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核工业西南勘察设计研究院有限公司北京分公司成立于2016年11月03日，其总部位于成都，是涵盖市政、公路、建筑、岩土等专业，集规划、咨询、勘察、设计、施工于一体的大型综合性国有控股工程企业。公司非常注重人才的培养与发展，目前拥有众多中高级技术人员、各类注册人员，近年来获得多项国家级、省部级优秀工程奖。

中国电子信息产业发展研究院（CCID）是工业和信息化部直属单位，又称赛迪研究院，下设18个研究所、中国软件评测中心和赛迪集团等20余家控股企业，在重庆、广东、江苏、山东等地设有分支机构，现有职工2000余人，博士硕士占51%以上。 自2000年成立以来，赛迪支撑制造强国和网络强国建设，聚焦两化融合、智能制造、数字经济、军民融合等重点领域，逐步形成了研究咨询、评测认证、科技服务、媒体会展、军工业务、产业金融6大业务布局，累计为20余个国家部委、400余个地方政府、5000余个行业企业提供服务。 研究咨询是赛迪推动思想和知识创新的核心业务，致力于提供决策支撑与产业咨询服务，承担有多个国家重大产业规划编制任务，拥有赛迪专报、赛迪前瞻等20余本研究内刊，每年出版发布行业发展蓝皮书、白皮书和各类专著百余本。 评测认证是赛迪具有广泛影响力的优势业务，致力于提供软硬件产品及系统质量安全检测、评估等服务，建有国家机器人质检中心（北京）、国家新材料产业资源共享平台等30余个国家和省部级公共服务平台。 媒体会展是赛迪极具品牌传播效应的传统业务，致力于提供媒体宣传、会议展览等服务，拥有中国电子报等5报10刊，每年举办国家制造强国建设专家论坛、全球IC企业家大会暨中国国际半导体博览会等行业盛会百余场。 科技服务是赛迪推动两化深度融合的重点业务，致力于提供信息化咨询设计、工业互联网解决方案等服务，拥有系统集成一级、安防一级、工程设计甲级等10余项权威认证，业务涵盖电子政务、应急指挥等多个领域。 军工业务是赛迪落实国家军民融合战略的主要业务，致力于提供军用软件测试、军民创新成果孵化转化等服务，拥有完备的军工资质，完成国家重点工程试验考核定型测评任务数百项。 产业金融是赛迪整合产业资源、构建产业生态的新兴业务，致力于提供面向先进制造业的产业基金发起管理、股权投资、园区运营等服务，拥有私募基金管理人资质，着力引导社会资本服务国家产业战略。 在工业和信息化部指导下，赛迪还承担国家制造强国建设战略咨询委员会、国家集成电路产业发展咨询委员会、工业和信息化部电子科学技术委员会、工业和信息化部12381公共服务电话平台、工业和信息化部党校等日常工作，同时也是中国半导体行业协会、中德智能制造联盟等10余个组织机构的主要牵头单位。 中国特色社会主义进入新时代，工业和信息化事业开启新征程。全院干部职工将坚持以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，以做强决策支撑和做大市场业务“双轮驱动”为主线，始终恪守诚信、担当、唯实、创先的核心价值观，全力推进思想型智库、国家级平台、全科型团队、创新型机制和国际化品牌建设，为把赛迪研究院建设成为国家一流高端智库而努力奋斗！

本发明提供了一种模态频率对质量的灵敏度分析方法，构造结构导纳矩阵并获得前ｍ阶模态频率，从结构第一个节点开始添加质量摄动项，将加速度导纳信息代入矩阵修正公式形式获得摄动后的加速度导纳，提取结构的频率信息，获得结构模态频率对质量的灵敏度，按照节点顺序改变质量摄动点位置获得对应得灵敏度，从而获得整个结构模态频率对质量的灵敏度。本发明方法首先通过有限元计算获得结构的加速度导纳，当结构质量发生摄动时，利用矩阵变换公式无需有限元二次计算，只需要初始的加速度导纳信息进行数值计算即可获得摄动后的加速度导纳，简化计算效率，更加方便，实现了基于加速度导纳对质量的灵敏度快速计算方法，具有实际工程意义。

本发明提供了一种基于质量影响的快速灵敏度分析方法，构造速度导纳矩阵，并获得前m阶模态频率，从结构第一个节点开始添加质量摄动项，将速度导纳矩阵代入矩阵修正公式获得摄动后的速度导纳矩阵，辨识结构的频率，获得结构模态频率对质量的灵敏度，按照节点顺序改变质量摄动点位置，重复前述步骤获得对应得灵敏度，从而获得整个结构模态频率对质量的灵敏度，绘制灵敏度曲线。本发明当结构的质量发生变化时，利用矩阵变换公式无需进行有限元再次计算，只需要初始的速度导纳信息进行数值计算即可获得摄动后的速度导纳，简化计算效率，更加方便，实现了基于速度导纳对质量的灵敏度快速计算方法，具有实际工程意义。

本发明公开了一种多探针平面度检测仪及其相应的检测方法，该检测仪包括测量探针阵列、测量物镜、干涉显微镜、CCD 成像装置、垂直扫描工作台和水平工作台，其中干涉显微镜和 CCD 成像装置设置在垂直扫描工作台上，分别用于形成光的干涉条纹和干涉条纹的成像；测量探针阵列包括多个探针，这些探针各自的前端具有探针针尖，后端具有平面反射镜；测量物镜固定安装在干涉显微镜下部并处于探针平面反射镜上方，用于对光线进行汇聚；水平工作台设置在测量探针阵列下方用于放置被测样品。按照本发明，能够实现多探针同时测量，充分利用光干涉的高精度特性并有效避免测量时被测表面材料光学性能的影响，相应能够实现结构简单、测量精度高和成本低的效果。