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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法，提供一待刻蚀对象，对所述待刻蚀对象一次刻蚀后，交替进行表面处理‑二次刻蚀，直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层；其中，一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层；表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层；所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层，以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤，既实现了对沟道层的保护，又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中，减少沟道层的损失量。
复旦大学
2021-01-12
可同时测定梨的多个指标参数的装置以及方法
本发明公开了可同时测定梨的多个指标参数的装置，包括：暗箱；位于所述暗箱内，用于测量梨的重量的电子称重旋转平台；位于所述暗箱内，用于测量梨的高度的高度测量装置；用于向梨发射检测光的光照模块；用于接收梨的反射光的光谱采集模块；用于接收所述电子称重旋转平台和高度测量装置的信号计算样品体积，以及用于接收所述光谱采集单元信号计算样品pH值的控制单元。本发明还公开了一种利用所述的可同时测定梨的多个指标参数的装置测定梨的多指标参数的方法。本发明实现了梨的重量、高度、体积以及pH值的多项物理参数的快速检测，检测快速准确，检测成本低，环境污染小。
浙江大学
2021-04-11
一种增强的基于轨迹重构的隐私保护方法
本发明公开了一种增强的基于轨迹重构的隐私保护方法。
电子科技大学
2021-04-10
高氧化度的天然高分子多糖的氧化方法
本发明公开了一种高氧化度的天然高分子多糖的氧化方法，以还原性多糖为原料在氧化剂的作用下制取水凝胶，采用如下的工艺条件：以高碘酸钠作为氧化剂，以至少一种以下物质：盐酸、硫酸、磷酸、醋酸、甲酸、柠檬酸、具有Lewis酸性质的绿色溶剂离子液为催化剂；调节体系的pH在酸性范围在室温下避光反应4小时，经后处理得到不同氧化度的天然高分子多糖高强度水凝胶。本发明方法获得的产品具有氧化度高，与其它反应物之间的交联更加容易，形成的化学键更加牢固的优点，能形成高强度水凝胶，并且凝胶的降解速率可以得到控制，适合用于制备骨组织功能材料。
西南交通大学
2016-07-05
一种用于蒸发发电的发电组件的制备方法
本发明公开了一种用于蒸发发电的发电组件的制备方法，该用于蒸发发电的组件包括载片、第一电极、第二电极和碳材料层，其制备方法具体为：首先，采用导电材料在电绝缘的载片表面制成两个互相平行的电极；然后采用印刷的方式将含有碳材料的浆料搭接在第一电极与第二电极之间；最后对印刷好的浆料层进行退火处理，在两个电极之间形成碳材料层。本发明提供的这种制备方法，采用浆料印刷退火的方法制备碳材料层，并且改进了浆料的材料及制备方法；以此
华中科技大学
2021-04-14
一种纳米颗粒增强的热障涂层的制备方法
本发明公开了一种纳米颗粒增强的热障涂层的制备方法，用于 在基体表面制备热障涂层，属于热障涂层制备领域，其包括 S1 将纳米 颗粒团聚成 60μm～120μm 的团聚粉末；S2 对团聚粉末进行热处理 以获得烧结粉末，所述烧结粉末粒径为 50μm～100μm；S3 将经步骤 S2 获得的所述烧结粉末送入基体被热源熔化后获得的熔池内，使烧结 粉末与熔池一起冷却凝固，以在基体表面制备获得纳米颗粒增强的热 障涂层。本发明方法过
华中科技大学
2021-04-14
一种基于用户距离的基站天线的调度方法
本发明公开了一种基于用户距离的基站天线调度方法，具体为：首先进行系统初始化，其中包括确定为保证通信的最低信干噪比和基站天线总数，首先基站向服务的本小区用户发送导频信号，用户接收导频信号并计算其与基站之间的距离，然后用户将其距离值发送给本小区基站，基站根据保证基站与用户通信的最低信干噪比以及用户到基站的距离来确定调度天线的个数。本发明适用于发送端配备多天线，接收端配备单天线的大规模多输入多输出蜂窝网络场景，根据小区中不同用户的信干噪比质量不同，基站调度天线数不同，节省了维持多余天线工作的静态能量。同时，每次调用后剩余的天线还可以为其他用户服务，从而提高了下行链路的平均能量效率。
华中科技大学
2021-04-11
自蔓延反应烧结氮化硅/氮化硼复相可加工陶瓷
北京科技大学特种陶瓷研究室开发出一种自蔓延反应烧结氮化硅/氮化硼复相可加工陶瓷材料，其应用前景极其广阔。 Si和N2合成Si3N4反应的绝热燃烧温度高，体积有所增加，生成棒状的b-Si3N4相相互交叉，提高了自蔓延反应烧结氮化硅多孔陶瓷的强度，但氮化硅加工性能差。h-BN陶瓷可加工性能好，但烧结性能差。本项目利用h-BN相在氮化硅陶瓷中形成弱界面，当加工时，弱界面上会形成微裂纹，并沿弱界面发生偏转，耗散裂纹扩展的能量使裂纹扩展终止；当载荷继续上升时，在下层的弱结合界面处将产生新的临界裂纹再扩展；如此反复，使裂纹成为跳跃式阶梯状扩展，断裂渐次发生而非瞬间脆断，使氮化硅/氮化硼多孔陶瓷材料具有了好的可加工性能。 本项目原料中采用了一定比例的Si粉，比完全以Si3N4粉为原料的普通烧结工艺节约了原料成本。产品的基本工艺为自蔓延高温合成（燃烧合成）工艺，在气体高压反应器中进行，烧结所需要的能量完全由原料自身放热提供，与其他制备方法（常压烧结、热压烧结、反应烧结）相比较，不需要高温烧结炉长时间烧结，大大节省了能源。本项目工艺简单，烧结速度快，效率高。可制作复杂形状一维，二维的大尺寸陶瓷材料。抗弯强度已做到188MPa，材料可加工性能优良。 已获中国发明专利《ZL 200610089013.6自蔓延反应烧结Si3N4/BN复相可加工陶瓷的方法》。
北京科技大学
2021-04-11
叶片及叶盘智能闭环磨削加工装备关键技术与产品开发
叶片与叶盘是航空发动机、重型燃机等的关键核心零件，其叶片复杂型面的高效高精度先进加工技术是保证航发及燃机正常稳定运行的决定因素。为打破航发及重型燃机关键零部件高效高精加工技术国际封锁和垄断，在国家自然科学基金支持下，课题组针对叶片、叶盘的工艺特点，研究数字化设智能加工－测量一体化集成技术，自主开发了集成双模式灵巧测量－误差动态补偿－复杂曲面CAM编程－力位动态解耦－多轴联动控制的关键核心技术，开发出系列的自动化柔性复合磨削及抛光加工闭环智能制造装备，可实现一次装夹完成叶片及叶盘相应叶尖、型面、进/排气边、叶根圆角和凸台过渡区部位的复合磨抛集成加工，可极大提高航空发动机叶片及其叶盘、重型燃机整体叶盘及叶片、汽轮机叶片等的加工精度及效率，推进我国航空及能源动力产业的技术提升与发展。 应用领域： 航空发动机、重型燃机、汽轮机、鼓风机等透平机械叶片制造行业 技术指标： ？ 实现各型叶片型面的粗磨及精磨过程，表面粗糙度≤Ra 0.2μm； ？ 叶片型面轮廓度：距排气缘3mm范围内在±0.03mm内，其余区域在±0.05mm以内。
电子科技大学
2021-04-10
叶片及叶盘智能闭环磨削加工装备关键技术与产品开发
叶片与叶盘是航空发动机、重型燃机等的关键核心零件，其叶片复杂型面的高效高精度先进加工技术是保证航发及燃机正常稳定运行的决定因素。为打破航发及重型燃机关键零部件高效高精加工技术国际封锁和垄断，在国家自然科学基金支持下，课题组针对叶片、叶盘的工艺特点，研究数字化设智能加工－测量一体化集成技术，自主开发了集成双模式灵巧测量－误差动态补偿－复杂曲面CAM编程－力位动态解耦－多轴联动控制的关键核心技术，开发出系列的自动化柔性复合磨削及抛光加工闭环智能制造装备，可实现一次装夹完成叶片及叶盘相应叶尖、型面、进/排气边、叶根圆角和凸台过渡区部位的复合磨抛集成加工，可极大提高航空发动机叶片及其叶盘、重型燃机整体叶盘及叶片、汽轮机叶片等的加工精度及效率，推进我国航空及能源动力产业的技术提升与发展。
电子科技大学
2021-04-10