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一种纳米级尺寸结构测量方法及装置
本发明公开了一种纳米级尺寸结构测量方法及装置，可以同时测量纳米级尺寸结构宽度、深度、侧墙角等参数。本发明方法步骤如下：将白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面；采集样件表面反射信号，计算得到纳米级尺寸结构显微成像图；将测量离焦扫描成像分布图与理论离焦扫描成像分布图进行匹配，提取得到待测纳米级尺寸结构的几何参数值。本发明所提供的纳米级尺寸结构测量装置，能为纳米制造技术如传统光刻和纳米压印等基于图形转移的批量化制造技术中所涉及的各种典型纳米级尺寸结构，如孤立线条阵列结构、密集型线条
华中科技大学
2021-04-14
新一代硅烷法电子级晶体硅生产技术
上海交通大学
2021-04-13
BDS小博士工作站第一级套装配置
产品详细介绍可以完成小博士工作站第一级中所有非电子功能件的全部样品组装，项目名称具体如下：墙、亭子、矩形框架、支撑架、跷跷板、桥、曲柄摇杆、连杆机械手、雨刮器
东莞市博思电子数码科技有限公司
2021-08-23
图像级超高分辨率高性能 激光雷达
Pandar128 图像级超高分辨率高性能激光雷达
上海禾赛科技有限公司
2022-03-01
极光尔沃A9,工业级大尺寸高精度，厂家保障
深圳市极光尔沃科技股份有限公司
2021-08-23
RXDent-L190 桌面级树脂3D打印机
RXDent-L系列是瑞通推出的一款高效率打印机，也是针对批量生产打造的一款桌面级3D打印机。精致的外观设计与良好的交互体验，使数字化生产更便捷、更高效，为实现生产数字化转型提供最优解决方案。
行业应用
· 口腔正畸
· 文创与个性化定制
广州瑞通增材科技有限公司
2022-10-19
一种非易失性高密度三维半导体存储器件及其制备方法
本发明公开了一种非易失性高密度三维半导体存储器件及其制 备方法，包括由多个垂直方向的三维 NAND 存储串构成的存储串阵列； 每个三维 NAND 存储串包括半导体区域以及围绕半导体区域的四层包 裹结构；半导体区域包括沟道以及分别与沟道两端连接的源极和漏极； 源极与漏极串联连接；沟道为方柱形结构；四层包裹结构从里到外依 次为隧穿电介质层、电荷存储层、阻隔电介质层以及控制栅电极；阻 隔电介质层在不同的方向具有不同的厚度，
华中科技大学
2021-04-14
睿芯科技数字模拟电路混合人工智能芯片及传感器研发成果
是一家模数混合式神经网络处理及传感器芯片公司，DVS视觉传感器，数模混合人工智能芯片，创始团队均为瑞士苏黎世联邦理工学院博士，专攻模拟电路及神经网络方向 点击上方按钮联系科转云平台进行沟通对接！
吉林大学
2021-04-10
陕西省获批建设国家级知识产权保护中心
至此，全国在建和已建成运行的国家级知识产权保护中心数量达到61家
国家知识产权局
2022-10-14
130公斤级共轴反桨无人直升机F-120
F-120无人直升机是北航技术团队自主研发的多用途无人直升机。该机型最大起飞重量130kg，最大航时2小时，在可靠性连续测试中，其MTBF（连续无故障时间）可达到7小时。该机于2010年完成设计，拥有独创的水冷散热系统、气动与冷却的融合设计、采用体积小，重量轻，振动小的转子发动机等多项先进领先技术。该无人机可以执行海面、湖面、高海拔地区等复杂环境的超视距飞行任务，应用领域广泛，包括对地侦查/观测、电力/管道巡检、数据/中继通信、农业/林业测绘、航空测绘/摄影、警用反恐/防暴等多个领域。 该无人机经试验改进，以其优异的气动效率、重量效率、续航能力及操稳特性受到农业部和航空植保企业的高度重视，在农用无人机领域是目前国内载荷最大、性价比最高的无人直升机。该机喷药40亩农田只需15分钟，是传统小型无人直升机作业效率的3倍以上，符合我国精准农业、规模化经营的发展趋势。
北京航空航天大学
2021-04-10