水体的原位修复;系列重金属污染水体生态修复技术,特别是利用水生植物千屈菜修复铬污染水体,治理效果明显,美化景观环境。 项目特色: 本成果明显使操作费用降低、膜使用寿命延长、污水处理排污费减少,具有显著的技术优势,已在天津、江苏、辽宁、海南和广东等省市多家企业进行成功的实施转化与应用,取得了较好的经济效益及明显的生态、环境和社会效益。
南开大学 2022-07-28
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