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晶圆级二维半导体单晶薄膜外延生长的研究
主流硅基芯片CMOS(互补金属氧化物半导体)技术正面临短沟道效应等物理规律和制造成本的限制,需要开发基于新材料和新原理的晶体管技术来延续摩尔定律。高迁移率二维半导体因其超薄的平面结构和独特的电子学性质,有望成为“后摩尔时代”高性能电子器件和数字集成电路的理想沟道材料,进一步缩小晶体管的尺寸和提高其性能。为满足集成电路加工工艺和器件成品率对沟道材料的苛刻要求,二维半导体单晶薄膜的大面积制备尤为关键与重要。然而,现有二维半导体材料体系(过渡金属硫族化合物、黑磷等)薄膜制备仍未满足现实要求,因此亟需实现晶圆级二维半导体单晶薄膜制备技术的突破。 该研究瞄准二维半导体材料的晶圆级单晶制备,率先实现了同时具有高电子迁移率、合适带隙、环境稳定的二维半导体(硒氧化铋,Bi2O2Se)单晶晶圆的外延生长。他们基于自主设计搭建的双温区化学气相沉积系统,在商用的钙钛矿单晶基底【SrTiO3,LaAlO3,或(La, Sr)(Al,Ta)O3】上,利用Bi2O2Se与钙钛矿完美的晶格匹配性及较强的界面相互作用,促使Bi2O2Se晶核同一取向外延并融合生成晶圆级单晶薄膜。Bi2O2Se单晶薄膜在晶圆尺寸上表现出优异的材料和电学均匀性,可被用于批量构筑高性能场效应晶体管。基于晶圆级二维Bi2O2Se单晶薄膜的标准顶栅型场效应晶体管展现了高的室温表观迁移率(>150 cm2/V s)、大的电流开关比(>105)和较高的开态电流(45μA/μm)。相关成果发表在Nano Letters (Wafer-Scale Growth of Single-Crystal 2D Semiconductor on Perovskite Oxides for High-Performance Transistors. Nano Lett. 2019, 19, 2148)。
北京大学 2021-04-11
微米级磁载型TiO2催化剂的制备方法
本发明提供了一种微米级磁载型TiO2催化剂,其制备方法包括以下步骤:载体的预处理、微米级磁核的制备、微米级磁载型TiO2催化剂的制备。本发明以微米级MCM-41介孔分子筛为载体,首先将纳米Fe3O4沉积在MCM-41分子筛孔道内,制成微米级磁核;然后采用溶胶-凝胶法在微米级磁核的表面原位生成纳米TiO2。将微米级磁核与TiO2耦合后制备成太阳光响应高活性微米级磁载型TiO2催化剂。通过引入Fe3O4,不仅有效扩展TiO2光激发响应波长,使催化剂吸收波长红移,提高太阳光利用率。而且,微米级磁特性使其更
天津城建大学 2021-01-12
后 E 级时代的新型高能效处理器体系结构
研发阶段/n拟突破传统的控制流模式,开展新型高能效处理器体系结构的研究,主要研究 内容包括:(1)新型的并行计算模型,拟研究支持控数协同的新型并行计算模型, 为高能效处理器体系结构提供理论指导;(2)新型的高能效处理器体系结构,拟 研究新型计算模型指导下的控数协同处理器体系结构,兼顾通用性和高能效;(3) 基于新器件的高能效体系结构,拟研究基于超导器件的高能效体系结构设计,以进 一步提升处理器能效比;(4)高能效体系结构和应用的协同优化,拟研究后E级计 算典型应用和控数协同体系结构的协同优化,验证新
中国科学院大学 2021-01-12
国家级抗心肌损伤新药心荣(Xin Rong)系列的研制
1973年我校克山病研究室在陕西省黄陵县店头镇进行克山病的病因和防治研究,在祖田医学经典著作《难经》“损其心者,调其荣卫”。在治则指导下,以“荣心扶正”立论,于1975年冬用自拟的中药复方煎剂治疗克山病,取得一定疗效,在此基础上研究了该复方对异丙基肾上腺素引起大鼠心肌坏死的防治作用。又历经8年研制,于1995年3月获准卫生部颁发的新年药证书(95)卫药证字Z-22号,被正式命名为心荣口服液,为国家提供了一个抗心肌损伤新药。
西安交通大学 2021-01-12
达一级A标准的改良SBR法工艺与过程控制
北京工业大学 2021-04-14
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准 IC 工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学 2021-04-14
浙江大学国家级双创示范基地·三墩元空间
浙江大学国家级双创示范基地·三墩元空间,坐落于毗邻浙江大学(紫金港校区)的宝港科创空间,一期总面积约2500平方米,设有展示区、路演多功能厅、会议厅、办公区、洽谈室、创业项目展示区等多个功能空间,充分满足浙江大学创业者创业、交流、互动、发展等多方面需求。
浙江大学 2022-07-22
天为IL2综合二级过程控制系统
以ERP/MES为代表的管理信息系统和以PLC/DCS为代表的自动化技术,在钢铁企业己经大规模应用,尽管这两类系统的推广取得了一定效果,但却容易忽略了两者之间的有效配合,导致企业上层计划缺乏有效的实时信息支持、下层控制环节缺乏优化的调度与协调。计划层与执行层无法进行良好的双向信息交互,企业难以实时反应,也就是管理和控制脱节的矛盾越来越突出。天 为IL2综合二级过程控制系统正立足于此,妥善解决基于PLC/DCS的钢铁行业面临着“信息孤岛”和“全局实时信息流”集成的两个难点问题。系统通过数据采集传输功能实现生产实绩数据的采集、生产指令的下达。系统采用全景图的形式对生产物流状态进行实时监控,在采集大量实时生产数据基础上,通过数据综合管理模块完成生产数据的统计、分析、存储,并为生产管理决策提供依据。
大连理工大学 2021-04-13
高速电机直驱单级高速离心鼓风机设计技术
高速电机直驱的单级高速离心鼓风机由高速电机、单级离心鼓风机以及测控系统等附件组成。叶轮采用三元流动技术设计,通过高速电机变转速调节,鼓风机可以工作在40%-100%的流量范围,整机效率达到85%以上。 高速电机采用空气轴承,其极限速度相对于传统轴承大为提高,突破了以往高速电机设计的瓶颈,从而使得本产品同时具有大功率和高转速的特点;由于空气轴承采用的是气体润滑方式,轴承发热量很小,旋转阻力很低,使得本产品的效率相对于传统高速电机大为提高,同时又不产生滑油的二次污染,更适合于某些特定工作环境。 该技术具有完全自主知识产权,在国内外同类技术中具领先地位。 产品特点:空气轴承高速电机转速超过3万转;鼓风机采用先进的三元流理论设计,效率高,节能效果显著,比普通低速压气机节能30%以上;通过调节高速电机转速,流量调节范围可低至40%;体积大大减小,可大大减少占地面积,方便替换老式、低效的鼓风机;低运行费用、低成本。 应用领域:中央空调用压缩机、污水处理用曝气风机、热电厂烟尘的脱硫处理、钢铁厂的鼓风供氧、水泥厂的送料供气等,可替代如螺杆压缩机、罗茨鼓风机、多级低速离心鼓风机等低效率的压缩机、鼓风机。 主要性能指标:1. 供气流量为50-500立方米/分钟;2. 压升为0.4-1.5bar;压气机整级效率达85%以上。
北京航空航天大学 2021-04-13
两级式无变压器光伏并网发电逆变器
该成果采用两级式电路,两级式光伏并网逆变器一般是在逆变器前级加入一个 DC/DC变换器。前级 DC/DC 变换器主要完成最大功率点跟踪功能,通过控制太阳能电池板的输出电压 UPV 跟踪基准 Umppt,进而实现太阳能电池板最大功率输出, PI 调节器的输出与载波比较生成 PWM 信号控制 DC/DC 变换器的开关管。后级 DC/AC 环节主要实现并网功能和稳定直流母线电压功能。成果中两级式拓扑结构是由前级一个 Boost 变换器和后级一个全桥逆变器构成。
扬州大学 2021-04-14
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